특허청구의 범위 청구항 1 직렬로 연결된 복수의 진공 챔버와, 상기 챔버를 차등 펌핑하기 위한 진공 펌핑 장치를 포함하는 진공 시스템 에 있어서, 상기 진공 펌핑 장치는: 상기 진공 챔버중 제 1 진공 챔버를 펌핑하도록 연결된 입구와, 대기로 또는 대기 주변으로 배기하



Similar documents
본 발명은 중공코어 프리캐스트 슬래브 및 그 시공방법에 관한 것으로, 자세하게는 중공코어로 형성된 프리캐스트 슬래브 에 온돌을 일체로 구성한 슬래브 구조 및 그 시공방법에 관한 것이다. 이를 위한 온돌 일체형 중공코어 프리캐스트 슬래브는, 공장에서 제작되는 중공코어 프

많이 이용하는 라면,햄버그,과자,탄산음료등은 무서운 병을 유발하고 비만의 원인 식품 이다. 8,등겨에 흘려 보낸 영양을 되 찾을 수 있다. 도정과정에서 등겨에 흘려 보낸 영양 많은 쌀눈과 쌀껍질의 영양을 등겨를 물에 우러나게하여 장시간 물에 담가 두어 영양을 되 찾는다

특허청구의 범위 청구항 1 앵커(20)를 이용한 옹벽 시공에 사용되는 옹벽패널에 있어서, 단위패널형태의 판 형태로 구성되며, 내부 중앙부가 후방 하부를 향해 기울어지도록 돌출 형성되어, 전면이 오 목하게 들어가고 후면이 돌출된 결속부(11)를 형성하되, 이 결속부(11

(72) 발명자 오인환 서울 노원구 중계로 195, 101동 803호 (중계동, 신 안동진아파트) 서혜리 서울 종로구 평창14길 23, (평창동) 한훈식 서울 강남구 언주로71길 25-5, 301호 (역삼동, 영 훈하이츠) 이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호

(71) 출원인 나혜원 대구 달서구 도원동 1438 대곡사계절타운 나혜리 대구 달서구 도원동 1438 대곡사계절타운 (72) 발명자 나혜원 대구 달서구 도원동 1438 대곡사계절타운 나혜리 대구 달서구 도원동 1438 대

상기 DVD 플레이어는 거의 거치형(톱니형)으로 개발되어 텔레비젼, AC3 앰프 및 6개의 스피커 또는 단순 히 스테레오 시스템 등에 연결되어 영화 재생용으로만 특징지워지고, 반면에 상기 DVD-롬 드라이브는 컴 퓨터에 장착되어 소정의 인터페이스 방식을 통해 컴퓨터 테

특허청구의 범위 청구항 1 몸체(110)의 일측에는 테스트의 필요성에 따라 여타한 디젤 자동차(100)에서 분리시킨 상태의 분리형 커먼레일 인젝트(110)를 고정할 수 있는 분리형 인젝터 고정부(20)가 구비되고, 그 고정부(20)의 하측에는 분리형 커먼 레일 인젝터(

특허청구의 범위 청구항 1 피사체를 조명하기 위한 조명광을 출사하는 하나 또는 복수의 반도체 발광 소자를 갖는 조명 수단과, 상기 조명 수단으로부터 출사되는 상기 조명광에 의해 조명된 상기 피사체의 상을 촬상하여 촬상 신호로서 출력 하는 촬상 수단과, 상기 피사체의 상

특허청구의 범위 청구항 1 어류를 13~23mm 범위 내의 크기로 파쇄한 어류 분말과 물을 중량 대비로 20~40%와 5~10%로 혼합하고, 단백질가 수분해효소를 상기 어류 분말과 물의 중량 대비로 0.1~5.0%로 첨가해서 원료를 준비하는 단계; 상기 준비한 원료를

특허청구의 범위 청구항 1 횡방향으로 서로 이웃하는 제1 PC 패널과 제2 PC 패널이 횡방향으로 서로 접합되어 구축되는 건축구조물의 구조 벽체로서, 제1 PC 패널의 길이방향으로 하부측에는, 횡방향 측면이 상부측에서의 횡방향 측면보다 횡방향으로 더 돌출되어 있는 하부

(72) 발명자 서진교 경기 용인시 수지구 풍덕천2동 1167 진산마을 삼성5차아파트526동 1004호 조필제 경기 용인시 풍덕천동 유스빌 401호 - 2 -

명세서 기술분야 본 발명은 2차 전지로부터 유가( 有 價 ) 금속을 회수하는 방법에 관한 것이며, 상세하게는, 폐( 廢 )리튬 이온 전지 및 리튬 이온 전지의 제조 불량품에 함유되는 코발트를 회수하는 리튬 이온 전지내의 코발트 회수 방법 및 코발트 회수 시스템에 관한

특허청구의 범위 청구항 1 삭제 청구항 2 삭제 청구항 3 하기 (A), (B) 및 (E)를 함유하는 세정제 조성물로서, (A)와 (B)의 배합 비율이 (A)/(B) = 99/1~70/30(중량% 비)이며, 또한, 이 조성물 중의 전체 계면활성제 성분 중에서 (A)의

통상적으로 휴대용 단말기라 함은 기지국과 무선 통신을 수행하면서 사용자에게 무선 통신 서비스를 제공할 수 있는 휴 대 장치를 칭한다. 이러한 휴대용 단말기는 남녀노소, 전세계 어디에서나 보편화되어 가고 있으며, 필수품으로 자리잡아 가고 있다. 휴대용 단말기는 상대방과

