Invest Novel Thinking, Create Novel Value 경기도의왕시고천동경수대로 209 월드비젼 505 (16076) Tel Fax World Vision 505

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정명 위
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070-7507-1411 World Vision 505, #209, Gyeongsu-daero, Uiwang-si,

1 경기도의왕시고천동경수대로 209 월드비젼 505 (16076) Tel Fax World Vision 505, #209, Gyeongsu-daero, Uiwang-si, Gyeonggi-do, Korea (16076) Tel Fax 본카달로그내의제품이미지와사양은실제와다소차이가있을수있습니다.

COMPANY VISION 새론테크놀로지는대한민국전자현미경의역사입니다. 2001 년국내최초로주사전자현미경 (SEM) 국산화개발에성공하여사업화에착수한이래로 새론테크놀로지는대한민국전자현미경역사에서 ' 최초 ', ' 최고 ' 와함께해온대한민국대표전자빔브랜드입니다.

2 COMPANY VISION 새론테크놀로지는대한민국전자현미경의역사입니다 년국내최초로주사전자현미경 (SEM) 국산화개발에성공하여사업화에착수한이래로 새론테크놀로지는대한민국전자현미경역사에서 ' 최초 ', ' 최고 ' 와함께해온대한민국대표전자빔브랜드입니다. 그동안축적된독자적전자빔 Optic 설계기술을토대로국내최고사양의전자현미경제품들과다양한고객의수요에따른맞춤형제품들을공급해드리고있습니다. 새론테크놀로지는가격경쟁력에치중한국내후발업체들의저가제품화에대한차별화와첨단기술력을앞세운해외경쟁사제품과의경쟁을위해 Low-end 부터 High-end 까지전제품군에걸친다양한모델들을출시하고있습니다. 또한고객의필요와요구를만족시켜드리기위하여최적의제품들과차별화된어플리케이션솔루션을공급해드리고자, 꾸준히연구개발에정진하고있습니다. CHANGE Creativity and Innovation Enjoy the Change and Make the Change Ethics and Transparency Business 최고지향 (SUPREME) 세계화의눈높이에서세계최고의기술수준을지향한다. 고객지향 (BEST CARE) 고객이인정하는최상의제품을만든다. 새론테크놀로지는 New Technology 의또다른이름입니다. ' 새론테크놀로지 ' 는 ' 새로운테크놀로지 ' 를지향하고자하는당사의의지입니다 년세계최초로전자빔을이용한 ' 하이브리드 Micro Joining System' 을발표한이래전자현미경경통을 X-ray tube 로활용한 "Hybrid X-ray SEM" 개발을통해국내외첨단기술을연구 / 개발하는고객들을위한최적의시스템공급과더불어미래의나노메카트로닉스시대를대비하고있습니다. 한편으로는다양한산업군고객들의 Needs 를수용하여 Top-Down 방식으로검증된 Optic 부를장착한탁상형 Mini SEM 모델및 ' 성능 ' 과 ' 가격 ' 모두를만족시켜드릴수있는컴팩트 SEM 시리즈를출시하였으며, 지속적인 R&D 를통한차별화된특허기술과분석솔루션을제공하고있습니다. 이러한끊임없는노력의결과물들은 새론테크놀로지의이름에담은고객과의약속입니다 도약을위한출사표제품기술력은하루아침에얻어지는것이아닙니다. 새론테크놀로지의제품에는그간의저희의역사와노력이담겨져있습니다 년초, 함께품었던꿈을위해끊임없이노력하고정진해오고있습니다 년, 국내최초국산화개발된 FE SEM 의제품화및국내최고사양의 LaB6 Normal SEM 제품출시로대한민국은세계 6 번째 FE SEM 제조국가의반열에진입했습니다. 그동안의오랜준비를끝내고글로벌메이저업체로비상하는저희들을애정어린관심을가지고지켜봐주십시오. CHALLENGE Energy New Challenge Creates Brighter Future WORK Performances Full of Passion for Work. SERON's PHILOSOPHY SHARED VALUE Society Responsibility for Society is a Driving Force for the Future of Company. 혁신추구 (INNOVATION) 창조적열정을발휘하여기술을선도하는혁신을지속한다. 인재존중 (EXCELLENT) 자기개발과비전달성에최선을다하는구성원을존중하며, 화합을통하여즐겁게일할수있는터전을마련한다. 국가공헌 (CONTRIBUTION) 국가경쟁력에공헌하는제품을구현한다. HISTORY SEM 국산화개발착수 미래로시스템 IS2000 모델출시분해능 8nm 저가형제품화 AIS2003 모델출시분해능 5nm 제품보급 " 우수산학사례모범업체 " 선정 / 경기도지사표창 AIS2100 상용화제품경쟁력확보 ( 분해능 3.5nm) Micro E-beam Joining System 세계최초개발 국산화 SEM 보급을위한수입관세적용 ( 무역부 ) 우수자본재개발유공자선정 ( 장관표창 ) Low- SEM 국산화 사업본부독립, 신규법인 ' 새론테크놀로지 ' 설립 기업부설연구소설립, 벤처등록, 이노비즈업체선정수출유망중소기업선정, 경기도유망중소기업선정 AIS2300 개발제품대상기술혁신상 (Nano Korea 조직위 ) Conical SEM 국산화개발 AIS2300C/AIS2100C 제품출시 ( 분해능 3.0nm) 우수중소기업인선정중소기업유공자표창 Compact SEM, AIS1800C/AIS2000C 제품화 Max. 180uA 출력 Probe Current SEM Optics 개발 2 단 Lenses Optics 개발 SEM 과 X-ray 를융합한 Hybrid XEM 제품개발 Tablet Mini SEM 제품화 AURA100/AURA200 FE SEM 국내최초개발성공 FE-SEM 제품출시 LaB6 Premium SEM 제품출시 02 03

