시스템제 품 Products 수 Electronics 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스산테이지Motorized Stage 얼라인먼트스테이지X 검사시스템Inspection 자동 X X 스테이지가이던스 Understanding Motorized X, X Lin

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1 자동 X X 스테이지 Motorized X X Linear Stage XA A 시리즈 XA A Series 이동범위 Motion Range 테이블사이즈 Table Size 형식 Model Number ±5mm ±7.5mm ±10mm ±12.5mm ±25mm ±mm ±35mm ±50mm ±100mm 1 1 ±150mm XA04A-R** XA05A-R** XA07A-R2H XA07A-R102 XA07A-R201 XA07F-R102 XA07F-R201 XA10A-R2H XA10A-R** XA10F-R** XA05-L201 XA16A-R1 XA16A-R201 XA07A-L201 XA10A-L** XA16F-L21 XA16F-L22 XA16F-L23 H-008page H-010page H-016page H-012page H-014page H-018page H-020page H-024page H-022page H-026page H-0page H-028page H-028page H-0page H-032page H-034page H-034page H-034page 수평내하중 (N) Horizontal Load Capacity (N)

2 시스템제 품 Products 수 Electronics 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스산테이지Motorized Stage 얼라인먼트스테이지X 검사시스템Inspection 자동 X X 스테이지가이던스 Understanding Motorized X, X Linear Stage 사양표보는방법 Understanding Specifications 형식 Model Number 미러모델형식 Mirror Model Number 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 분해능 Resolution 사양표 Specifications 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20분할) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 누적리드오차 Accumulated Lead Error 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 진직도 Straightness 수평 Horizontal 수직 Vertical 백래쉬 Backlash 모멘트하중 Moment Load Stiffness 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 직교도 Perpendicularity 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price A07A-R102 A07A-R102-RRR 70mm 70mm 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±10mm 연삭나사, 리드 0.5mm Ground Screw, Lead 0.5mm 0.5μm/0.25μm 0.025μm 2.5mm/sec 10μm/20mm ±0.3μm 1μm 0.5μmm/20mm 1μmm/20mm 1μm 0.31 arcsec/n cm 88.2N(9kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matte Anodizing 1.7kg 5μm/20mm PK544PMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선5줄 ) PK544PMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 환형20핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) V3 F-116, 미러모델 : F-116R F-116, Mirror Model: F-116R 2,000 84,000,000,000 24,000,000 설명 Description 1 형식명칭입니다. Kohzu's significant alpha-numeric model numbers offer quick product insight. 2 형식 1에대한미러사양형식입니다. Mirror symmetry of standard stage. 3 스테이지테이블면의크기입니다. Table size refers to the stage's valid mounting table size. 4 스테이지안내방식입니다. Type of guide mechanism used on this stage. 5 중심점을기준으로플러스, 마이너스로표시합니다. Stage travel range in the positive and negative directions from it's centered or neutral position. 6 스테이지의보내기방식입니다. Feeding Mechanism. 7 마이크로스텝분할수의차이에따른스테이지의각분해능입니다. Variation of the stage resolution which is defined by microstep division. 8 스테이지가동작할수있는최고속도 ( 하프스텝, 10kpps시 ) 입니다. Maximum Speed of standard stage (half step, 10kpps). 9 검사방법을참조해주세요. 검사방법P-002페이지 See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P 검사방법을참조해주세요. 검사방법P-002페이지 See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P 검사방법을참조해주세요. 검사방법P-003페이지 See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P 검사방법을참조해주세요. 검사방법P-004페이지 See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P 검사방법을참조해주세요. 검사방법P-005페이지 See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P 검사방법을참조해주세요. 검사방법P-006페이지 See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P 스테이지중앙에서의탑재가능중량입니다. Maximum load capacity is for a horizontally orientated stage with load centered on top-plate. 16 주로사용되고있는재료를말합니다. Material specification is for stage's main body components only. 17 마감의색과표면처리를말합니다. Surface finish type and color. 18 제품의중량입니다. Stage weight includes all components depicted in product photograph. 19 2축조합스테이지의직교도를말합니다. Perpendicularity (or orthogonality) between motion axes in a dual-axis X stage assembly. 20 사용되고있는모터의형식및사양을말합니다. Motor type and specification. A07A-R102 21스테이지에사용되고있는커넥터의형상과핀수입니다. ( 상세는 N-018페이지 ) Connector type of standard stage. See page N 스테이지의결선형식입니다. N-034페이지 Wiring type is connection of stage. N-034 page 23스테이지에사용하는센서의형식입니다. Sensor model for the stage. 24표준제품의가격을말합니다. Catalog price in Japanese currency. 25오버홀의비용을말합니다. 15페이지 Overhaul price in Japanese currency. 16 page 26클린그리스의교환비용을말합니다. C-005페이지 Clean Room Lubricant change Price in Japanese currency. See page C 진공그리스의교환비용을말합니다. C-005페이지 Vacuum Lubricant change Price in Japanese currency. See page C 표준모터와취부사이즈가같은모터로교환시의비용을말합니다. C-004페이지 Change price of same size motor's mounting as standard motor's in Japanese currency. See page C 표준모터와취부사이즈가다른모터로교환시의비용을말합니다. C-004페이지 Change price of different size motor's mounting as standard motor's in Japanese currency. See page C-004 H-002 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

3 시스템제밀스테이지Manual Stage 자안내방식 Guide Mechanism Type 크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide 크로스롤러가이드란, 90 의 V 홈을가지는롤러레이스와원통굴림대로구성된안내방식입니다 ( 그림 -1 참조 ). 롤러레이스의슬라이딩면은담금질연마마무리로평면정도가높고경질로마감되어있습니다. 원통굴림대는 2 개의롤러레이스사이에서로다르게배치되어있습니다. 스테이지가구동할때에는롤러레이스사이의여러개의원통굴림대가움직이기때문에, 정지시에서움직일때의마찰변화 ( 정지마찰과동마찰의차 ) 가적고, 동작시미끄러짐이발생하기어렵습니다. 또한, 크로스롤러가이드는선접촉으로 그림 -1 Fig.1 하중을지탱하기때문에볼가이드구조보다강성이좋습니다. 이크로스롤러가이드는독자적으로설계되어강한강성과높은정도를확보하였습니다. 또한롤러레이스와원통굴림대간의여압을정밀하게관리하여높은강성을유지합니다. In cross-roller guides, quench hardened and precision ground bearing surfaces move upon loose hardened steel cylinders (rollers) with rotation axes oriented in alternating 90 degree angles (Ref. Fig.1). Having rollers arranged in an alternating cross pattern allows preloading and operation at any angle. The roller bearings are held apart from one another by a bearing cage, which prevents adjacent rollers from touching. Since cross roller bearings have little difference between static and dynamic friction they minimize start-to-stop slip-motion typical of other bearing types. The line contact of roller bearings along with precise roller-to-race gap management provide larger load-bearing surfaces, higher preloads and meet very tight runout and stiffness specifications. 리니어가이드 Linear Guide 리니어가이드란, 레일과순환하는볼로구성된안내방식입니다 ( 그림 -2 참조 ). 볼은레일의홈에서구르고 LM 블록끝에설치된엔드캡에서회수되고, LM 블록본체에있는순환구멍을통해다른편끝으로돌아갑니다. 레일은슬라이딩면의담금질마감으로인해평면정도가높고경질로마감되어있습니다. 볼은슬라이딩면이만드는원통홈사이에배치되어있습니다. 원통면과볼은서로 4 점에서접촉하기때문에동작시미끄러짐이발생하기어렵습니다. The linear guide system consists of a LM rail and steel ball (see Fig. 2). The ball rolls in the groove of the rail, is picked up by an end cap at the LM block, passes LM 블록 LM Block through the circulating hole in the LM block main body, and returns to the other end. Since the sliding surface is fabricated by quenching and abrasive finishing, the rail surface is precise, flat and hard. The ball is set in the pseudocylinder shaped groove formed by the sliding surface. Since the pseudo-cylinder surface and the bearing are in contact with each other at two points or four points, slipping does not easily occur. LM 레일 LM rail 스틸볼 Steel Ball 그림 -2 Fig.2 품 Products 수동정동정 밀스테이지Motorized Stage 산 얼라인먼트스테이지X 진 Electronics 공스테이지Vacuum Stage 검사시스템Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-003