424

420

392

특허청구의 범위 청구항 1 휴대용 컴퓨팅 장치에 통신 가능하게 결합된 액세서리를 이용하기 위한 방법으로서, 상기 액세서리에 의해: 텍스트 입력 필드의 선택을 지시하는 제1 신호를 상기 휴대용 컴퓨팅 장치로 통신하는 단계; 상기 휴대용 컴퓨팅 장치로부터, 상기 텍스트 입

(72) 발명자 나리사꼬 마꼬또 일본 후꾸이껭 쯔루가시 와까이즈미쪼 1반찌 제이 엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 쯔루가 고오죠오 내 나까무라 야스오 일본 후꾸이껭 쯔루가시 와까이즈미쪼 1반찌 제이 엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 쯔루가 고오죠오 내 야마오

특허청구의 범위 청구항 1 커넥터 리셉터클(connector receptacle)을 제조하는 방법으로서, 캐리어에 부착된 복수의 콘택트를 받아들이는 단계 - 상기 복수의 콘택트는 직각 변환(right-angle translation)을 제공하는 형상으로 되어 있음 -;

특허청구의 범위 청구항 1 압출압착 성형방식으로 제작되는 프리캐스트 콘크리트 부재의 표면처리방법에 있어서, (a)압출압착 성형방식으로 제작되는 프리캐스트 콘크리트 부재의 상면에 표면처리용 콘크리트를 추가로 타설하 는 단계와, (b)표면처리용 콘크리트의 상면에 요철을 형

a.ps

UI피피티

(72) 발명자 장종산 대전 중구 수침로 138, 103동 204호 (태평동, 유등 마을쌍용아파트) 박용기 대전 유성구 어은로 57, 119동 302호 (어은동, 한 빛아파트) 황동원 경기 안양시 만안구 양화로147번길 7, 102동 403호 (박달동, 박달동동원베네스

도 1 명세서 도면의 간단한 설명 도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 데이터 송수신 장치의 회로도이다. 도 2는 도 1에 도시된 등화기의 일 실시예를 보여주는 회로도이다. 도 3은 도 1에 도시된 프리엠퍼시스 회로의 일 실시예를 보여주는 회로도이다. 도 4는 본

특허청구의 범위 청구항 1 휴대폰 스트랩 어댑터 결합용 액세서리에 있어서, 휴대폰의 액세서리 연결고리에 줄로 연결된 어댑터 캡과; 상기 어댑터 캡과 착탈식으로 결합 및 분리하는 어댑터; 및 상기 어댑터 캡과 상기 어댑터 사이에 착탈식으로 결합 및 분리하는 적어도 1개

특허청구의 범위 청구항 1 회선 아이디 접속 시스템에 있어서, 온라인을 통해 실제 사용자 고유정보의 발급이 가능한 아이디 발급 사이트를 제공하기 위한 아이디 발급 수단; 오프라인을 통한 사용자의 회선 아이디 청약에 따라 가상의 사용자 고유정보 및 가인증 정보를 생성하고

특허청구의 범위 청구항 1 알칼리 금속체(alkali 金 屬 體 )와 유황( 硫 黃 )을 이온 결합시킨 다황화수용액( 多 黃 化 水 溶 液 )을 주성분으로 하는 석면의 분해처리제. 청구항 2 알칼리 금속체와 유황을 이온 결합시킨 다황화수용액을 주성분으로 하는 석면의 분

282서비스업관리-마트

목 차 Ⅰ.발명 동기 및 목적 1 Ⅱ.선행조사 연구 및 결과 1.발명품을 만들기 위한 다양한 운동의 장점 조사 2 2.건강 및 다이어트를 위한 운동방법 4 3.특허관련 kipris검색 4 Ⅲ.발명품 내용 5 Ⅳ.발명품의 제작 내용과 기능 및 활용 1.제작 내용 6 2.

(72) 발명자 스펜서 랜달 미국 조지아 케네소 쿨 스프링스 드라이브 1108 다니엘 존 미국 조지아 케네소 그레셤 릿지 드라이브 4891 토프 로버트 미국 콜로라도 덴버 유닛 614 클락스톤 스 트리트 1630

**한빛소리02,3,4월호

(72) 발명자 퍼킨스, 안소니 영국 비엔43 5에이디 웨스트 서섹스 쇼어햄바이시 21 윈들즈햄 가든스 길버트, 이안 영국 비엔43 5와이이 웨스트 서섹스 쇼어햄바이시 67 비치 그린 - 2 -

알람음을 출력하는 이동통신 단말기에 있어서, 실시간 알람음을 출력하는 음향 출력 수단; 디지털 멀티미디어 방송(DMB: Digital Multimedia Broadcasting, 이하 'DMB'라 칭함) 신호를 수신하면 오디오 형태로 변 환하여 DMB의 음향을 전달하는

특허청구의 범위 청구항 1 영상표시기기에 있어서, 외부로부터 입력되는 영상을 디스플레이하는 디스플레이 패널; 상기 디스플레이 패널 전면으로 빛을 공급하는 백라이트; 상기 백라이트에 구동 전원을 공급하는 백라이트 구동부; 적어도 하나의 밝기 조정 테이블을 저장하고 있는

특허청구의 범위 청구항 1 게임 서버 또는 미들웨어에 의해, 사용자 단말기로부터, GPS 정보, IP 정보, 중계기 정보 중 적어도 하나를 이 용한 위치 정보와, 상기 사용자 단말기에 설정된 언어 종류를 포함하는 사용자 정보를 수신하는 단계; 상기 게임 서버 또는 미들