Specifications MODEL SEMIRON 5000 3nm Au Particle Electron Gun Source Magnification Image Beam Scan Mode Bias System Gun

0nm @BSE 10X ~ 1,000,000X Secondary Electron Image SEI, Backscattered Electron Image, TSEM(Option) Search, Inspection, Photo

Voltage plus continuous voltage control Auto-Gun Alignment (Using Histogram) Electromagnetic lens, Electrostatic Lens 60

for uncoated sample inspection) & CCD 1nm Au Particle Auto-Focus, Auto-Stigmatism, Auto Contrast/ Brightness, Emission

1536 ~ 8192 X 6144) IMAGE ANLYZER FE-SEM SEMIRON 5000 Field Emission Scanning Electron Microscope Multi-Focusing/Image

Noise Filters, Blob Analysis, Material Analysis package AOI(Area-of-Interest), 각종측정 Tools, 파일변환 Measurement S/W (Excel) etc.

~ 60 (Max 90 ) / 360 Endless 2016년형 SEMIRON5000은 2000년대초 Normal SEM 국산화이후로꾸준한기술투자와열정으로이룩한 ( 주 ) 60 Conical O.

축적된자체경통설계 (electron optic design) 기술을기반으로고안된 Schottky 고분해능및고해상도영상구현 (Ultra-High Pixel Positioning 방식의 FE SEM입니다.

Multi-Tasking Window 환경구축 Control Type Full automation with safety system 때문에고배율에서의표면영상관찰에매우유리한장점을지니고있습니다.

3 Specifications MODEL SEMIRON nm Au Particle Electron Gun Source Magnification Image Beam Scan Mode Bias System Gun Alignment Lens System Schottky FE-Tip 약 KeV SE/ 10X ~ 1,000,000X Secondary Electron Image SEI, Backscattered Electron Image, TSEM(Option) Search, Inspection, Photo (3step) ~ 30kV (Continuous Voltage Change) Linked with Acc. Voltage plus continuous voltage control Auto-Gun Alignment (Using Histogram) Electromagnetic lens, Electrostatic Lens 60 Conical Object Lens Image Shift X/Y (330/325um), Image Rotation (360 ) ET-Type SE (SE-BSE image mode without BSE detector for uncoated sample inspection) & CCD 1nm Au Particle Auto-Focus, Auto-Stigmatism, Auto Contrast/ Brightness, Emission Current, Auto-stepping & Tiling, Auto photograph by pre-setting, etc Operation System Multi Tasking Window GUI, Remote Control Adjustment. etc. Nano Fiber Gold Particle Digital Imaging Area Mode (640X480), Inspection Mode (960X640, 1024X768, 2048X1536), Photo(2048 X 1536 ~ 8192 X 6144) IMAGE ANLYZER FE-SEM SEMIRON 5000 Field Emission Scanning Electron Microscope Multi-Focusing/Image Tiling/3D-View/ Enhancement/Color Transformation/Histogram Image Analysis Frequency Filter & User-Define Filter/ 다양한이미지 Noise Filters, Blob Analysis, Material Analysis package AOI(Area-of-Interest), 각종측정 Tools, 파일변환 Measurement S/W (Excel) etc. STAGE SYSTEM Be equipped with Precision Micro Stepping Motor Movement (X/Y/Z) mm 50/ 70/ 65 mm (Option: Large Stage&Chamber) ~ 60 (Max 90 ) / 360 Endless 2016년형 SEMIRON5000은 2000년대초 Normal SEM 국산화이후로꾸준한기술투자와열정으로이룩한 ( 주 ) 60 Conical O.L 렌즈적용 ( 대면적시료관찰가능 ) 5-Axis Motorized Stage Stage Motorization Auto-stepping & Tiling, Navigation & Retrieval 새론테크놀로지의결과물로써, 축적된자체경통설계 (electron optic design) 기술을기반으로고안된 Schottky 고분해능및고해상도영상구현 (Ultra-High Pixel Positioning 방식의 FE SEM입니다. ) VACUUM SYSTEM 초고속주사처리방식의제어구동드라이버장착 High Mode( 2X~10 SEMIRON 5000은기존의 Normal SEM 제품이지니고있는분해능의한계를넘어선고해상도영상을구현하기 -9 mbar) Multi-Tasking Window 환경구축 Control Type Full automation with safety system 때문에고배율에서의표면영상관찰에매우유리한장점을지니고있습니다. 또한 60 Conical 대물렌즈는짧 Auto-Stepping에의한대용량정보저장및 Filing 처리가능 Rotary Pump + Turbo Pump / Ion Pump 은 Working Distance에서도대면적시료의장착및이동을자유롭게구현하면서고배율의선명한영상을확보 System including Sensor 다양한영상노이즈필터및 Measurement S/W탑재할수있고, EDS 및 WDS 등의분석기기를장착함에있어서도최적의성능을구현할수있는장점을지니고있 OTHERS 강력한이미지프로세싱기능및이미지분석 S/W 패키지탑재습니다. 그동안해외 FE-SEM 제품의사용상에서느끼고있었던유지및보수측면에서도부담을크게줄일수 BSE, EDS, WDS, EBSD, TSEM, Load-lock Options Chamber etc. 04 있으므로실질적으로국내첨단기술개발활용에큰도움이될것입니다. 05