4 산테이지Motorized Stage 자동 X X 스테이지가이던스 Understanding Motorized X, X Linear Stage 보내기방식 Lead Mechanism 시스템제 품 Products 수 연삭나사 Ground Screw 연삭나사는높은정도로연삭가공된수나사와암나사로구성되어있습니다.( 그림 -3 참조 ) 수나사와암나사는서로넓은면적에걸쳐접촉하기때문에스테이지가횡방향의하중을받더라도움직이는경우는없습니다. 또한, 볼스크류와비교하여회전당보내는량이작아분해능을높일수있습니다. 암나사 Female Screw 수나사 Male Screw 그림 -3 Fig.3 The ground screw is ground at high precision and is held in place by a female screw (see Fig. 3). Since the ground screw and female screw are in contact with each other over a wide area, they do not move even if a horizontal load is applied to the stage. Also compared with the ball screw, the feed distance per rotation can be reduced to improve the resolution. 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스 볼스크류 Ball Screw 볼스크류는나사축과너트사이에볼을삽입한구조입니다 ( 그림-4참조 ). 나사를회전시키면볼이나사축과너트사이를구르면서이동하고다시제자리로돌아오도록설계되어있습니다. 볼이구르는성질을이용하기때문에마찰이적고, 높은전달효율로인해정마찰과동마찰의차가적어 Stick-slip이발생하기어렵습니다. 볼스크류 ( 내부변류 ) 방식 Ball screw (Internal-deflector type) system 내부변류기 Internal-deflector 스틸볼 Steel Ball 나사축 Screw 너트 Nut 볼스크류 ( 리턴플레이트 ) 방식 Ball screw (Return-plate type) system 리턴플레이트 Return-plate 스틸볼 Steel Ball 너트 Nut 그림 -4 Fig.4 나사축 Screw 얼라인먼트스테이지X 진The ball screw consists of a screw spindle, a nut, and steel ball between them (Fig. 4). When the screw is rotated, the ball rolls and moves between the ball screw and the nut, and then returns to its original position. Since a ball is rolled, the friction is low, a high transmission efficiency is obtained, the difference between static friction and dynamic friction is small, and stick-slip does not easily occur. 분해능스테이지의분해능은아래계산으로구할수있습니다. p Δθ ΔX: 분해능 (mm) ΔX = ( 3m ) Δθ: 모터의기본스텝각 ( ) p : 보내는나사의리드 (mm) m: 마이크로스텝의분할수 Electronics 공스테이지Vacuum Stage 검사시스템Inspection H-004 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

5 시스템제밀스테이지Manual Stage 자최고속도 Maximum Speed 최고속도는고속영역에서의모터와드라이버의토크특성에의존하지만폐사에서는드라이버를하프스텝으로설정하고 10kpps 로움직였을때의속도라정의합니다. Maximum speed depends on motor torque characteristics in higher speed range. However, we calculate maximum speed at 10kpps with motor in half-step mode. 표준모델, 미러모델, 조합 Standard & Mirror Symmetry Configurations 고객님의요청에따라커넥터와센서를좌우반전하여취부하는미러모델에대응합니다. X 방향의조합스테이지로표준모델과미러모델의조합도가능합니다. Upon request, we can supply reverse arrangement specifications in which the connector and the sensor are mounted in reverse horizontally. We can also provide a combination stage of a standard and reverse arrangement in the X-direction. 표준모델 Standard 미러모델 Mirror Symmetry 품 Products 수동정동정 밀스테이지Motorized Stage 산 얼라인먼트스테이지X 진Electronics 공스테이지Vacuum Stage 검사시스템Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-005

6 산테이지Motorized Stage 실험자동 X X 스테이지가이던스 Understanding Motorized X, X Linear Stage X 조합일람 X Stage Assembly Configurations 시용Experimental 형식명뒤에 -*** 가추가됩니다. Assembly model has -*** at the end of model number. -NNN 생략가능 (skippable) -NNR -NRN 하축표준형 standard lower 상축표준형표준조합 standard upper standard assemble 하축표준형 standard lower 상축표준형미러조합 standard upper reversed assemble 하축표준형 standard lower 상축미러형 mirror upper 표준조합 standard assemble 스 위벨(고니오)Swivel (Tilt) 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스스템제품 Products 수하축표준형 standard lower -NRR 상축미러형 mirror upper 미러조합 reversed assemble 하축미러형 mirror lower -RNN 상축표준형 standard upper 표준조합 standard assemble 하축미러형 mirror lower -RNR 상축표준형 standard upper 미러조합 reversed assemble 스위벨(-RRN -RRR 하축미러형 mirror lower 상축미러형 mirror upper 표준조합 standard assemble 하축미러형 mirror lower 상축미러형 mirror upper 미러조합 reversed assemble 고니오)Swivel (Tilt) 얼라인먼트스테이지X 진Electronics 공스테이지Vacuum Stage 검사시스템Inspection 카운터보어샤프트길이 About the shaft length of counterbore 카달로그도면에서는스테이지취부시에이용하는 3 3 카운터보어샤프트길이를, Shaft Length ** mm 라고 표기합니다.( 오른쪽의좌측그림 ) 커운터보어없이직접나사를취부하는경우에는이러한 4-for M3 screws 4-for M3 screws 표기없이베이스두께가목아래치수가됩니다. Shaft Lentgh 3mm ( 오른쪽의우측그림 ) The length of counterbore s shaft for mounting is described Shaft Length ** mm (Top figure, left) in catalog drawing. If counterbore does not exist on mounting part, depth size of base will be shaft length size (Top figure, right). H-006 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