(72) 발명자 박종현 서울특별시 송파구 양재대로 1218, 올림픽선수촌아 파트 호 (방이동) 이영덕 경기도 남양주시 화도읍 녹촌로 87-29, 신창현두산 위브아파트 101동 1604호 이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호

(30) 우선권주장 61/360, 년06월30일 미국(US) 61/446, 년02월23일 미국(US) - 2 -

강은, 만화에서 주로 낭만적인 장소로 그려진다. 사랑을 나누고, 그리움을 실어 보내는 그런 곳. 결국, 켄신이 처음 사랑한 그 여자는 켄신을 차마 죽이지 못했고, 오히려 켄신을 대신해 죽는다. 많은 사람들이 죽어가는 이 잔인한 만화에서, 피는 마치 꽃처럼 선홍색을 띄며

(72) 발명자 이병근 광주 북구 첨단과기로 123, E-201 (오룡동, 광주과 학기술원) 쉐리 아흐매드 무킴 광주 북구 첨단과기로 123, E-506 (오룡동, 광주과 학기술원) 최형욱 광주 북구 첨단과기로 123, 5214호 (오룡동, 광주 과학기술원 대학원생활관

특허청구의 범위 청구항 1 헤드엔드로부터 복수의 단위 셀로 구성되며 각 단위 셀에 방송 프로그램 및 편성 시간정보가 상호 매칭되어 설 정된 상기 EPG(Electronic Program Guide)와, 상기 각 단위 셀에 대응하는 방송 프로그램 컨텐츠를 수신하는 통 신

pdf

(72) 발명자 김형주 경기 의왕시 삼동 까치아파트 812호 권재중 경기 수원시 팔달구 우만동 월드메르디앙 109동 1806호 황인선 경기 수원시 영통구 영통동 청명마을3단지 삼익아 파트

특허청구의 범위 청구항 1 원본 단말기에 USIM 카드가 장착되면, 상기 원본 단말기의 MTM(Mobile Trusted Module)에서 상기 USIM 카드와 연동하여 사용자 인증 절차를 수행하는 과정과; 상기 원본 단말기의 MTM에서 사용자 인증 승인시, 상기 US

동아내지1수(A~E)-수정2

이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 부처명 지식경제부 연구사업명 IT 융합 고급인력과정 지원사업 연구과제명 스마트 자동차를 위한 AUTOSAR 기반 차량 내외부 통신 플랫폼 및 응용기술 주관기관 정보통신산업진흥원 연구기간

특허청구의 범위 청구항 1 청구항 2 청구항 3 청구항 4 청구항 5 물과 암모니아수와 헥산 산과 히드라진 수화수용액을 포함하는 환원액을 조정하는 조액( 調 液 )공정과, 질산은 수용액을 상기 환원액에 첨가하여 반응시키는 은 반응공정과, 상기 은 반응공정의 생성물을 회

(72) 발명자 쳉 제인 씨 미국 뉴저지주 브리지워터 핀호른 드라이브 1303 베니테츠 프란시스코 엠 미국 텍사스주 휴스톤 스톤 메도우즈 레인 1618 스타나트 존 이 미국 텍사스주 휴스톤 로베트 불러바드 912 씨 부차난 존 에스 미국

이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 부처명 지식경제부 연구사업명 차세대신기술개발사업 연구과제명 세라믹 하이브리드 라미네이트용 저항체 소재기술 개발 주관기관 전자부품연구원 연구기간 2007년07월31일~2009년07월30일 - 2 -

D C 2

(72) 발명자 정유석 경기도 안양시 동안구 안양천동로 162, 103동 403 호 (비산동, 비산현대힐스테이트아파트) 마은경 경기도 수원시 영통구 효원로 363, 131동 2004호 (매탄동, 매탄위브하늘채아파트) 조용연 서울특별시 관악구 관악로24나길 13 (봉천동

(72) 발명자 이동희 서울 동작구 여의대방로44길 10, 101동 802호 (대 방동, 대림아파트) 노삼혁 서울 중구 정동길 21-31, B동 404호 (정동, 정동상 림원) 이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 부처명 교육과학기술부

(72) 발명자 이승원 강원도 고성군 죽왕면 오호리 정동호 강원도 고성군 죽왕면 오호리 이호생 강원도 고성군 죽왕면 오호리 이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 PMS235A 부처명 국토해양부 연구사업명 해양자원개발 연구과제명

464

(72) 발명자 마 빈 미국 뉴저지주 유잉 필립스 블바르 375 쩡 리창 미국 뉴저지주 유잉 필립스 블바르 375 데안젤리스 알랜 미국 뉴저지주 유잉 필립스 블바르 375 바론 에드워드 미국 뉴저지주 유잉 필립스 블바르 375

특허청구의 범위 청구항 1 도로, 주차장, 고가교량, 빌딩, 하폐수처리장의 배수부를 통해 유입되는 오염수를 수질정화시스템에 공급하는 오염수유입부와; 상기 오염수유입부에 연결되어 공급된 오염수 중에 함유된 비중 큰 토사류 및 고형물류와 입 자가 큰 협잡물, 각종 쓰레기

0

歯투자포인트 PDF

201405출력

ps

인천항 전체 목록(2015년 10월 기준) 명칭 종류 구분 장치물품종류 관할부서 주소 전화 FAX 동부항동보세창고 영업/일반 일반수출입화물(동물검역물품 및 위험물 제외) 수입1과 인천중구 축항대로

45(3)-07(박석주).fm

<40C1B6BBE7BFF9BAB85F3130BFF9C8A32E687770>

#D-B1201..