마크로응용분야및초보사용자를위하여고안된 Desk-Top Mini SEM Academic R&D에최적화된 Compact Type SEM DESK-TOP SEM SERIES COMPACT SEM SERIES AURA 100 2-Stage Lens Optic System (5~ 20kV

30,000X with BSE (Additional Digital Zoom 2X, 4X, 8X) Area Mode (640X480), Inspection Mode(960X640~2048X1536) Photo Mode (2048X1536~8192X6144) Stage Stroke :

Charge-up Reduction Mode Multi-Tasking UI Window Be Equipped with Powerful Analysis S/W Be Equipped with AOI Measurement Tool Dimension Approx.

6kV) 영상구현 - without Coating 2) Tablet SEM의단점인내부진동, 발열, EMI등문제점해결 3) 세계최상의분해능을지닌 Mini-SEM 구현 4) 최소의설치및운용공간 - 540(W) X 570(D) X 1300(H)mm³ 5) 강력한분석 S/W 및다양한측정

0nm @30kV SE Magnification 10X ~ 200,000X (Max.) ( 추가 Digital Zoom 2X, 4X, 8X) 0.

Non-coating sample inspection) Auto-Gun Alignment, Auto-Focus, Auto-Stigmatism, Auto Contrast/ Brightness, Emission Current & etc.

Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Image Analysis & Measurement S/W Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-of-

STAGE SYSTEM Movement (X/Y/Z) mm 40/ 40/ 40mm 0 ~60 / 360 Endless Standard : 5-Axis Manual Stage Stage Motorization Option : 3-Axis(X,Y,R) Motorized Stage.

Type Full automation with safety system System Rotary Pump + Turbo Pump OPTION ITEMS Analysis Tool EDS, BSE, TSEM, 3D Reconstruction S/W & etc.

Stage Stroke : X,Y(40mm)/Z(5~40 mm)/rotation(360 o )/Tilt(0~45 o ) Stage Motorization(Option : X/Y/R) Auto-Gun Alignment/Auto-Focus/

388(W) X 600(D) X 638(H) 4) Slim한 Portable 사이즈 5) 강력한분석 Software 및기하학적형태의측정가능 6) High scan speed & high pixel resolution AIS2000C Features 1)

5) Office 환경을고려한 " 최소의 Slim화된설치공간 " : 540(W) X 570(D) X 1500(H)mm³ 6) Low Mode 지원 MODEL AIS2000C (Compact Normal SEM) 3.