7 스테이지결선표 Stage wiring list 자동 X 스테이지 Motorized X Linear stage 형식 Model Number 결선타입 Wiring Type 센서기판형식 Sensor Type 모터 / 정격전류 Motor / Phase Current 기본스텝각 Basic Step Angle 커넥터타입 Connector Type XA04A-R101 V2 F-106 PK513PB/0.35A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round XA04A-R101-R V2 F-106R PK513PB/0.35A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round XA04A-R2 V2 F-106 TS3664N16E2/0.75A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round XA04A-R2-R V2 F-106R TS3664N16E2/0.75A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round XA05A-R101 V3 F-116 PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA05A-R101-R V3 F-116R PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA05A-R201 V3 F-116 PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA05A-R201-R V3 F-116R PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA07A-R102 V3 F-116 PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA07A-R102-R V3 F-116R PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA07A-R201 V3 F-116 PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA07A-R201-R V3 F-116R PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA07A-R2H V2 F-106 TS3664N29E4/0.75A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round XA07A-R2H-R V2 F-106R TS3664N29E4/0.75A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round XA07F-R102 V3 F-116 PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA07F-R102-R V3 F-116R PK544PMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA07F-R201 V3 F-116 PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA07F-R201-R V3 F-116R PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA10A-R101 V3 F-101 PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA10A-R101-R V3 F-101 PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA10A-R201 V3 F-101 PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA10A-R201-R V3 F-101 PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA10A-R2H V2 F-106 TS3664N29E4/0.75A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round XA10A-R2H-R V2 F-106R TS3664N29E4/0.75A 0.72 환형 20핀, 20 Pin Round XA10F-R101 V3 F-101 PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA10F-R101-R V3 F-101 PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA10F-R201 V3 F-101 PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA10F-R201-R V3 F-101 PK544PMB/0.75A 0.36 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA16A-R1 X1 F-101/F-107 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA16A-R1-R X1 F-101/F-107 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA16A-R201 X1 F-101/F-107 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA16A-R201-R X1 F-101/F-107 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA05A-L201 V3 F-107, F-108 PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA05A-L201-R V3 F-107, F-108 PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA07A-L201 V3 F-107, F-108 PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA07A-L201-R V3 F-107, F-108 PK523HPMB/0.75A 0.36 환형 20핀, 20 Pin Round XA10A-L1 X1 F-104/F-105 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA10A-L1-R X1 F-104/F-105 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA10A-L2 X1 F-104/F-105 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA10A-L2-R X1 F-104/F-105 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA16F-L21 X1 F-104/F-105/F-107 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA16F-L21-R X1 F-104/F-105/F-107 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA16F-L22 X1 F-104/F-105/F-107 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA16F-L22-R X1 F-104/F-105/F-107 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA16F-L23 X1 F-104/F-105/F-107 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular XA16F-L23-R X1 F-104/F-105/F-107 PK566-B/0.75A 0.72 각형 20핀, 20 Pin Rectangular 미러모델형식 에따른센서기판형식이다른기종은빨간글씨로표기하였습니다. Red colored character means different Sensor Type caused by mirror model. 모터샤프트의출력측축의끝을절단하였습니다. Cut off the edge of motor shaft's output side. 시스템제품 Products 수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 얼라인먼트스테이지X 검사시스템Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-007

8 산테이지Motorized Stage 검자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized X, X Linear Stages / Table Size A04A-R101-NNR A04A-R2 시 XA04A-R101 XA04A-R2 스XA04A-R (38) (97) M2 Depth 4mm 4-M3 Depth 5mm 4-Φ2 Depth 4mm A04A-R101-NNR 34 (38) 19 (14.5) 위벨(고니오)Swivel (Tilt) 120 CCW Home Position CW Limit Sensor CW 13 5 (14.5) CCW Limit Sensor (3.5) (38) (97) 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스스템제품 Products 수 for M3 screws Shaft length 3.2mm 뒷면 3 Depth 4mm 17 얼라인먼트스테이지X 진XA04A-R Back Side Φ3 Depth 4mm (.5 ) (100) A04A-R for M3 screws Shaft length 3.2mm Electronics 공스테이지Vacuum Stage 사시스템Inspection 5-M3 Depth 4mm 4-M2 Depth 4mm Home Position CW Limit Sensor 4-for M3 screws Shaft length 3.5mm CCW CW (1.5 ) (19.5 ) CCW Limit Sensor ( ) 4-for M3 screws Shaft lrngth 3.5mm 15 () (19.5 ) (1.5) (119.5 ) H-008 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

9 알루미늄 / 크로스롤러가이드 / 연삭나사, 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide/ Ground Screw, Ball Screw 형식 Model Number XA04A-R101 A04A-R101-NNR XA04A-R2 A04A-R2 미러모델형식 XA04A-R101-R A04A-R101-RRN XA04A-R2-R A04A-R2-RRR Mirror Model Number 분해능 Resolution 2 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 누적리드오차 Accumulated Lead Error 진직도 Straightness 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 백래쉬 Backlash 수평 Horizontal 수직 Vertical 연삭나사, 리드 0.5mm Ground Screw, Lead 0.5mm 1μm/0.5μm 0.05μm 5mm/sec 5μm/10mm ±0.3μm 2μm 2μm/10mm 2μm/10mm 2μm mm mm 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±5mm 볼스크류, 리드 1.0mm Ball Screw, Lead 1.0mm 2μm/1μm 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL 0.1μm 10mm/sec 5μm/10mm ±0.2μm 1μm 1μm/10mm 1μm/10mm 0.5μm 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.78 arcsec/n cm 1.56 arcsec/n cm 0.51 arcsec/n cm 1.02 arcsec/n cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 직교도 Perpendicularity 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 *4 Stage Wiring Type 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 39.2N(4kgf) 39.2N(4kgf) 34.3N(3.5kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing 0.19kg 0.38kg 0.28kg 0.56kg - 8μm/10mm - 5μm/10mm PK513PB( 오리엔탈모터, 정격전류 0.35A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선 5 줄 ) PK513PB (Oriental Motor: Phase Current 0.35A, Basic Step Angle 0.72, 5-Leads) 환형 20 핀 ( 히로세 : RP13A-12JG-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC) V2 F-106(HOME,LIMIT), 미러모델 : F-106R(HOME,LIMIT) F-106(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-106R(HOME,LIMIT) TS3664N16E2( 타마가와정기, 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선 5 줄 ) TS3664N16E2 (Tamagawa Seiki: Phase Current 0.75A, Basic Step 0.72, 5-Leads) 환형 20 핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) 115,000 2, , ,000 42,000 ~ 84,000 ~ 42,000 ~ 84,000 ~ 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price,000,000,000,000 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price,000,000,000,000 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. 2 Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035페이지를참조해주세요. 4 Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를 참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. XA04A-R101, A04A-R101, XA04A-R2, A04A-R2는모터교환이불가합니다. XA04A-R101, A04A-R101, XA04A-R2, A04A-R2 are impossible to change the motor. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 시스템제품 Products 수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics H-009 얼라인먼트스테이지X 시스템제품Inspection

10 산테이지Motorized Stage 검자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized X, X Linear Stages / Table Size XA05A-R101 XA05A-R201 A05A-R101 A05A-R201 스XA05A-R101/R201 위벨(고니오)Swivel (Tilt) (147.5) (97.5) 50 (28) (15) (21) 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스4-M3 Depth 8mm 4-M3 Depth 5mm CCW CW 4-M2 Depth 5mm M4 Depth 5mm φ4 Depth 4mm 4.5 Depth 4mm 스위벨(Home Position CW Limit Sensor CCW Limit Sensor 4-for M3 screws Shaft length 3mm (4) 20 (4) A05A-R101/R201 고니오)Swivel (Tilt) 얼라인먼트스테이지X 진(97.5) (168.5) Electronics 공스테이지Vacuum Stage 15 φ4 Depth 4mm Depth 4mm (97.5) 50 (147.5) 50 (21) 사시스템Inspection 4-for M3 screws Shaft length 3mm (4) (4) (48) H-010 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

