Tabletop Mini-SEM Scanning Electron Microscope
About SEC 쎄크는산업용 X-ray 검사기및주사전자현미경 (Mini-SEM) 등전자빔을이용한검사ㆍ분석장비반도체후공정패키지장비등을설계, 제작하는산업용장비전문제조업체로써, 고객의현장에최적의 Solution 제공을통한고객만족에최우선의가치를두고있습니다. 1991 년창립이래 20년이상축적된기술노하우를바탕으로우리나라 E-beam 검사장비의근간을세우며, 지속적인개발, 생산을해왔습니다. 이에핵심부품을국산화하고새로운기술을끊임없이개발하여이제는세계적인기업들에대항할만한쎄크만의경쟁력을지니게되었습니다. 앞으로도장비제조업체의 Global Leader로나아가기위한도전을멈추지않을것입니다. History 2013 X-ray 검사기 600 대출고 Mini-SEM 300 대출고 2012 SMT 2D /3D AXI 장비출시 Nano Focus 장비 3D CT 장비출시 Mini-SEM 신모델 (3 종 ) 출시 2011 제 48 회무역의날 500 만불수출의탑수상창립 20 주년 2010 2010 중소기업기술혁신대전지식경제부표창 Mini-SEM 조달청우수조달물품지정 2009 김종현대표, 이달의기능한국인선정국내최초 ' 주사전자현미경 ' 특허출원 2007 제 39 회정밀산업기술대회국무총리표창산업용 3D CT 장비개발신기술 (NET) 인증획득 - 주사전자현미경, X-ray 검사기 Mini-SEM 탁상형주사전자현미경 쎄크에서국내최초로개발된탁상형주사전자현미경 (Mini-SEM) 은일반전자현미경의 Module 소형화를실현함으로써 Compact한 Design으로개발되었습니다. Mini-SEM은누구나손쉽게사용할수있는편리성과합리적인가격구성으로기업체관공서, 대학교에서연구개발및품질관리, 교육실습등의목적으로사용되는경제ㆍ보급형 SEM 입니다. Applications 금속 재료소재 금속소재, 세라믹, 제약, 섬유 미세결정입자및형태, 구조반도체 MEMS Wafer, Bonding Wire, LED, Nano Tech CNT(Carbon Nano Tube), Nano-Pattern 바이오 의료 동ㆍ식물, 생물, 박테리아, 화장품 2006 주사전자현미경 (Mini-SEM) 개발 2005 Flip Chip Bonder 개발 2002 X-ray 검사기개발 환경 에너지 교육 Major Features Solar Cell, 환경공학, 2 차전지 2000 ( 주 ) 쎄크법인설립 1999 TAB IC Potting System 개발 1996 Flange (Fiber Optic) 제조라인개발 1993 FDD 자동조립라인개발 1991 쎄크엔지니어링창업 최대배율 3만배, 6만배, 10만배 Line-up 구성 설치와이동이간편한초소형주사전자현미경 짧은대기시간으로고품질의신속한영상구현 누구나손쉽게사용할수있는편리성 ( 공동사용 ) 유지관리비용부담해소및신속한서비스지원 ( 품질관리, C/S팀운영 ) 체계적인교육시스템으로꾸준한정보획득 Mini-SEM User Interface Chamber CCD Camera x5.0k 초기값설정 1) 가속전압 (5~30kV) 2) Detector(SE, BSE) 3) Vacuum mode[high, Low] 4) S/W 언어설정 5) Start & Stop 사용절차 : Sample 확인 [CCD 카메라 ] Magnification Focus Contrast & Brightness High Scan mode Save 사용자 ( 기본, 고급 ) 모드구성으로접근성이편리하며, 화면상에서 Mouse(wheel, drag) 만으로초점, 배율, 자동이동기능구현 Mearsurement( 길이, 면적, 각도, Text..), Archives, Image 편집 S/W, EDS Mode 기능구성
About SEC SNE-4500M Features 최대배율 10 만배구현 미세입자구조분석최적화 Mini-SEM 유일 5-axis Stage 구축 (Z, Tilt 축구현 ) - X,Y(40mm), R(360 ), Z(35mm), T(0~45 ) - Z 축조절을통한고심도, 고분해능의수준높은영상제공 가변조리개 (Aperture-30,50,100,200um) 장착에따른 Beam spot size 조정으로고분해능영상구현 마우스조작으로간편하고다양한이미지분석 폭넓은 Chamber 으로다양한추가구성요소탑재 - BSE, EDS, Motorized Stage, Manipulator 등확장성 SNE-3200M Features 최대배율 6 만배구현 SE(2 차전자 ) + BSE ( 반사전자 ) Detector 적용 - 2 개의 Multi Detector 구성으로분석범위증대 폭넓은가속전압으로샘플조건에맞는분석지원 - 5kV ~ 30kV 의폭넓은가속전압모드설정 Tilt (0~45 ) Stage 선택적적용가능 Chamber CCD Camera 장착 - 시료실내부관찰, 시료관측, 충돌방지기능구성 EDS 장착을통한성분분석시스템지원 SNE-3000MB Features 최대배율 3 만배구현 BSE Detector 전용 SEM (4Q-Solid state) - 후방산란전자를이용한반사영상이미지제공 부도체시료의전처리없이 Non-Coating 시료분석가능 - Standard / Charge-up reduction mode 지원 - Cooling stage 장착을통한수분시료분석가능 시료교체후영상획득시간 2 분대구현 - High & Low vacuum System 고해상도영상구현으로입체적인시료분석실현
About SEC EDS System Major Features Detector - LN2( 액체질소 ) 를사용하지않는 SDD Type 원소검출범위 Boron(5) ~ Americium(95) Spectrum Resolution ( 분해능 ) - 128 ~ 133eV 이하 <*MnKa 기준 > Window - SUTW (Super Ultra Thin Window) 최대 X-ray 처리량 - 1,000,000 cps 정성 정량분석, Multi-point Analysis, Line Scan, Mapping, Report 기능지원 EDS Maker : EDAX, Bruker, Oxford SEM Image 획득 정성분석 정량분석 Multi point 분석 Line Scan Mapping Ion Sputter Coater MCM-100 Major Features 빠르고쉬운코팅방식 ( 자동진공 플라즈마코팅 진공해제 ) 저전압코팅으로시료손상없음 Sample Loading Size - Max. 50mm Target Material - Au(Gold) or Pt(Platinum) 180(W) x 310(D) x 310(H)mm / 15kg BSE Detector (Solid state type) SE (Secondary Electron)-2 차전자 요철에의한정보로이미지형성, 주로표면형상관찰로전체적인이미지구성에가장널리사용 BSE (Backscattered Electron)- 후방산란 ( 반사 ) 전자 시편을이루고있는성분 ( 원자번호 ) 에의해이미지가형성되며원자번호차이가 20 이상이면인접상의구별이가능함 Tilting Stage / Motorized / Control Joystick Keyboard Peltier Cooling stage System Sample의종류및사이즈에따른 Chamber, BNC port, CL 등 SEM 특수사양대응