4 마크로응용분야및초보사용자를위하여고안된 Desk-Top Mini SEM Academic R&D에최적화된 Compact Type SEM DESK-TOP SEM SERIES COMPACT SEM SERIES AURA Stage Lens Optic System (5~ 20kV for SI Photodiode BSE ) Magnification : ~ Max. 30,000X with BSE (Additional Digital Zoom 2X, 4X, 8X) Area Mode (640X480), Inspection Mode(960X640~2048X1536) Photo Mode (2048X1536~8192X6144) Stage Stroke : X,Y(40mm)/Z(5~40 mm)/rotation(360 o )/Tilt(0~45 o ) Auto-Gun Alignment/Auto-Focus/ Auto-Stigmator/Auto-Contrast-Brightness & etc. Charge-up Reduction Mode Multi-Tasking UI Window Be Equipped with Powerful Analysis S/W Be Equipped with AOI Measurement Tool Dimension Approx. 388(W) X 600(D) X 565(H) AURA 200 : ~ Less than 30kV(20kV Standard) AIS1800C Features 1) Low KeV(from 0.6kV) 영상구현 - without Coating 2) Tablet SEM의단점인내부진동, 발열, EMI등문제점해결 3) 세계최상의분해능을지닌 Mini-SEM 구현 4) 최소의설치및운용공간 - 540(W) X 570(D) X 1300(H)mm³ 5) 강력한분석 S/W 및다양한측정 Tool 탑재 6) 수차감소기술적용 - For better resolution 7) ET-Type SE (SE/BSE 영상모드 ) MODEL AIS1800C (Compact Mini SEM) kV SE, SE Magnification 10X ~ 200,000X (Max.) ( 추가 Digital Zoom 2X, 4X, 8X) 0.6kV~30kV Electron Gun Type Tungsten Filament Image Shift 250μm (X,Y), Image Rotation (360 ) ET-Type SE (SE-BSE Conversion Mode Without BSE detector for Non-coating sample inspection) Auto-Gun Alignment, Auto-Focus, Auto-Stigmatism, Auto Contrast/ Brightness, Emission Current & etc. Frame Memory Area Mode(640X480), Inspection Mode(960X640, 1024X768, 2048X1536) Photo Mode (2048X1536 ~ 8192X6144) IMAGE ANALYZER Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Image Analysis & Measurement S/W Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-of- Interest) & etc. STAGE SYSTEM Movement (X/Y/Z) mm 40/ 40/ 40mm 0 ~60 / 360 Endless Standard : 5-Axis Manual Stage Stage Motorization Option : 3-Axis(X,Y,R) Motorized Stage. Position Retrieval (Auto-Stepping & Tiling Function for wide FOV & Ultra Pixel resolution) VACUUM SYSTEM (Low System : Option) High Mode(~10-5 Torr) Control Type Full automation with safety system System Rotary Pump + Turbo Pump OPTION ITEMS Analysis Tool EDS, BSE, TSEM, 3D Reconstruction S/W & etc. Features 1) 고객사양의실용적인가격대를지닌 Mini SEM 2) 수차감소기술이적용된 Optic Design 적용 3) Low KV Mode 지원 (SEM Image Obtain without Coating) : 1kV~20kV (Option: 30kV) Magnification : ~ Max. 150,000X (Additional Digital Zoom 2X, 4X, 8X) : SE /BSE (Option) Area Mode (640X480), Inspection Mode(960X640~2048X1536) Photo Mode (2048X1536~8192X6144) Stage Stroke : X,Y(40mm)/Z(5~40 mm)/rotation(360 o )/Tilt(0~45 o ) Stage Motorization(Option : X/Y/R) Auto-Gun Alignment/Auto-Focus/ Auto-Stigmator/Auto-Contrast- Brightness & etc. Charge-up Reduction Mode Multi-Tasking UI Window Be Equipped with Powerful Analysis S/W Be Equipped with AOI Measurement Tool Dimension Approx. 388(W) X 600(D) X 638(H) 4) Slim한 Portable 사이즈 5) 강력한분석 Software 및기하학적형태의측정가능 6) High scan speed & high pixel resolution AIS2000C Features 1) 검증된제품안정성및최적의성능을갖춘보급형 SEM 2) 5축구동방식의최적의실용적인가격대의 COMPACT SEM 3) 강력한분석 S/W 및다양한측정 Tool 탑재! 4) ET-Type SE (SE / BSE 영상모드 ) : Non-Coating 상태에서영상관찰가능! 5) Office 환경을고려한 " 최소의 Slim화된설치공간 " : 540(W) X 570(D) X 1500(H)mm³ 6) Low Mode 지원 MODEL AIS2000C (Compact Normal SEM) 3.0 SE Magnification 10X ~ 300,000X (Max.) ( 추가Digital Zoom 2X,4X, 8X) 0.6kV~30kV Electron Gun Type Tungsten Filament Image Shift 250μm (X,Y), Image Rotation (360 ) ET-Type SE (SE-BSE Conversion Mode Without BSE detector for Non-coating sample inspection) Auto-Gun Alignment, Auto-Focus, Auto-Stigmatism, Auto Contrast/Brightness, Emission Current & etc. Frame Memory Area Mode(640X480), Inspection Mode(960X640, 1024X768, 2048X1536) Photo Mode (2048X1536 ~ 8192X6144) IMAGE ANALYZER Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Image Analysis &Measurement S/W Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-of- Interest) & etc. STAGE SYSTEM Movement (X/Y/Z) mm 40/ 40/ 40mm 0~ 60 / 360 Endless Standard : 5-Axis Manual Stage Stage Motorization Option : 3-Axis(X,Y,R) Motorized Stage. Position Retrieval (Auto-Stepping & Tiling Function for wide FOV & Ultra Pixel resolution) VACUUM SYSTEM (Low System : Option) High Mode(~10-5 Torr) Control Type Full Automation with Safety System System Rotary Pump + Turbo Pump OPTION ITEMS Analysis Tool EDS, BSE, TSEM, 3D Reconstruction S/W & etc. 06 Application Data Application Data 07