11 알루미늄 / 크로스롤러가이드 / 연삭나사, 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ground Screw, Ball Screw 형식 Model Number 미러모델형식 XA05A-R101-R A05A-R101-RRR XA05A-R201-R A05A-R201-RRR Mirror Model Number 분해능 Resolution 2 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 누적리드오차 Accumulated Lead Error 진직도 Straightness 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 백래쉬 Backlash 수평 Horizontal 수직 Vertical 연삭나사, 리드 0.5mm Ground Screw, Lead 0.5mm 0.5μm/0.25μm 0.025μm 2.5mm/sec 6μm/15mm ±0.3μm 1μm 1μm 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±7.5mm 1μm/15mm 1μm/15mm 볼스크류, 리드 1.0mm Ball Screw, Lead 1.0mm 1μm/0.5μm 0.05μm 5mm/sec 5μm/15mm ±0.2μm 0.5μm 0.2μm 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.31 arcsec/n cm 0.61 arcsec/n cm 0.31 arcsec/n cm 0.61 arcsec/n cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 직교도 Perpendicularity 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 4 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 49N(5kgf) 39.2N(4kgf) 49N(5kgf) 39.2N(4kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing 0.45kg 0.9kg 0.45kg 0.9kg - 5μm/15mm - 5μm/15mm PK523HPMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선 5 줄 ) PK523HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 환형 20 핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) V3 F-116(HOME,LIMIT), 미러모델 : F-116R(HOME,LIMIT) F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT) 120,000 2, ,000 2,000 42,000 ~ 84,000 ~ 42,000 ~ 84,000 ~ 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price,000,000,000,000 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price,000,000,000,000 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price 12,000 ~ 24,000 ~ 12,000 ~ 24,000 ~ 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price,000 ~,000 ~,000 ~,000~ 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. 2 Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035페이지를참조해주세요. 4 Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를 참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 시품 NEW NEW NEW NEW Products수동정XA05A-R101 A05A-R101 XA05A-R201 A05A-R201 50mm 50mm 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 스템제밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 얼라인먼트스테이지X 시스템제 품Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-011

12 산테이지Motorized Stage 자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized X, X Linear Stages / Table Size 회XA07A-R102 A07A-R102 XA07A-R102 전Rotation (42) (185.5 ) (115.5 ) 70 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스4-M4 Depth 5mm 4-M3 Depth 5mm CCW Home Position CW Limit Sensor CW 70 (91) (6) (15) φ4 Depth 4mm 4-M3 Depth 5mm M4 Depth 4mm CCW Limit Sensor Depth 4mm (10) A07A-R102 (11) 4-for M4 screws Shaft length 2.5mm 21 Electronics 얼라인먼트스테이지X 검사시스템Inspection 20 φ 4 Depth 4mm Depth 4mm (115.5 ) (185.5 ) 4-for M4 screws Shaft length 2.5mm 70 (11) (10) (63) (21) 70 (115.5 ) (206.5 ) H-012 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

13 알루미늄 / 크로스롤러가이드 / 연삭나사 Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ground Screw 형식 Model Number 미러모델형식 XA07A-R102-R A07A-R102-RRR Mirror Model Number 분해능 Resolution 2 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 누적리드오차 Accumulated Lead Error 진직도 Straightness 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 백래쉬 Backlash 수평 Horizontal 수직 Vertical 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±10mm 연삭나사, 리드 0.5mm Ground Screw, Lead 0.5mm 0.5μm/0.25μm 0.025μm 2.5mm/sec 10μm/20mm ±0.3μm 1μm 0.5μm/20mm 1μm/20mm 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.10 arcsec/n cm 0.31 arcsec/n cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 직교도 Perpendicularity 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 4 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 98N(10kgf) 0.85kg - 1μm 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing 88.2N(9kgf) 1.7kg 5μm/20mm PK544PMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선 5 줄 ) PK544PMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 환형 20 핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) V3 F-116(HOME,LIMIT), 미러모델 : F-116R(HOME,LIMIT) F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT) 1,000 2,000 42,000 ~ 84,000 ~ 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price,000,000 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price,000,000 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price 12,000 ~ 24,000 ~ 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price,000 ~,000 ~ 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. 2 Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035페이지를참조해주세요. 4 Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를 참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 시품 NEW NEW Products수동정XA07A-R102 A07A-R102 70mm 70mm 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 스템제밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 얼라인먼트스테이지X 시스템제 품Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-013

14 산테이지Motorized Stage 검 시자동 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized X, X Linear Stages / Table Size XA07A-R201 A07A-R201 스XA07A-R201 위벨(고니오)Swivel (Tilt) 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스스템제품 Products 수28 (169.5) (99.5) 4-M4 Depth 5mm 4-M3 Depth 5mm 70 CCW CW Home Position CW Limit Sensor (3) 70 (85) (15) 4-M3 Depth 5mm M4 Depth 4mm CCW Limit Sensor 4-for M4 screws Shaft length 2.5mm (99.5) (184.5) (99.5) (169.5) 70 (3) (15) φ4 Depth 4mm Depth 4mm 스위벨((4) A07A-R201 고니오)Swivel (Tilt) 얼라인먼트스테이지X 진Electronics 공스테이지Vacuum Stage 20 φ4 Depth 4mm Depth 4mm 사시스템Inspection 4-for M4 screws Shaft length 2.5mm (4) (49) H-014 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

15 알루미늄 / 크로스롤러가이드 / 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ball Screw 시품 NEW NEW Products수동정型式형식 Model Number New XA07A-R201 New A07A-R201 미러勝手違い型式모델형식 Mirror Model Number XA07A-R201-R A07A-R201-RRR 테이블テーブル面사이즈 Table Size 70mm 70mm 案内方式안내방식 Guide Mechanism 精密クロスローラガイド정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide 分解能분해능 Resolution 2 移動範囲이동범위 Motion Range 보내기送り方式방식 Lead Mechanism フル풀 / ハーフ / 하프ステップ스텝 Full/Half Step マイクロステップ마이크로스텝 (1/20 분할分割 ) Micro Step (1/20 div) 最高速度최고속도 Maximum Speed 累積リード誤差누적리드오차 Accumulated Lead Error 真直度진직도 Straightness 繰返し位置決め精度반복위치결정정도 Repeatability ロストモーション로스트모션 Lost Motion バックラッシュ백래쉬 Backlash 水平수평 Horizontal 垂直수직 Vertical 1μm ±10mm ボールネジ볼스크류, 리드リード 1.0mm Ball Screw, Lead 1.0mm 1μm/0.5μm 0.05μm 5mm/sec 5μm/20mm ±0.2μm 0.5μm 0.5μm/20mm 1μm/20mm 0.2μm モーメント荷重모멘트하중 0.10 arcsec/n cm 0.31 arcsec/n cm Moment Load Stiffness 水平耐荷重수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 材質재질 Material 外観마감 Finish 自重무게 Weight 直交度직교도 Perpendicularity 5 相ステッピングモーター 5상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor コネクタ커넥터 Connector ステージ結線タイプ스테이지결선타입 Stage Wiring Type 4 センサ基板型式센서기판형식 Sensor Model 価格가격 Price(JP) オーバーホール費오버홀비용 Overhaul Price 98N(10kgf) 0.6kg - 0.2μm 알루미늄アルミ合金합금 Aluminum Alloy 白色仕上げ백색마감 Clear-Matt Anodizing 88.2N(9kgf) 1.2kg 5μm/20mm PK523HPMB( PK523HPMB( オリエンタルモーター오리엔탈모터 : 定格電流정격전류 0.75A/ 상相,, 기본基本ステップ角스텝각 0.36, 0.36, 리드선リード線 5줄 ) 5 本 ) PK523HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 丸形환형 ピン핀 (( 히로세ヒロセ :: RP13A-12RA-20PC) RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) V3 F-116(HOME,LIMIT), 미러勝手違い모델 : F-116R(HOME,LIMIT) F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT) 1,000 2,000 42,000 ~ 84,000 ~ クリーングリス交換費클린그리스교환비용,000,000 Clean Room Lubricant Change Price 진공真空グリス交換費그리스교환비용,000,000 Vacuum Lubricant Change Price 同形モーター交換費동형모터교환비용 12,000 ~ 24,000 ~ Same Size Motor Change Price 異形モーター交換費이형모터교환비용,000 ~,000 ~ Different Size Motor Change Price 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. 2 Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035페이지를참조해주세요. 4 Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를 참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 스템제밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 얼라인먼트스테이지X 시스템제 품Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-015