About SEC Particle Measurement and Characteristic Analysis Industrial Powder - High Molecule, Nano Powder Battery Electrode / Pharmaceutical and Biological Latex Nano Powder Lactic Acid Bacteria Sea Animal Rice Flower s Stamen Nano wire CNT (Carbon Nano Tube) Fiber Silicon Powder Material Science and Failure Analysis Metal / Plastic and Ceramic / Film Bio-science Ceramic Fiber Observation Carbon Fiber / Glass Fiber CNT (Carbon Nano Tube) Fiber Electronic Component Observation and Failure Analysis BGA / PCB / LED / Wafer Bonding Wire / Micro-Electronics Pattern BGA Chip Solarcell Wire Bonding
About SEC Electron system Resolution 20nm (30kV, BSE Image) 15nm (30kV, SE Image) 20nm (30kV, BSE Image) 5nm (30kV, SE Image) Magnification 30x ~ 30,000x 30x ~ 60,000x 30x ~ 100,000x Accelerating Voltage Detector Observation mode 5~30kV (5 / 10 / 15 / 20 / 30 5 Steps) Backscattered Electron (BSE) Secondary Electron (SE) Secondary Electron (SE) Standard mode Charge-up reduction mode SNE-3000MB SNE-3200M SNE-4500M Backscattered Electron (BSE) *Multi Mode Standard mode Charge-up reduction mode Backscattered Electron (BSE) *option Standard mode Electron Gun Pre-centered Tungsten Filament Cartridge Lens System Stage system Stage Traverse Two-stage Electromagnetic Condenser Lens One-stage Electromagnetic Objective Lens 3-axis System - X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360 Image Shift : ±150 μm Chamber CCD Camera 구성 T-axis : 0 to 45 (Option) 5-axis System X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360 T-axis : 0 to 45, Z-axis : 0 to 35mm Image Shift : ±150 μm Max. Sample Size 70mm in Diameter x 30mm in Height 80mm in Diameter x 35mm in Height Iamge system Frame Memory High Speed Mode (320 240) : Preview mode Low Speed Mode (640 480) Photo Mode1 (1280 960) Photo Mode2 (2560 1920) Sampling Photo mode3 Automation Function Image Format Data display Vacuum System Auto Start, Auto Focus, Auto Stigmator Auto Contrast & Brightness BMP, JPG, PNG, TIFF Magnification, Detector Type, Accelerating Voltage, Vacuum mode, Logo(text), Date and time, Micron marker Vacuum mode High & Low Vacuum system High Vacuum System Vacuum Pump Control system OS Microsoft Windows 7 CPU Intel Core TM Memory / HDD 4GB / 500GB Interface connector USB 2.0 Dimensions and weight Main Unit Controller Unit Rotary Pump Installation room Rotary Pump + Turbo Molecular Pump [Full Automation System] 390(W)x380(D)x560(H)mm, 80, 83, 88kg 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg Room temperature : 15 ~30 / Humidity : 70% or less / Electric power : Single phase 200~240 AC, 1KW, 50/60Hz Example of Installation Layout 200~240V AC Rotary Pump(Air Com) Depth : 705 SEM 750 560 PC 390 Table 1,000 경기도수원시영통구원천동 332-2 팩토리월드 415 호 Tel :031 215 7341~2 / Fax :031 215 7343 www.seceng.co.kr E-mail: secmaster@seceng.co.kr 본카탈로그의내용은외관및제품성능개선을위해예고없이수정될수있습니다. (Version. 2013. 05)