"NANO Korea 조직위원회 " 로부터기술혁신상을수상한 Normal SEM NORMAL SEM SERIES LaB6 Cathode 를장착한 Premium 급 Normal SEM NORMAL SEM SERIES AIS2300C AIS2500C Features 1) 고배율및저가속전압에서선명한영상공급 2)

Image 구현 AIS2500C 는 LaB6 Cathode 가장착되어 Tungsten hair-pin filament SEM 의분해능의영역을높여서고배율에서의표면영상관찰에유리하도록고안된장점을지니고있습니다.

에서도대면적시료를폭넓게이동하면서고배율및고분해능의영상의관찰이자유롭도록고안되었습니다. 또한, EDS 및 WDS 같은다양한분석기기에서요구하는물리적호환성을만족시킬수있으므로최상의 Resolving Power 를구현할수있는장점을지니고있습니다.

Tasking Window 환경구축 - Auto-Stepping & Tiling 에의한대용량정보저장및 Filing 처리가능 - 강력한이미지프로세싱기능, Analysis S/W 및 Measurement S/W 탑재 MODEL Magnification Electron Gun Type Optic Lens Image

Inspection) Auto-Gun Alignment, Auto-Focus, Auto-Stigmatism, Auto Contrast/Brightness, Emission Current etc.

3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram/ Excel Data/ Various Image Filter/ Image AnalyzerParticle Counter&Measurement S/W Blob Analysis

STAGE SYSTEM Support Super Ultra High Pixel for paper work (Auto stepping & Tiling) Movement (X/Y/Z) mm 60/ 70/ 65 mm (Option: Large Stage & Chamber) -20 ~60 (Max.

Position Retrieval Stage Motorization Auto-Stepping & Tiling Function for wide FOV & Ultra Pixel resolution) Option : Additional Axis Motorization(T,Z) is available VACUUM

Particle Counter AIS 2500C LaB6 Filament Cathode 2 nm @ 30KeV SE/ 3nm @BSE 10X ~ 1,000,000X Secondary Electron Image(SEI), Option: Backscattered Electron Image(BEI), TSEM 0.

2kV) Auto-Gun Alignment (Using Histogram) Electromagnetic 2 stages 60 o Conical Object Lens (1 stage) 330 / 325μm (X/Y), Image Rotation(360 ) ET-Type SE (SE-BSE Conversion