16 산테이지Motorized Stage 자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized X, X Linear Stage / Table size 회XA07A-R2H A07A-R2H XA07A-R2H (1.5 ) 전Rotation (70.5 ) 70 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스18 70 (31.5 ) 4-M4 Depth 5mm 38 8-M3 Depth 5mm CCW CW Electronics 얼라인먼트스테이지X A07A-R2H CW Limit Sensor 4-for M4 screws Shaft length 6mm Home Position 18 CCW Limit Sensor (70.5 ) 31.5 (172 ) 검(70.5 ) 70 사시스템Inspection 4-for M4 screws Shaft length 6mm H-016 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

17 알루미늄 / 크로스롤러가이드 / 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ball Screw 형식 Model Number XA07A-R2H A07A-R2H 미러모델형식 XA07A-R2H-R A07A-R2H-RRR Mirror Model Number 분해능 Resolution 2 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 누적리드오차 Accumulated Lead Error 진직도 Straightness 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 백래쉬 Backlash 수평 Horizontal 수직 Vertical 70mm 70mm 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±10mm 볼스크류, 리드 1.0mm Ball Screw, Lead 1.0mm 2μm/1μm 0.1μm 10mm/sec 5μm/20mm ±0.2μm 0.5μm 0.5μm/20mm 1μm/20mm 0.5μm 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.05 arcsec/n cm 0.15 arcsec/n cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 직교도 Perpendicularity 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 4 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 98N(10kgf) 0.65kg - 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing 88.2N(9kgf) 1.3kg 5μm/20mm TS3664N29E4( 타마가와세이키 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선 5 줄 ) TS3664N29E4 (Tamagawa Seiki: Phase Current 0.75A, Basic Step 0.72, 5-Leads) 환형 20 핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) V2 F-106(HOME,LIMIT), 미러모델 : F-106R(HOME,LIMIT) F-106(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-106R(HOME,LIMIT) 1, ,000 42,000 ~ 84,000 ~ 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price,000,000 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price,000,000 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price - - 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price - - 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. 2 Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035페이지를참조해주세요. 4 Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를 참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. XA07A-R2H, A07A-R2H는모터교환이불가합니다. XA07A-R2H, A07A-R2H are impossible to change the motor. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 시스템제품 Products 수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 얼라인먼트스테이지X 시스템제 품Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-017

18 산테이지Motorized Stage 자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized X, X Linear Stages / Table Size 회XA07F-R102 A07F-R102 XA07F-R102 전Rotation (42) (185.5) (115.5) 70 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스4-M4 Depth 5mm 4-M3 Depth 5mm CCW Home Position CW Limit Sensor 70 (91) (6) (15) 20 φ4 Depth 4mm 4-M3 Depth 5mm M4 Depth 4mm CW CCW Limit Sensor Depth 4mm (10) 얼라인먼트스테이지X 진A07F-R102 (11) 4-for M4 screws Shaft length 2.5mm 21 (115.5) (206.5) Electronics 공스테이지Vacuum Stage 검사시스템Inspection 20 φ4 Depth 4mm Depth 4mm (115.5) (185.5) 4-for M4 screws Shaft length 2.5mm 70 (11) (10) (63) (21) 70 H-018 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

19 철 / 크로스롤러가이드 / 연삭나사 Steel Body / Cross-Roller Guide / Ground Screw 형식 Model Number XA07F-R102 A07F-R102 미러모델형식 Mirror Model Number XA07F-R102-R A07F-R102-RRR 테이블사이즈 Table Size 70mm 70mm 분해능 Resolution 2 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20분할) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 누적리드오차 Accumulated Lead Error 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 진직도 Straightness 수평 Horizontal 수직 Vertical 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±10mm 연삭나사, 리드 0.5mm Ground Screw, Lead 0.5mm 0.5μm/0.25μm 0.025μm 2.5mm/sec 10μm/20mm ±0.3μm 1μm 0.5μm/20mm 1μm/20mm 백래쉬 Backlash 1μm 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.05 arcsec/n cm 0.15 arcsec/n cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 98N(10kgf) 88.2N(9kgf) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 직교도 Perpendicularity 5상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 4 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 1.3kg - 철 Steel 니켈도금마감 Nickel Plating 2.6kg 5μm/20mm PK544PMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선5줄 ) PK544PMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 환형 20핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) V3 F-116(HOME,LIMIT), 미러모델 : F-116R(HOME,LIMIT) F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT) 150,000 0,000 42,000 ~ 84,000 ~ 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price,000,000 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price,000,000 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price 12,000 ~ 24,000 ~ 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price,000 ~,000 ~ 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. 2 Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035페이지를참조해주세요. 4 Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를 참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. NEW NEW 시 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 스템제품 Products 수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 얼라인먼트스테이지X 시스템제 품Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-019

20 산테이지Motorized Stage 검자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized X, X Linear Stages / Table Size XA07F-R201 A07F-R201 XA07F-R201 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스28 CW Limit Sensor (169.5) (99.5) 4-M4 Depth 5mm 4-M3 Depth 5mm CCW Home Position (3) 70 CW 70 (85) (15) 4-M3 Depth 5mm M4 Depth 4mm CCW Limit Sensor 4-for M4 screws Shaft length 2.5mm (99.5) (184.5) (99.5) (169.5) 70 (3) (15) φ4 Depth 4mm Depth 4mm 스위벨((4) A07F-R201 고니오)Swivel (Tilt) 얼라인먼트스테이지X 진Electronics 공스테이지Vacuum Stage 20 φ4 Depth 4mm Depth 4mm 사시스템Inspection 4-for M4 screws Shaft length 2.5mm (4) (49) H-020 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

21 철 / 크로스롤러가이드 / 볼스크류 Steel Body / Cross-Roller Guide / Ball Screw 형식 Model Number 미러모델형식 XA07F-R201-R A07F-R201-RRR Mirror Model Number 분해능 Resolution 2 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 누적리드오차 Accumulated Lead Error 진직도 Straightness 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 백래쉬 Backlash 수평 Horizontal 수직 Vertical 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±10mm 볼스크류, 리드 1.0mm Ball Screw, Lead 1.0mm 1μm/0.5μm 0.05μm 5mm/sec 5μm/20mm ±0.2μm 0.5μm 0.5μm/20mm 1μm/20mm 0.2μm 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.05 arcsec/n cm 0.15 arcsec/n cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 직교도 Perpendicularity 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 4 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 98N(10kgf) 1.05kg - 철 Steel 니켈도금마감 Nickel Plating 88.2N(9kgf) 2.1kg 5μm/20mm PK523HPMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선 5 줄 ) PK523HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 환형 20 핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) V3 F-116(HOME,LIMIT), 미러모델 : F-116R(HOME,LIMIT) F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT) 150,000 0,000 42,000 ~ 84,000 ~ 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price,000,000 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price,000,000 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price 12,000 ~ 24,000 ~ 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price,000 ~,000 ~ 2 4 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035페이지를참조해주세요. Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002 페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018 페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 시품 NEW XA07F-R201 NEW A07F-R201 Products 70mm 70mm 수동정 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 스템제밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 얼라인먼트스테이지X 시스템제 품Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-021