CPI CORE CPI ( = 100) % 10% 5% 0% -5%


Çùµ¿È� chapter 4

歯

Market View 경제지표를 통해 확인된 시각차 박성훈_02) , 홍콩을 중심으로 금융시장 불안 심화 국내 기업들의 실적전망 하향조정 소식이 잇따르고 있는 가운데 홍콩 민주화 시위라는 정치변수까지

1

Microsoft Word - HMC_Company_Medipost_ doc

특허청구의 범위 청구항 1 디바이스가 어플리케이션을 실행하는 방법에 있어서, 상기 디바이스에 연결된 제1 외부 디바이스와 함께 상기 어플리케이션을 실행하는 단계; 상기 어플리케이션의 실행 중에 제2 외부 디바이스를 통신 연결하는 단계; 및 상기 제1 외부 디바이스 및

<34332D2D30382D2DB9DABCBAC8C628BFCF292E687770>

특허청구의 범위 청구항 1 구제역이나 에이아이(AI) 감염에 의해 살 처분된 가축 매몰지의 붕괴나 침출수 유출에 의한 제2차 오염을 방 지하기 위한 방제방법에 있어서, 매몰지 내부에 고화제(Firming agent) 및 첨가물질이 주입되도록 통로를 형성하기 위한 천공단

Microsoft Word - 인터파크INT_140116_editing.doc

(72) 발명자 정진곤 서울특별시 성북구 종암1동 이용훈 대전광역시 유성구 어은동 한빛아파트 122동 1301 호 - 2 -

이세돌 9단, 인공지능 알파고와의 제1국에서 불계패 인공지능 알파고 vs. 인간 이세돌 이세돌 9단은 9일 구글 딥마인드 기반의 인공지능인 알파고와의 바둑 대결 제1국 에서 186수 만에 불계패하였다. 알파고는 대국 상황과 관계없이 거의 1분에서 1분 30초 안에 착수

특허청구의 범위 청구항 1 Na-알지네이트(Na-alginate), 합성 제올라이트(synthetic zeolite)와 분말활성탄(powdered activated carbon) 을 혼합하여 2 ~ 6 %의 CaCl 2 용액에서 경화시켜 만들어진 직경 1 ~ 5 mm의

Microsoft Word - pc07.doc

ps

Microsoft Word _LIGMarketTalk.doc

도 6은 프린터 드라이버의 UI의 일례를 나타내는 도면. 도 7은 시스템 관리자에 대한 프린터 드라이버 UI의 일례를 나타내는 도면. 도 8은 도 5에 나타낸 커스터마이즈 툴에 의해 표시되는 UI의 일례를 나타내는 도면. 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라서 커스터마

2003_KR piv

(72) 발명자 정진기 대전광역시 서구 괴정로 61, 조이빌 401 (괴정동) 김병수 전라북도 군산시 상신3길 19-6 (나운동) 이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 GP 부처명 지식경제부 연구사업명 기본사업 연구과제명 도시광석의 유용광물 순환

< BFECBCB1B5B9BABDC2F7BBF3C0A7B0A1B1B820B9DFB1BCC1F6BFF8BBE7BEF720BEC8B3BB28C8A8C6E4C0CCC1F6BFEB292E687770>

?

01_¿©Çà±â

SSD, TCO(Total Cost of Ownership) 관점 수요 확대 동인 확보 TCO(Total Cost of Ownership) 관점 수요 증가 동인 확대 3D NAND의 응용처는 향후 PC에서 엔터프라이즈로 확대될 것으로 판단된다. 엔터 프라이즈 시장에서는

유량 MODBUS-RTU Protocol UlsoFlow시리즈초음파유량계는 MODBUS-ASCII와 MODBUS-RTU를지원한다. 여기서는 MODBUS-RTU를기준으로설명한다. 유량계의국번은 0 ~ 6,5535 까지지정할수있다. ( 단, 0, 10, 13, 38, 42

남녀를 위한 전신 마사지 반나절 휴가 패키지 : RP NETT 원하는 종류의 트리트먼트를 선택하여, 휴가 후에 최상의 모습과 기분 을 되찾아 보세요. 90 분 라군 마사지 60 분 라군 스크럽 60 분 얼굴 리프레쉬 60 분 매니큐어, 패디큐어 60

이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 KGM 부처명 교육과학기술부 연구관리전문기관 연구사업명 전북분원운영사업 연구과제명 저탄소 녹생성장을 위한 바이오매스/에너지 개발 주관기관 한국생명공학연구원 연구기간 2009년 01월 01일 ~ 2009년 12월

32

한국관 전경 한국관 막걸리 바 한국관 상담실 3. 한국관 운영결과 한국관 부스 장치 한국관은 업체관(16), 막걸리 칵테일 바, 수출상담장, 창고로 구성 우아하고 멋스러운 분위기의 한옥형태와 오방색 활용하고 곳곳에 방패 연등, 청사초롱 설치하여 한국 전통미를 부각하는

2007

<BBE7C0CCB9F6C3D6C1BE2E687770>


2005. 경영혁신 종합실적 보고서 평 가 지 표 자율혁신 실행계획 (Action Plan) 1. 혁신리더십 (1) 조직의 비전 미션 및 지향가치 (1)-1 구체성(1.0) - 경영의 전반적 프로세스 혁신을 통 한 효율성 향상과 공기업 사명감 완수추구 - 고객제일주의의