5 "NANO Korea 조직위원회 " 로부터기술혁신상을수상한 Normal SEM NORMAL SEM SERIES LaB6 Cathode 를장착한 Premium 급 Normal SEM NORMAL SEM SERIES AIS2300C AIS2500C Features 1) 고배율및저가속전압에서선명한영상공급 2) 업그레이드된스캔스피드와고해상도의제어구동부 3) 검증된제품안정성및재연성 4) 직관적인 UI/UX 플랫폼탑재 ( 멀티태스킹윈도우 ) 5) 세계최고수준의분석 S/W 및다양한측정자동화툴탑재 6) Precision Stage를통한 Sample Navigation 기능 7) ET Type SE 를통한 SE/BSE Image 구현 AIS2500C 는 LaB6 Cathode 가장착되어 Tungsten hair-pin filament SEM 의분해능의영역을높여서고배율에서의표면영상관찰에유리하도록고안된장점을지니고있습니다. AIS2500C 는자화 ( 磁化 ) 특성을최소화하기위한 Shielding 처리에있어서, 특수 Alloy 재질인 mu-metal 소재를적용하여제품의내구성을높였으며, 자체설계된 60 Conical 대물렌즈는짧은 Working Distance 에서도대면적시료를폭넓게이동하면서고배율및고분해능의영상의관찰이자유롭도록고안되었습니다. 또한, EDS 및 WDS 같은다양한분석기기에서요구하는물리적호환성을만족시킬수있으므로최상의 Resolving Power 를구현할수있는장점을지니고있습니다. Specifications 8) 사용환경을고려한 Slim한디자인 9) 나노기술및바이오샘플분석에최적화된시스템지원 Specifications - 60 Conical Lens 적용 ( 대면적시료관찰가능 ) - 고분해능및고해상도영상구현 (High Pixel ) - 초고속주사처리방식의제어구동드라이버장착 - Multi Tasking Window 환경구축 - Auto-Stepping & Tiling 에의한대용량정보저장및 Filing 처리가능 - 강력한이미지프로세싱기능, Analysis S/W 및 Measurement S/W 탑재 MODEL Magnification Electron Gun Type Optic Lens Image Shift AIS 2300C 3.0 nm 30kV SE, 4.0nm BSE 10X ~ 1,000,000X (Max.) 0.6kV~30kV (Min. 0.2kV) Tungsten Hair-pin Filament Electromagnetic Lens System 250μm (X,Y), Image Rotation(360 ) ET-Type SE (SE-BSE Conversion Mode Without BSE for Non-Coating Sample Inspection) Auto-Gun Alignment, Auto-Focus, Auto-Stigmatism, Auto Contrast/Brightness, Emission Current etc. Area Mode(640X480) Frame Memory Inspection Mode(960X640, 1024X768, 2048X1536) Photo Mode (2048X1536 ~ 8192X6144) IMAGE ANALYZER Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram/ Excel Data/ Various Image Filter/ Image AnalyzerParticle Counter&Measurement S/W Blob Analysis (Single/Multiple/Grouping)/ Point Measurement/ AOI(Area-of-Interest) & etc. STAGE SYSTEM Support Super Ultra High Pixel for paper work (Auto stepping & Tiling) Movement (X/Y/Z) mm 60/ 70/ 65 mm (Option: Large Stage & Chamber) -20 ~60 (Max. 90 ) / 360 Endless Standard : 3-Axis(X,Y,R) Motorized Stage. Position Retrieval Stage Motorization Auto-Stepping & Tiling Function for wide FOV & Ultra Pixel resolution) Option : Additional Axis Motorization(T,Z) is available VACUUM SYSTEM High Mode(~10-5 Torr) / Low Mode (Option) Control Type Full Automation with Safety System System Rotary Pump + Turbo Pump OPTION ITEMS Analysis Tool EDS, BSE, TSEM, 3D Reconstruction S/W, CCD Camera & etc. MODEL Electron Gun Source Magnification Image Gun Alignment Condenser Lens Objective Lens Image Shift Operation System Frame Memory &Scan Speed IMAGE ANLYZER Image Analyzer Particle Counter AIS 2500C LaB6 Filament Cathode 2 30KeV SE/ 10X ~ 1,000,000X Secondary Electron Image(SEI), Option: Backscattered Electron Image(BEI), TSEM 0.6kV~30kV (Max. 0.2kV) Auto-Gun Alignment (Using Histogram) Electromagnetic 2 stages 60 o Conical Object Lens (1 stage) 330 / 325μm (X/Y), Image Rotation(360 ) ET-Type SE (SE-BSE Conversion Mode Without BSE for Non-Coating Sample Inspection) Auto-Gun Alignment, Auto-Focus, Auto-Stigmatism, Auto Contrast/Brightness, Emission Current Auto-stepping & Tiling, Auto photograph by pre-setting etc. Multi Tasking Window GUI, Remote Control Adjustment Function, etc. Area Mode (640X480), Inspection Mode (960X640, 1024X768, 2048X1536) Photo Mode (2048X1536 ~ 8192X6144) Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/Filters/ Blob Analysis (Single/Multiple/Grouping)/ Histogram/ Excel Data/ Point Measurement/ Various Image Filter, etc. STAGE SYSTEM Support Super Ultra High Pixel for paper work (Auto stepping & Tiling) Movement (X/Y/Z) mm 60/70/ 65 mm (Option: Large Stage & Chamber) -20 ~60 (Max. 90 ) / 360 Endless Standard : 3-Axis(X,Y,R) Motorized Stage Stage Motorization Position Retrieval (Auto-Stepping & Tiling Function for wide FOV & Ultra Pixel resolution Additional Axis Motorization(T,Z) is available VACUUM SYSTEM (Low System : Option) High Mode(~10-7 Torr 이하 ) / Low Mode (Option) Control Type Full automation with safety system System Rotary Pump + Turbo Pump / Ion Pump OPTION ITEMS BSE, EDS, WDS, EBSD, TSEM, Load-lock Chamber & etc. 08 Application Data Application Data 09

GUI Analysis s/w I Multi-Tasking Window 에기반한 New GUI 사용자의편의를최대로고려한혁신적이고직관적인현대적감각의 New UI

AIS SEM 시리즈의 GUI(graphic User Interface) 는강력한영상분석 S/W 및측정 Tool 을장착하고있습니다.