22 산테이지Motorized Stage 검자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized X, X Linear Stages / Table Size XA10A-R101 XA10A-R201 A10A-R101 A10A-R201 XA10A-R101 / R201 (2) (1) (42) 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스 90 A10A-R101 / R (1) (247.2) φ5 Depth 5mm 5.5 Depth 5mm (1) 100 (2) 90 4-for M4 screws Shaft length 7mm 5 (6) (6) (17.2) (72) 100 (17.2) (117.2) 5 4-M4 Depth 8mm 4-M4 Depth 8mm CCW CW 4-M3 Depth 8mm M4 Depth 8mm φ5 Depth 5mm Depth 5mm Home Position CW Limit Sensor CCW Limit Sensor (6) 5.5 스위벨((6) 90 4-for M4 screws Shaft length 7mm 고니오)Swivel (Tilt) 얼라인먼트스테이지X 진Electronics 공스테이지Vacuum Stage 사시스템Inspection H-022 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

23 알루미늄 / 크로스롤러가이드 / 연삭나사, 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ground Screw, Ball Screw 형식 Model Number 미러모델형식 XA10A-R101-R A10A-R101-RRR XA10A-R201-R A10A-R201-RRR Mirror Model Number 분해능 Resolution 2 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 누적리드오차 Accumulated Lead Error 진직도 Straightness 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 백래쉬 Backlash 수평 Horizontal 수직 Vertical 연삭나사, 리드 0.5mm Ground Screw, Lead 0.5mm 0.5μm/0.25μm 0.025μm 2.5mm/sec 8μm/25mm ±0.3μm 1μm 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±12.5mm 0.5μm/25mm 1μm/25mm 0.5μm 볼스크류, 리드 1.0mm Ball Screw, Lead 1.0mm 1μm/0.5μm 0.05μm 5mm/sec 5μm/25mm ±0.2μm 0.5μm 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.02 arcsec/n cm 0.06 arcsec/n cm 0.02 arcsec/n cm 0.06 arcsec/n cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 직교도 Perpendicularity 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 4 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 196N(20kgf) 176.4N(18kgf) 196N(20kgf) 176.4N(18kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing 1.55kg 3.1kg 1.55kg 3.1kg - 5μm/25mm - 5μm/25mm PK544PMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선 5 줄 ) PK544PMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 각형 20 핀 ( 히로세 : PC-1620, P-1620A-STA) 20Pin Rectangular (Hirose: PC-1620, P-1620A-STA) V3 F-101(HOME,LIMIT) 170,000 3, ,000 3,000 48,000 ~ 96,000 ~ 48,000 ~ 96,000 ~ 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price 36,000 72,000 36,000 72,000 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price 36,000 72,000 36,000 72,000 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price 12,000 ~ 24,000 ~ 12,000 ~ 24,000 ~ 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price,000 ~,000 ~,000 ~,000 ~ 2 4 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035페이지를참조해주세요. Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002 페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018 페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 시품 NEW NEW NEW NEW Products수동정XA10A-R101 A10A-R101 XA10A-R201 A10A-R mm 100mm 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 스템제밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 얼라인먼트스테이지X 시스템제 품Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-023

24 산테이지Motorized Stage 검자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized X, X Linear Stages / Table Size 회XA10A-R2H A10A-R2H XA10A-R2H (170.5) 전Rotation 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스(70.5) (31.5) CW Limit Sensor Home Position CCW Limit Sensor 28 8-M4 Depth 7mm 4-M3 Depth 6mm CCW CW 스위벨(4-for M4 screws Shaft length 6.5mm 90 고니오)Swivel (Tilt) 얼라인먼트스테이지X 진A10A-R2H 35 (70.5) Electronics 공스테이지Vacuum Stage 100 (31.5) (202) (70.5) 100 사시스템Inspection 4-for M4 screws Shaft length 6.5mm H-024 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

25 알루미늄 / 크로스롤러가이드 / 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ball Screw 시품 Products수동정동정이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price - - 형식 Model Number XA10A-R2H A10A-R2H 미러모델형식 Mirror Model Number XA10A-R2H-R A10A-R2H-RRR 테이블사이즈 Table Size 100mm 100mm 안내방식 Guide Mechanism 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide 이동범위 Motion Range ±12.5mm 보내기방식 Lead Mechanism 볼스크류, 리드 1.0mm Ball Screw, Lead 1.0mm 풀 / 하프스텝 2μm/1μm 분해능 Resolution 2 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20분할) 0.1μm Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 10mm/sec 누적리드오차 Accumulated Lead Error 5μm/25mm 반복위치결정정도 Repeatability ±0.3μm 로스트모션 Lost Motion 1μm 수평진직도 Horizontal 0.5μm/25mm Straightness 수직 Vertical 1μm/25mm 백래쉬 Backlash 0.5μm 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.02 arcsec/n cm 0.06 arcsec/n cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 196N(20kgf) 176.4N(18kgf) 재질 Material 알루미늄합금 Aluminum Alloy 마감 Finish 백색마감 Clear-Matt Anodizing 무게 Weight 1kg 2kg 직교도 Perpendicularity - 5μm/25mm 5상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor TS3664N29E4( 타마가와세이키 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선5줄 ) TS3664N29E4 (Tamagawa Seiki: Phase Current 0.75A, Basic Step 0.72, 5-Leads) 커넥터 Connector 환형 20핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 4 V2 센서기판형식 Sensor Model F-106(HOME,LIMIT), 미러모델 : F-106R(HOME,LIMIT) F-106(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-106R(HOME,LIMIT) 가격 Price(JP) 180,000 3,000 오버홀비용 Overhaul Price 48,000 ~ 96,000 ~ 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price 36,000 72,000 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price 36,000 72,000 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price - - 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. 2 Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035페이지를참조해주세요. 4 Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를 참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. XA10A-R2H, A10A-R2H는모터교환이불가합니다. XA10A-R2H,A10A-R2H are impossible to change the motor. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 밀스테이지Motorized Stage 산스템제밀스테이지Manual Stage 자Electronics 얼라인먼트스테이지X 시스템제 품Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-025

26 산테이지Motorized Stage 검자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized X, X Linear Stages / Table Size XA10F-R101 XA10F-R201 A10F-R101 A10F-R201 XA10F-R101 / R201 (2) (1) (42) 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스 (1) (247.2) φ5 Depth 5mm 5.5 Depth 5mm (1) 100 (2) 90 4-for M4 screws Shaft length 7mm 5 (6) (6) (17.2) (72) 100 (17.2) (117.2) 5 4-M4 Depth 8mm 4-M4 Depth 8mm CCW CW 4-M3 Depth 8mm M4 Depth 8mm φ5 Depth 5mm Depth 5mm Home Position CW Limit Sensor CCW Limit Sensor (6) 5.5 스위벨( (6) 90 4-for M4 screws Shaft length 7mm A10F-R101 / R201 고니오)Swivel (Tilt) 얼라인먼트스테이지X 진Electronics 공스테이지Vacuum Stage 사시스템Inspection H-026 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