질문하실 의원님께서는 발언시간을 지켜 주시고, 집행부에 서는 충실한 답변이 될 수 있도록 최선을 다해 주실 것을 당 부드립니다. 그러면 지금부터 질문을 시작하겠습니다. 먼저, 文 化 敎 育 委 員 會 소속 李 康 珍 議 員 의 질문이 있겠습니 다. 나오셔서 질문하여 주

5. 회 의내용 < 제 1호 안 : 2011학년도 법 안 회 제 철 산(안 )> 법인 사무국장의 성왼 보고에 이이 의장이 이사회 개회 용 선언하고 회계판려부장에 게 제 l 호 안인 학년도 입인 회계 결산(안)에 대한 성명융 지시함 회계판리부장이 2011 학년

Microsoft Word _SKT

Transcription:

(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) H01J 49/24 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-7003613 (22) 출원일자(국제) 2010년03월30일 심사청구일자 없음 (85) 번역문제출일자 2012년02월10일 (86) 국제출원번호 PCT/GB2010/050533 (87) 국제공개번호 WO 2011/018637 국제공개일자 (30) 우선권주장 2011년02월17일 0914221.7 2009년08월14일 영국(GB) (11) 공개번호 10-2012-0059501 (43) 공개일자 2012년06월08일 (71) 출원인 에드워즈 리미티드 영국 알에이치10 9엘더블유 웨스트 서섹스 크롤 리 매너 로열 (72) 발명자 스톤스 이안 데이비드 영국 웨스트 서섹스 알에이치15 9티티 벌지스 힐 요크 로드 에드워즈 리미티드 (74) 대리인 제일특허법인 전체 청구항 수 : 총 9 항 (54) 발명의 명칭 진공 시스템 및 질량 분석기 시스템 (57) 요 약 본 발명은 직렬로 연결된 복수의 진공 챔버(14, 16, 18, 20)와, 상기 챔버를 차등 펌핑하기 위한 진공 펌핑 장 치(10)를 포함하는 진공 시스템(12)을 제공한다. 상기 진공 펌핑 장치는 제 1 진공 챔버(14)를 펌핑하도록 연 결된 입구(23)와, 대기로 또는 대기 주변으로 배기하기 위한 출구(25)를 갖는 1차 펌프(22)와, 제 2 진공 챔버 (16)를 펌핑하도록 연결된 입구(27)와, 상기 1차 펌프의 입구(23)에 연결된 출구(29)를 갖는 부스터 펌프(24) 와, 제 3 진공 챔버(18, 20)를 펌핑하도록 연결된 입구(31, 33)와, 상기 부스터 펌프의 입구(27)에 연결된 출 구(35, 37)를 갖는 2차 펌프(26, 28)를 포함한다. 대 표 도 - 도1-1 -

특허청구의 범위 청구항 1 직렬로 연결된 복수의 진공 챔버와, 상기 챔버를 차등 펌핑하기 위한 진공 펌핑 장치를 포함하는 진공 시스템 에 있어서, 상기 진공 펌핑 장치는: 상기 진공 챔버중 제 1 진공 챔버를 펌핑하도록 연결된 입구와, 대기로 또는 대기 주변으로 배기하기 위한 출 구를 갖는 1차 펌프와; 상기 진공 챔버중 제 2 진공 챔버를 펌핑하도록 연결된 입구와, 상기 1차 펌프의 입구에 연결된 출구를 갖는 부스터 펌프와; 상기 진공 챔버중 제 3 진공 챔버를 펌핑하도록 연결된 입구와, 상기 부스터 펌프의 입구에 연결된 출구를 갖 는 2차 펌프를 포함하는 청구항 2 제 1 항에 있어서, 상기 진공 챔버중 제 3 및 제 4 진공 챔버 각각을 펌핑하기 위한 2개의 2차 펌프를 포함하며, 상기 2개의 2차 펌프의 출구들은 부스터 펌프의 입구에 연결되어 있는 청구항 3 제 2 항에 있어서, 상기 진공 챔버들은 상기 제 1 진공 챔버로부터 순서대로 챔버를 통한 유체 흐름을 허용하도록 연결되어 있는 청구항 4 제 1 항에 있어서, 상기 1차 펌프 및 상기 부스터 펌프는, 적어도 제 1 챔버에서 점성 흐름이 야기되는 낮은 진공에서 제 1 및 제 2 진공 챔버를 각각 펌핑하도록 구성된 청구항 5 제 4 항에 있어서, 상기 1차 펌프는 그 입구와 출구 사이에 제 1 압축비를 제공하도록 구성되며, 상기 부스터 펌프는 그 입구와 출구 사이에 제 2 압축비를 제공하도록 구성되며, 상기 제 1 압축비가 상기 제 2 압축비보다 큰 청구항 6 제 5 항에 있어서, 상기 1차 펌프는 그 입구와 출구 사이에 제 1 펌핑 용량을 제공하도록 구성되며, 상기 부스터 펌프는 그 입구 와 출구 사이에 제 2 펌핑 용량을 제공하도록 구성되며, 상기 제 1 펌핑 용량이 상기 제 2 펌핑 용량보다 큰 - 2 -