은자동적으로공통점 (Polarity) 를축출하여영상을합성시켜 Panoramic 영상을제공해주는기능입니다.

이외에도 Histogram, Frequency Filter, User Define Filter 와같은다양한 Image Enhancement

1 단순화된화면구성으로주요기능에집중 2 사용빈도수에따른내정보배치 3 시선의이동과마우스의이동동선을최소화 4 모니터사양변경시화면정보배치를유연하게변경 5 Short

와제어부의구동드라이버를전격업그레이드하여 Linux 기반의내부 LAN 통신에의한고속처리가가능하도록하여, 신규디자인된 C # Platform 의 UI

라이브화면, 저장된이미지, 전자현미경내부의 CCD 영상, 검출기영상등을한눈에볼수있도록디자인하여영상처리작업을동시에구현할수있도록하는 Multi-Tasking

1024X768 화면해상도에서 Live Image 를 Monitoring 할수있도록주사속도를향상시켰으며, 최대 8192X6144 의 pixel resolution

6 GUI Analysis s/w I Multi-Tasking Window 에기반한 New GUI 사용자의편의를최대로고려한혁신적이고직관적인현대적감각의 New UI 디자인탑재 AIS SEM 시리즈는전문적인영상처리를탑재하여제공해드리고있습니다. AIS SEM 시리즈의 GUI(graphic User Interface) 는강력한영상분석 S/W 및측정 Tool 을장착하고있습니다. 특히, Multi-focus 기능은 AIS SEM 에서만구현되고있는기술로써, 시료표면의높이차에의하여발생하는초점심도를자동적으로보정해주는기능이고, Auto Tiling 은자동적으로공통점 (Polarity) 를축출하여영상을합성시켜 Panoramic 영상을제공해주는기능입니다. Particle Counter 는입자의분포도크기, 원형도등을자동적으로영상을인식하여통계처리및분포도를측정할수있도록기능을제공해드립니다. 이외에도 Histogram, Frequency Filter, User Define Filter 와같은다양한 Image Enhancement 를위한전문적인영상처리기능도포함되어있습니다. 1 단순화된화면구성으로주요기능에집중 2 사용빈도수에따른내정보배치 3 시선의이동과마우스의이동동선을최소화 4 모니터사양변경시화면정보배치를유연하게변경 5 Short Cut으로 HW 컨트롤러대체, 양손활용의폭확장 6 충분한정보안내와피드백으로사용자의작동실수를최소화 SEM 의 Scan Generator 와제어부의구동드라이버를전격업그레이드하여 Linux 기반의내부 LAN 통신에의한고속처리가가능하도록하여, 신규디자인된 C # Platform 의 UI 와연동되도록최적의운영체계를구축하였습니다. 라이브화면, 저장된이미지, 전자현미경내부의 CCD 영상, 검출기영상등을한눈에볼수있도록디자인하여영상처리작업을동시에구현할수있도록하는 Multi-Tasking Window 기능을탑재하였습니다. 1024X768 화면해상도에서 Live Image 를 Monitoring 할수있도록주사속도를향상시켰으며, 최대 8192X6144 의 pixel resolution 을구현할수있습니다. 초보자모드와숙련자모드로설정하여누구든지쉽게사용할수있도록운영체계를구축하였습니다. 가상의 ' 리모콘 ' 을디자인으로구현하여, 화면어디에서든배치된조그셔틀을하드웨어컨트롤러처럼편리하게사용하실수있습니다. 또한단축키기능을강화하여양손으로자유롭게장비를조작할수있도록조작의신속성, 편의성을극대화하였습니다. 컴포넌트기능단위로 drag & drop 이가능하도록설계하여사용자가직접편의에따라 UI 를커스터마이징할수있으며, 듀얼모니터를사용하는경우여러정보창들을폭넓게재배치할수있도록고안하였습니다. Image Tiling 자동으로이미지의 Polarity( 공통점 ) 를축출하여여러장의이미지를한장으로합성하는기능입니다. + Multi-Focusing 표면의단차가심한시료의경우, Beam Shift 를이용하여초점을이동하여측정한여러장의이미지를다초점이잡힌한장의이미지로제공하는기능입니다 Focus1 Focus2 Focus3 Final 11