27 철 / 크로스롤러가이드 / 연삭나사, 볼스크류 Steel Body / Cross-Roller Guide / Ground Screw, Ball Screw 형식 Model Number 미러모델형식 XA10F-R101-R A10F-R101-RRR XA10F-R201-R A10F-R201-RRR Mirror Model Number 분해능 Resolution 2 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 누적리드오차 Accumulated Lead Error 진직도 Straightness 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 백래쉬 Backlash 수평 Horizontal 수직 Vertical 연삭나사, 리드 0.5mm Ground Screw, Lead 0.5mm 0.5μm/0.25μm 0.025μm 2.5mm/sec 8μm/25mm ±0.3μm 1μm 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±12.5mm 0.5μm/25mm 1μm/25mm 0.5μm 볼스크류, 리드 1.0mm Ball Screw, Lead 1.0mm 1μm/0.5μm 0.05μm 5mm/sec 5μm/25mm ±0.2μm 0.5μm 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.01 arcsec/n cm 0.03 arcsec/n cm 0.01 arcsec/n cm 0.03 arcsec/n cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 직교도 Perpendicularity 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 4 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 196N(20kgf) 166.6N(17kgf) 196N(20kgf) 166.6N(17kgf) 철 Steel 니켈도금마감 Nickel Plating 2.75kg 5.5kg 2.75kg 5.5kg - 5μm/25mm - 5μm/25mm PK544PMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선 5 줄 ) PK544PMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 각형 20 핀 ( 히로세 : PC-1620, P-1620A-STA) 20Pin Rectangular (Hirose: PC-1620, P-1620A-STA) V3 F-101(HOME,LIMIT) 190, , , ,000 48,000 ~ 96,000 ~ 48,000 ~ 96,000 ~ 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price 36,000 72,000 36,000 72,000 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price 36,000 72,000 36,000 72,000 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price 12,000 ~ 24,000 ~ 12,000 ~ 24,000 ~ 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price,000 ~,000 ~,000 ~,000 ~ 2 4 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035페이지를참조해주세요. Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002 페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018 페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 시품 NEW NEW NEW NEW Products수동정XA10F-R101 A10F-R101 XA10F-R201 A10F-R mm 100mm 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 스템제밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 얼라인먼트스테이지X 시스템제 품Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-027

28 산테이지Motorized Stage 자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized X, X Linear Stages / Table Size A16A-R1 A16A-R201 시 XA16A-R1 XA16A-R201 회XA16A-R1 A16A-R1 전Rotation 15 (320) (104) (104) (320) 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스스템제품 Products 수Index 4-M5 Depth 8mm 8-M3 Depth 8mm M5 Depth 8.5mm CCW CW 8-M4 Depth 8mm (17.2) (178) CW Limit Sensor Home Position CCW Limit Sensor for M5 screws Shaft length 7mm 35 4-for M5 screws Shaft length 7mm Electronics 얼라인먼트스테이지X XA16A-R (315) (104) Index 4-M5 Depth 8mm 8-M3 Depth 8mm M5 Depth 8.5mm (17.2) M4 Depth 8mm A16A-R201 (173) (104) 51 1 (315) CW Limit Sensor CCW CW Home Position (10) 검사시스템Inspection for M5 screws Shaft length 7mm CCW Limit Sensor for M5 screws Shaft length 7mm H-028 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

29 알루미늄 / 크로스롤러가이드 / 연사나사, 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ground Screw, Ball Screw 형식 Model Number XA16A-R1 A16A-R1 XA16A-R201 A16A-R201 미러모델형식 Mirror Model Number XA16A-R1-R A16A-R1-RRR XA16A-R201-R A16A-R201-RRR 분해능 Resolution 2 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20 분할 ) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 누적리드오차 Accumulated Lead Error 진직도 Straightness 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 백래쉬 Backlash 수평 Horizontal 수직 Vertical ±25mm 연삭나사, 리드 1.0mm Ground Screw, Lead 1.0mm 2μm/1μm 0.1μm 10mm/sec 10μm/50mm ±0.5μm 1μm/50mm 2μm/50mm 1μm 1mm 124mm 정밀크로스롤러가이드 Cross-Roller Guide ±mm 볼스크류, 리드 2.0mm Ball Screw, Lead 2.0mm 4μm/2μm 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL 2μm 0.2μm 20mm/sec 10μm/mm ±0.2μm 1μm/mm 2μm/mm 0.5μm 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.01 arcsec/n cm 0.03 arcsec/n cm 0.01 arcsec/n cm 0.03 arcsec/n cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 직교도 Perpendicularity 5 상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 4 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 294N(kgf) 254.8N(26kgf) 294N(kgf) 254.8N(26kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing 3.6kg 7.2kg 3.6kg 7.2kg - 5μm/50mm - 5μm/mm PK566-B( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선 10 줄 ) PK566-B (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72, 10-Leads) 각형 20 핀 ( 히로세 : PC-1620, P-1620A-STA) 20Pin Rectangular (Hirose: PC-1620, P-1620A-STA) X1 F101(HOME,LIMIT), F107(INDEX) 210, ,000 2, ,000,000 ~ 120,000 ~,000 ~ 120,000 ~ 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price 48,000 96,000 48,000 96,000 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price 48,000 96,000 48,000 96,000 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price 15,000 ~,000 ~ 15,000 ~,000 ~ 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price 36,000 ~ 72,000 ~ 36,000 ~ 72,000 ~ 2 4 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035페이지를참조해주세요. Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002 페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018 페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 시스템제품 Products 수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics H-029 얼라인먼트스테이지X 시스템제품Inspection

30 산테이지Motorized Stage 검자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 50 50,70 70 Motorized X Linear Stages / Table Size 50 50, XA05A-L201 회XA07A-L201 XA05A-L201 전Rotation (6) 28 (6) (121) (201.5) 50 (.5) (21) 50 (71) 15 4 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스CCW CW CCW Limit Sensor Home Position CW Limit Sensor 4-M3 Depth 6mm 4-M3 Depth 6mm M4 Depth 8mm φ4 Depth 4mm Depth 4mm 스위벨(4-for M3 screws Shaft length 6mm 35.5 고니오)Swivel (Tilt) 얼라인먼트스테이지X 진XA07A-L201 (6) (28) (6) (241.5) (131) 70 (.5) Electronics 공스테이지Vacuum Stage 4-M4 Depth 8mm 4-M3 Depth 6mm CCW 4-M3 Depth 6mm M4 Depth 8mm CW (19.5) 70 (89.5) 20 φ4 Depth 4mm Depth 4mm CCW Limit Sensor Home Position CW Limit Sensor 사시스템Inspection 4-for M4 screws Shaft length 4.5mm 45.5 H-0 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

31 알루미늄 / 리니어가이드 / 볼스크류 Aluminum Body / Linear Guide / Ball Screw 형식 Model Number XA05A-L201 XA07A-L201 미러모델형식 Mirror Model Number XA05A-L201-R XA07A-L201-R 테이블사이즈 Table Size 50mm 50mm 70mm 70mm 분해능 Resolution 2 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 Lead Mechanism 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 마이크로스텝 (1/20분할) Micro Step (1/20 div) 최고속도 Maximum Speed 누적리드오차 Accumulated Lead Error 반복위치결정정도 Repeatability 로스트모션 Lost Motion 진직도 Straightness 수평 Horizontal 수직 Vertical 백래쉬 Backlash 모멘트하중 Moment Load Stiffness 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 직교도 Perpendicularity 5상스텝핑모터 5 Phase Stepper Motor 커넥터 Connector 스테이지결선타입 Stage Wiring Type 4 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price ±25mm 15μm/50mm 3μm/50mm 3μm/50mm 49N(5kgf) 0.75kg 정밀리니어가이드 Linear Guide 볼스크류, 리드 1.0mm Ball Screw, Lead 1.0mm 1μm/0.5μm 0.05μm 5mm/sec ±0.5μm 1μm 1μm 0.26 arcsec/n cm 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing - ±35mm 15μm/70mm 3μm/70mm 3μm/70mm 68.6N(7kgf) 1.15kg PK523HPMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선5줄 ) PK523HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 환형 20핀 ( 히로세 : RP13A-12RA-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC) V3 F-107(LIMIT), F-108(HOME) 1, ,000 48,000 ~ 클린그리스교환비용 36,000 Clean Room Lubricant Change Price 진공그리스교환비용 36,000 Vacuum Lubricant Change Price 동형모터교환비용 12,000 ~ Same Size Motor Change Price 이형모터교환비용,000 ~ Different Size Motor Change Price 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for information on Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. 2 Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034,N-035페이지를참조해주세요. 4 Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. X의조합으로희망하시는경우, 영업부로문의주시기바랍니다. About the X assembly for these stages, contact us for further information. NEW NEW 시 클린그리스사양의형식끝에는 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스의형식끝에는 -V 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 스템제품 Products 수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산Electronics 얼라인먼트스테이지X 시스템제 품Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-031