청구항 7 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 부스터 펌프는 증가된 펌핑 용량 및 감소된 압축비를 위해 구성된 스크롤 펌프인 청구항 8 제 7 항에 있어서, 상기 스크롤 펌프는 공동-협동하는 스크롤 벽의 연장부의 적어도 일부분상에 팁 시일을 갖지 않는 멀티-스타 트 스크롤 펌프 및/또는 스크롤 펌프인 청구항 9 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 진공 시스템에 따른 질량 분석기 시스템. 명 세 서 [0001] 기 술 분 야 본 발명은 직렬로 연결된 복수의 진공 챔버와, 이 챔버를 차등 펌핑하기 위한 진공 펌핑 장치를 포함하는, 예 를 들면 질량 분석기 시스템과 같은 진공 시스템에 관한 것이다. [0002] 배 경 기 술 공지된 진공 펌핑 장치(100)가 도 2에 도시되어 있다. 펌핑 장치(100)는 질량 분석기 시스템(102)과 같은 진 공 시스템에서 복수의 진공 챔버를 차등적으로 펌핑하는 것이다. 진공 챔버는 중간 압력 챔버(106)를 통해 높은 압력(낮은 진공) 챔버(104)로부터 낮은 압력(높은 진공) 챔버(108)까지 샘플 흐름 경로를 제공하도록 직 렬로 연결되어 있다. 전형적으로, 낮은 압력 챔버는 1mbar로 유지될 수 있으며, 중간 압력 챔버는 10-3 mbar로 유지될 수 있으며, 낮은 압력 챔버는 10-6 mbar로 유지될 수 있다. 진공 펌핑 장치(100)는 진공 챔버를 차등적 으로 펌핑하고 그리고 질량 분석기를 통한 샘플 흐름 속도를 유지하도록 설계되어 있다. 질량 분석기를 통한 증가된 샘플 흐름 속도는 증가된 양의 샘플이 테스트될 수 있게 한다. [0003] [0004] 진공 펌핑 장치(100)는 2개의 1차(배킹) 펌프 및 2개의 2차 펌프를 포함한다. 제1 및 제2 2차 펌프(110, 112)는 터보분자 펌프일 수 있다. 2차 펌프는 나란하게 배치되며, 각각 진공 펌프(106, 108)를 펌핑하도록 연결되어 있다. 2차 펌프는 1차 또는 배킹 펌프(114)와 직렬로 연결도어 있다. 2차 펌프가 분자 펌프이고 그리고 대기로 배기할 수 없기 때문에, 1차 펌프는 2차 펌프의 배출로에 연결되고, 1차 펌프는 대기로 배치된 다. 이러한 방법에서, 1차 펌프는 2차 펌프를 보완한다. 1차 펌프는 예를 들면 스크롤 펌프이다. 제 2 1차 펌프는 낮은 진공 챔버(104)에 연결되며, 대기로 배기한다. 발명의 내용 [0005] 해결하려는 과제 약 1mbar보다 큰 비분자, 또는 점성 흐름 체제를 갖는 특히 진공 챔버에서 시스템의 성능을 향상시키기 위해 서 질량 분석기와 같은 예를 들면 체계적인 시스템내의 펌핑 장치의 동력 필요성을 크게 증가시킴이 없이 펌 핑 속도(그리고 샘플 가스 흐름)를 증가시키는 것이 바람직하다. [0006] 과제의 해결 수단 본 발명은 직렬로 연결된 복수의 진공 챔버와, 상기 챔버를 차등 펌핑하기 위한 진공 펌핑 장치를 포함하는 진공 시스템에 있어서, 상기 진공 펌핑 장치는: 상기 진공 챔버중 제 1 진공 챔버를 펌핑하도록 연결된 입구 와, 대기로 또는 대기 주변으로 배기하기 위한 출구를 갖는 1차 펌프와; 상기 진공 챔버중 제 2 진공 챔버를 - 3 -

펌핑하도록 연결된 입구와, 상기 1차 펌프의 입구에 연결된 출구를 갖는 부스터 펌프와; 상기 진공 챔버중 제 3 진공 챔버를 펌핑하도록 연결된 입구와, 상기 부스터 펌프의 입구에 연결된 출구를 갖는 2차 펌프를 포함한 다. [0007] [0008] 본 발명의 다른 바람직한 및/또는 선택적인 실시형태는 첨부하는 특허청구범위에 규정되어 있다. 본 발명이 보다 잘 이해될 수 있도록, 단지 예로서 제공되는 일 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. [0009] 도면의 간단한 설명 도 1은 진공 펌핑 장치를 포함하는 진공 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다. 도 2는 진공 펌핑 장치를 포함하는 종래 기술의 진공 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다. [0010] 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용 진공 펌핑 장치(1)가 도 1에 도시되어 있다. 펌핑 장치(10)는 질량 분석기 시스템과 같은 진공 시스템(12)내 의 복수의 진공 챔버를 차등적으로 펌핑하는 것이다. 진공 펌프는 제 1 진공 챔버(14)로부터 시작해서 제 2 진공 챔버(16), 제 3 진공 챔버(18) 및 제 4 진공 챔버(20)를 통해 샘플 유로를 제공하도록 직렬로 연결되어 있다. 압력은 도면에 도시된 바와 같이 우측으로 흐르는 샘플 유로를 따라서 제 1 진공 챔버(14)의 입구에서 의 대기로부터 제 4 진공 챔버(20)에서의 높은 진공까지 감소된다. 예를 들면, 제 1 진공 챔버(14)는 10mbar 와 같은 높은 압력(낮은 진공)일 수 있다. 제 2 진공 챔버는 1mbar의 상대적으로 보다 낮은 압력일 수 있다. 본 예에서 제 1 및 제 2 진공 챔버는 점성, 또는 비분자, 체제 또는 상태인 것으로 고려된다. 제 3 진공 챔 버(18)는 10-3 mbar의 낮은 압력일 수 있다. 본 예에서 제 4 진공 챔버(20)는 10-6 mbar의 보다 낮은 압력일 수 있다. 본 예에서, 제 3 및 제 4 진공 챔버는 분자 흐름 체제 또는 상태인 것으로 고려된다. [0011] [0012] [0013] [0014] 진공 펌핑 장치(10)는 진공 챔버를 차등적으로 펌핑하고, 그리고 도 2에 도시된 종래 기술의 장치와 비교하여 질량 분석기를 통해 상대적으로 증가된 샘플 흐름 속도를 유지하도록 설계된다. 또한, 펌프의 개수를 증가시 킴이 없이, 증가된 개수의 진공 챔버가 차등적으로 펌핑될 수 있다. 진공 펌핑 장치(10)는 입구(23)와 출구(25)를 갖는 1차 또는 배킹 펌프(22)를 포함하며, 상기 입구(23)는 제 1 진공 챔버(14)에 연결되어 있고 상기 출구(25)는 대기로 또는 대기 근방으로 배기된다. 펌프(22)는, 제 1 챔버에 필요한 압력 체제를 위해 적합하고 그리고 대기로 배기시키기에 적당한 스크롤 펌프일 수 있다. 부스 터 펌프(24)는 제 2 진공 챔버(16)에 연결된 입구(27)를 구비한다. 부스터 펌프는 1차 펌프(22)의 입구로는 배기하고 그리고 대기로 배기하지 않는 출구(29)를 갖고 있다. 부스터 펌프(24)는 배킹 펌프로부터 독립적으 로 작동되지 않으며, 1차 펌프(22)와 직렬로 연결되어 있다. 적어도 하나의 2차 펌프는 각 높은 진공 챔버를 펌핑하기 위해 마련된다. 도 1에서, 평행하게 도시된 2개의 2차 펌프(26, 28)는 제 3 진공 챔버(18) 및 제 4 진공 챔버(20)를 펌핑하도록 연결된 각 입구(31, 33)를 갖고 있다. 2차 펌프의 출구(35, 37)는 부스터 펌프 의 입구(27)에 연결되어 있다. 2차 펌프(26, 28)는 전형적으로 터보분자 펌프이며, 이것은 대기로 차등적으 로 배기하지 않는다. 따라서, 2차 펌프는 직렬로 연결된 부스터 펌프(24) 및 1차 펌프(22)에 의해 보완된다. 부스터 펌프는 증가된 펌핑 용량(속도) 및 감소된 압축비로 구성된다. 따라서, 적당한 부스터 펌프는 용량을 증가시키도록 구성된 스크롤 펌프일 수 있다. 이와 관련하여, 트윈-스타트 또는 멀티-스타트 스크롤 펌프는, 스크롤 펌프의 2개 또는 그 이상의 외부 덮개(wraps)가 그 입구에 연결되어 있기 때문에 증가된 펌핑 용량을 갖고 있으며, 각 외부 덮개는 펌핑 용량을 증가시키도록 주로 구성된다. 외부 덮개가 전형적인 스크롤 펌프 에서와 같이 직렬로 연결되지 않을 때, 흐름 경로를 따라서 외부 덮개로부터 다음 덮개까지 가스의 점진적인 압축을 성취하지 못하며, 그에 따라 압축비가 감소된다. 다른 예는 본 출원인의 영국 특허 출원 제 0914217.5 호에 개시된 팁 시일을 구비하지 않은 스크롤 펌프이다. 공지된 스크롤 펌프에서, 통상적으로 플 라스틱 재료로 제조된 팁 시일은 스크롤 벽과 대향 스크롤 벽 플레이트 사이를 밀봉하기 위해 각 스크롤 벽에 형성된 채널내에 수용된다. 팁 시일들은 스크롤 벽의 고압측으로부터 스크롤 벽의 저압측까지 가스의 역 누 설을 방지한다. 역 누출이 감소될 때, 보다 높은 압축비가 달성될 수 있다. 그러나, 팁 시일은 접촉 시일이 며, 그에 따라 이동하는 표면 사이의 마찰에 의해 야기된 펌프의 동력 필요성을 증가시킨다. 도 1에서의 적 절한 부스터 펌프는 이러한 팁 시일을 갖지 않는 스크롤 펌프이다. 팁 시일의 부재는 펌프에 의해 요구되는 동력, 특히 보다 높은 입구 압력에서의 동력을 감소시키는 역 누설을 증가시킨다. 이러한 스크롤 펌프는 멀티-스타트 스크롤 펌프에 추가로 또는 멀티-스타트 스크롤 펌프를 대체하여 사용될 - 4 -

수 있다. 예를 들면, 팁 시일은 스크롤 펌프의 외부 평행 덮개로부터 없을 수 있지만, 펌프의 압축 스테이지 에 존재할 수 있다. [0015] [0016] [0017] [0018] [0019] [0020] [0021] 다른 적당한 부스터 펌프는 본 기술 분야에 숙련된 자들에게 공지되어 있다. 보다 상세하게, 1차 펌프(22)는 그 입구와 출구 사이에 제 1 압축비를 제공하도록 구성된다. 진공 시스템을 사용시로 도시하고 있는 도 1에서, 제 1 챔버는 1차 펌프(22)에 의해 10mbar까지 배기되며, 1차 펌프는 대기 (1bar)까지 배기시킨다. 따라서, 1차 펌프의 압축비는 100이다. 부스터 펌프는 그 입구와 출구 사이에 제 2 압축비를 제공하도록 구성된다. 도 1에서, 제 2 진공 챔버(16)는 1mbar로 배기되며, 부스터 펌프는 10mbar에 서 1차 펌프(10)의 입구로 배기된다. 따라서, 부스터 펌프(24)의 압축비는 10이다. 따라서, 1차 펌프의 압 축비는 부스터 펌프의 압축비보다 크며, 도시된 예에 있어서 한 자릿수 크다. 또한, 1차 펌프는 그 입구와 출구 사이에 제 1 펌핑 용량 또는 속도를 제공하도록 구성된다. 도 1에서, 1차 펌프는 5800sccm(standard cubic centimeter per minute)의 펌핑 속도를 갖고 있다. 부스터 펌프는 그 입구 와 출구 사이에 제 2 펌핑 용량을 제공하도록 구성된다. 도 1에서, 부스터 펌프는 1600sccm의 펌핑 속도를 가질 수 있다. 제 1 펌핑 용량은 제 2 펌핑 용량보다 작다. 이것은 1차 펌프와 부스터 펌프 사이에 시너지 효과를 제공하며, 이 시너지 효과는 챔버들을 통한 흐름을 개선하고, 다른 챔버를 펌핑할 수 있게 한다. 이 와 관련하여, 제 1 챔버로부터 제 2 챔버까지의 흐름은, 부스터 펌프가 높은 펌핑 속도를 갖고 있기 때문에 상대적으로 높다. 따라서, 필요한 펌핑 속도가 부스터 펌프에 의해 성취되기 때문에, 1차 펌프는 주로 양호 한 압축비를 성취하도록 구성될 수 있다. 유사하게, 제 1 및 제 2 챔버에서 성취된 진공은 주로 1차 펌프에 의해 성취되며, 그 결과 부스터 펌프는 떨어지는 것을 허용할 수 있는 압축비가 아닌 증가된 펌핑 속도를 위 해 구성될 수 있다. 1차 펌프 및 부스터 펌프는 양 2차 펌프(26, 28)를 배킹하기 위해 직렬로 연결되어 있다. 따라서, 양 2차 펌프는 1차 펌프 및 부스터 펌프 양자에 의해 보완된다. 종래 기술에서, 2차 펌프는 단일 1차 펌프(114)에 의해서 보완된다. 따라서, 제 1 챔버(104)는 추가 1차 펌프(116)에 의해 배기된다. 1 차 펌프(114, 116) 양자는 압축비 및 필요한 펌핑 속도 양자를 성취하도록 구성되어야 한다. 따라서, 종래 기술의 장치에서는 특정 양의 낭비되는 작용이 있다. 도 1에서, 1차 펌프 및 부스터 펌프는 시너지 효과로 기능하며, 이에 의해 동력 필요성을 감소시키며 또한 필요한 압축비 및 필요한 펌핑 속도를 함께 달성할 수 있다. 복수의 진공 챔버(14, 16)를 차등적으로 펌핑하기 위한 1차 펌프(22)와 직렬로 부스터 펌프(24)를 마련하면 예를 들면 질량 분석기 시스템에서 장점이 있다. 부스터 펌프는 2차 펌프(26, 28)를 위한 배킹을 제공할 뿐 만 아니라 특히 점성 압력 체제에서 그리고 이 체제내의 하나 이상의 챔버에서 높은 샘플 가스 흐름을 제공한 다. 보다 상세하게, 높은 압력 챔버를 펌핑하는데 필요한 입구에서의 압력이 2차 펌프가 보완하기에는 통상적으로 너무 높기 때문에, 단일 1차 펌프가 높은 압력 진공 챔버를 펌핑하고 그리고 2차 펌프를 보완하는 것은 일반 적으로 불가능하다. 따라서, 도 2에 도시된 바와 같이, 2개의 1차 펌프가 필요하다. 제1 1차 펌프는 제 1 진공 챔버(104)를 펌핑하고, 제2 1차 펌프는 2차 펌프를 보완한다. 도 1에서, 직렬로 연결된 1차 펌프와 부스터 펌프의 조합은 종래 기술에 비해 많은 장점을 제공한다. 첫째, 이러한 조합은 증가된 펌핑 용량을 제공하기 때문에, 증가된 샘플 흐름 속도가 성취된다. 둘째, 양 1차 펌프 (22) 및 부스터 펌프(24)는 2개의 진공 챔버(14, 16)를 펌핑하도록 연결될 수 있다. 종래 기술에서, 2개의 1 차 펌프는 단지 하나의 진공 챔버를 펌핑할 수 있다. 이러한 후자와 관련하여, 1차 펌프 및 부스터 펌프 조 합은 도 2에 도시된 1차 펌프중 어느 하나에서 이뤄질 수 있었던 보다 부스터 펌프의 입구에서 보다 낮은 압 력을 펌핑할 수 있다. 따라서, 부스터 펌프의 입구는 진공 챔버와 보완 2차 펌프 양자에 연결될 수 있다. 추가의 차등적으로 펌핑된 챔버가 종래 기술에 비교하여 시스템내에 제공될 수 있는 동시에 종래 기술에서와 동일한 개수의 펌프를 이용할 수 있게 하는 추가의 장점이 있다. 도 2에 도시된 종래 기술의 펌핑 장치와 달리, 부스터 펌프를 사용하는 것은 진공 펌핑 장치의 동력 소비 또 는 물리적인 사이즈의 상당한 증가없이 증가된 펌핑 성능을 제공한다. [0022] 부호의 설명 10 : 진공 펌핑 장치 12 : 진공 시스템 14, 16, 18, 20 : 진공 챔버 22 : 1차 펌프 - 5 -

23 : 입구 25 : 출구 26, 28 : 2차 펌프 27 : 입구 29 : 출구 31, 33 : 입구 35, 37 : 출구 도면 도면1 도면2-6 -