7 Analysis s/w II Particle Count APPLICATION NOTE Low KV Semiconductor 부도체 시료를 극저가속 전압(0.2~5kV)에서 Non-Coating 상태로 관찰이 가능합니다. 0.2kV Petrochemical Powder Counting, Grain Size 측정 및 분포도 분말(Powder) 분포도 및 면적 분석 공극율(Porosity) 분포도 및 측정 원형도 측정 Multi-Area Counting and etc. TSEM Powder in Solution Heat SEM & Dark Field Nano Fiber Wetting Nano 분말 및 Wire 등의 Nano-Size Sample의 표면과 투과 이미지를 동시에 관찰하는데 유용한 특허기술입니다. Nano Fiber Polyethylene Powder Fabric Heat SEM은 1000 이상에서 Phase Transitions와 재료의 구조 변화 분석에 유용하며, Dark Field는 Particle Inspection에 유용합니다. Pad by heating Dark Field Dark Field 3-Dimensional Reconstruction Analysis (Option) BSE Image 검출기의 추가 장착 없이 자체 지원되는 ET-BSE 검출기와 Si Photodiode BSE 및 Robinson BSE 를 용도에 맞게 선 택사양으로 제공합니다. ET-BSE Image BSE Image of Ceramic (SSD type) Robinson BSE 12 Auto Stepping & Tiling Auto Stepping은 설정된 구간을 Stage가 자동이동하며, 연속 촬영한 고배율의 영상들을 Auto Tiling 과정을 거쳐 1장에 압축된 고화질 이미지로 저장 및 관리할 수 있는 일련의 자동화 기능입니다. (특허 기술) Final Auto align- Auto focus- Auto stigma- Auto Contrast/brightness- Auto photograph Auto positioning Auto Tiling Super high pixel resolution & Wide field-of-view AOI (Area of Interst) 13

8 표면 영상 측정 장비인 SEM과 Micro Focus X-ray 영상이 결합된 Electron Beam Micro Joining System - 미세 모재 용접 및 Sintering 처리 HYBRID XEM Hybrid XEM은 시료의 표면관찰을 위한 SEM과 X-ray 투과 영상 관찰 을 위한 장치를 결합시킨 나노 융합장치로, 현실적인 가격대에서 표면 과 투과 영상을 하나의 장비에서 구현될 수 있도록 고안된 제품입니 다. (주)새론테크놀로지는 자체기술력으로 Sub-Micro크기까지 X-ray 영상을 관찰할 수 있는 나노융합 제품을 개발하였습니다. 또한 Hybrid XEM 은 자체 설계기술력을 바탕으로 제작되었으며, 낮은 Power의 가 속 전압으로 높은 영상 콘트라스트를 구현할 수 있다는 점에서 잠재적 으로 응용범위를 다양하게 넓힐 수 있는 특징을 지니고 있습니다. AIW 50 (주)새론테크놀로지는 2005년 세계 최초로 'Micro E-beam Joining' 기술을 개발하여, 전자빔 테크놀로지를 메카트로닉스 분야에 적용한 Hybrid 제품을 출시하였습니다. 현재 국내 연구소와 학교 및 세계 최고의 Micro Joining 연구소에 납품되어 다양한 응용분야를 위한 선행기술 연구에 사용되고 있습니다. SEM HYBRID COMPLEX XEM X-ray MICROSCOPE MICRO JOINING SYSTEM AIW50 모델은 전자빔을 이용하여 마이크로 나노 사이즈 시료의 표면을 관찰하는 SEM 기능과, 접합이나 신터링에 활용하는 가공 기능을 하나의 장비에서 동시에 구현할 수 있도록 고안된 첨단 하이브리드 시스템입니다. 전자빔 접합은 최소의 빔 Spot에 의한 최저의 열 변형도 및 최고의 초점 심도와 에너지 집적도를자랑하는 최고의 용접기술입니다. AIW50은 이러한 E-beam 용접 고유의 특성을 Micron 이하의 극미세 시료의 가공(Sintering, Welding, Cutting등)분야에 적용한 차세대 나노 메카트로닉스 테크놀로지를 위해 고안된 선행 장비입니다. 14 2) 반도체 패키징 및 Sintering 3) 정밀 센서 및 미세 Shielding 처리. 4) 이종 금속 간의 표면 용접. Specifications Acceleration Voltage Visual Inspection Source Probe Current Magnification Others Copper Wire Joining Copper Bulk Joining Solar Cell Tr. Sintering On Joining Process 1) Micro 이하 크기의 극미세 금속 모재 용접 (SEM Mode) Joining 8.0 (@WD 8 ) Depends on Probe Current W.D. ~30 Micro-Joining Process 1.0 KV ~ 35KV Electron induced Display (Tungsten Hair Pin Type) na ~pa for SEM, Max. ~ 100 μa (Guaranty Spec. 50 μa) 10X~200,000X High Sensitivity E-T detector. SE & BSE Image Acquisition Mode CCD, Faraday Cage, and etc. APPLICATION Ag Ball 15

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untitled Huvitz Digital Microscope HDS-5800 Dimensions unit : mm Huvitz Digital Microscope HDS-5800 HDS-MC HDS-SS50 HDS-TS50 SUPERIORITY Smart Optical Solutions for You! Huvitz Digital Microscope HDS-5800 Contents