32 산테이지Motorized Stage 검자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 Motorized X, X Linear Stages / Table Size XA10A-L1 스위벨(XA10A-L2 A10A-L1 A10A-L2 XA10A-L1/L2 4-M3 Depth 8mm M4 Depth 13mm 8-M4 Depth 8mm 7 23 (80.5) (345.5) 고니오)Swivel (Tilt) 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스 Index CCW CW (25) CCW Limit Sensor Home Position CW Limit Sensor 3 스위벨(A10A-L1/L2 7 8-for M4 screws Shaft length 17.5mm 고니오)Swivel (Tilt) 얼라인먼트스테이지X 진85 (80.5) (345.5) Electronics 공스테이지Vacuum Stage (165.5) 100 (80) 50 3 사시스템Inspection 8-for M4 screws Shaft length 17.5mm H-032 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

33 알루미늄 / 리니어가이드 / 연삭나사, 볼스크류 Aluminum Body / Linear Guide / Ground Screw, Ball Screw 시품 Products수동정동정 4 스테이지결선타입 Stage Wiring Type X1 형식 Model Number XA10A-L1 A10A-L1 XA10A-L2 A10A-L2 미러모델형식 Mirror Model Number XA10A-L1-R A10A-L1-RRR XA10A-L2-R A10A-L2-RRR 테이블사이즈 Table Size 100mm 100mm 안내방식 Guide Mechanism 정밀리니어가이드 Linear Guide 이동범위 Motion Range ±50mm 보내기방식 Lead Mechanism 연삭나사, 리드 1.0mm Ground Screw, Lead 1.0mm 볼스크류, 리드 2.0mm Ball Screw, Lead 2.0mm 풀 / 하프스텝 Full/Half Step 2μm/1μm 4μm/2μm 마이크로스텝 (1/20분할) Micro Step (1/20 div) 0.1μm 0.2μm 최고속도 Maximum Speed 10mm/sec 20mm/sec 누적리드오차 Accumulated Lead Error 20μm/100mm 15μm/100mm 반복위치결정정도 Repeatability ±0.5μm 로스트모션 Lost Motion 2μm 수평 Horizontal 3μm/100mm 수직 Vertical 3μm/100mm 백래쉬 2μm Backlash 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.05 arcsec/n cm 0.10 arcsec/n cm 0.05 arcsec/n cm 0.10 arcsec/n cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 196N(20kgf) 156.8N(16kgf) 196N(20kgf) 156.8N(16kgf) 재질 알루미늄합금 Material Aluminum Alloy 마감 백색마감 Finish Clear-Matt Anodizing 무게 Weight 3.8kg 7.6kg 3.8kg 7.6kg 직교도 Perpendicularity - 10μm/100mm - 10μm/100mm 5상스텝핑모터 9 PK566-B( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선10줄 ) 5 Phase Stepper Motor PK566-B (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72, 10-Leads) 커넥터 각형 20핀 ( 히로세 : PC-1620, P-1620A-STA) Connector 20Pin Rectangular (Hirose: PC-1620, P-1620A-STA) 분해능 Resolution 2 진직도 Straightness 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price(JP) 오버홀비용 Overhaul Price 클린그리스교환비용 Clean Room Lubricant Change Price F104(INDEX,LIMIT), F105(HOME) 250, , , ,000 48,000 ~ 96,000 ~ 48,000 ~ 96,000 ~ 36,000 72,000 36,000 72,000 진공그리스교환비용 Vacuum Lubricant Change Price 36,000 72,000 36,000 72,000 동형모터교환비용 Same Size Motor Change Price 15,000 ~,000 ~ 15,000 ~,000 ~ 이형모터교환비용 Different Size Motor Change Price 36,000 ~ 72,000 ~ 36,000 ~ 72,000 ~ 2 4 표준형, 미러형, 조합방식에관해서는 H-005페이지를참조해주세요. Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry Configuration. 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. X스테이지단체 (1개) 의모멘트하중은롤강성입니다. Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035페이지를참조해주세요. Refer to page N-034,N-035 for stage wiring connection information. 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002 페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018 페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 9 클린그리스사양의형식은끝에 -C 가붙습니다. 상세한사항은 C-005페이지를참조해주세요. Clean room lubricant model has -C at the end of model number. Page C-005 for further information. 진공그리스사양의형식은끝에 -V 가붙습니다. 상세한사항은C-005페이지를참조해주세요. Vacuum lubricant model has -V at the end of model number. Page C-005 for further information. 모터교환에대한상세한것은 C-004페이지를참조해주세요. Page C-004 for further information about motor change. 모터샤프트의출력측축의끝을절단하였습니다. Cut off the edge of motor shaft's output side. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은영업부로문의주세요. We appreciate the product customizing. Contact us for further information. 스템제밀스테이지Motorized Stage 산밀스테이지Manual Stage 자Electronics 얼라인먼트스테이지X 시스템제 품Inspection 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL H-033

34 시스템제 품 Products 수 Electronics 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스산테이지Motorized Stage 얼라인먼트스테이지X 검사시스템Inspection 자동 X X 스테이지 / 테이블사이즈 1 1 Motorized X Linear Stages / Table Size 1 1 (22) (22) Option Table 34 (3) (96) (175) 1 (172) index #2 8-for M6 screws (M8 tapped hole) Shaft length 21mm #1 #2 XA16F-L Option Table index (96) 10-M5 Depth 12mm 31 CCW Limit Sensor #1 8-for M5 screws Shaft length 18mm 10-M5 Depth 12mm CCW Limit Sensor #1 8-for M5 screws Shaft length 21mm (393) (70) 1 (67) Home Position (55) Ф15 Depth 15mm CCW 1 CW CW Limit Sensor (22) for M5 screws Shaft length 5mm M6 Depth 11mm t=11 6 -for M5 screws Shaft length 5mm 1 t= (493) (96) (120) 1 (117) M5 Depth 12mm CCW CW Option Table CCW CW CW Limit Sensor #2 4-for M6 screws (M8 tapped hole) (50) Shaft length 18mm XA16F-L21 뒷면 Back Side 뒷면 Back Side XA16F-L23 Ф15 Depth 12mm Home Position XA16F-L22 윗면에서스테이지를취부하는경우, M5용관통구멍을이용해주세요. Through hole for M5 screw mount from upper side. 뒷면에서스테이지를취부하는경우, M8용탭구멍을이용해주세요. Tapping hole for M8 screw mount from back side index CCW Limit Sensor #2 4-for M6 screws (M8 tapped hole) Shaft length 18mm 뒷면 Back Side XA16F-L22 #1 12-for M5 screws Shaft length 18mm OTX1-K Home Position () () () () CW Limit Sensor (75) OTX1-M6 XA16F-L23 Ф15 Depth 12mm 옵션테이블 Option Table 1 M8 Depth 11mm 4-M3 Depth 8mm 8-M4 Depth 11mm 4-M5 Depth 11mm ,000 12,000 H-034 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL