(72) 발명자 강봉철 대전유성구대학로 291, 1204 호 ( 구성동, 한국과학기술원 ) 한승용 대전유성구대학로 291, 기계공학동응용나노기술과학연구실 ( 구성동, 한국과학기술원 ) - 2 -

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(52) CPC 특허분류 B01D 53/62 ( ) Y02C 10/10 ( ) (72) 발명자 이정현 대전광역시서구대덕대로 246 넥서스밸리 B 동 1417 호 박영철 대전광역시유성구반석동로 33 반석마을 5 단지아파트 505 동 201 호 이발명

특허청구의범위청구항 1 복수의영상검출부로부터출력되는영상의히스토그램 (histogram) 을계산하는단계 ; 상기복수의영상검출부로부터출력되는영상을히스토그램평활화 (histogram equalization) 하는단계 ; 상기복수의영상검출부중하나의영상검출부를선택하는단계 ; 및

특허청구의 범위 청구항 1 복수개의 프리캐스트 콘크리트 부재(1)를 서로 결합하여 연속화시키는 구조로서, 삽입공이 형성되어 있고 상기 삽입공 내면에는 나사부가 형성되어 있는 너트형 고정부재(10)가, 상기 프리캐스 트 콘크리트 부재(1) 내에 내장되도록 배치되는 내부

(72) 발명자 김도규 서울특별시성북구장위 3 동 박준일 서울특별시강서구등촌동 서광아파트 103 동 803 호 유형규 경기도광명시광명 4 동한진아파트 101 동 1801 호 - 2 -

이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 부처명 방송통신위원회 연구사업명 방송통신기술개발사업 연구과제명 안전한 전자파환경 조성 주관기관 한국전자통신연구원 연구기간 ~

특허청구의범위청구항 1 물을여과하는필터부 ; 상기필터부에물을유동시키는정수관 ; 상기정수관에설치되고, 상기정수관의수류를이용하여전기를발생시키는발전모듈 ; 및상기정수관에배치되고, 상기발전모듈에서발생된전기가공급되고, 상기정수관을따라유동되는정수를전기분해하여살균하는살균모듈 ; 을

위해충전효율및온도변화를측정하는신호측정센서층을포함하여구성되는것을그구성상의특징으로한다. 본발명은인체삽입형의료기기의성능평가용인체유사팬텀의제조방법에관한것으로서, 보다구체적으로는인체유사팬텀의제조방법으로서, (1) 정제수, 액체상태의아가로오스 (agarose) 및소듐클로라이드 (

실용신안 등록청구의 범위 청구항 1 톤백마대가 설치될 수 있도록 일정간격을 두고 설치되는 한 쌍의 지지프레임과, 상기 지지프레임과 지지프레임의 상부를 서로 연결하는 한 쌍의 연결프레임과, 상기 연결프레임의 상부에 일정간격을 두고 다수 설치되어 상기 톤백마대와 그 투입구

특허청구의범위청구항 1 복수개의관통비아홀이형성된웨이퍼의하나이상의관통비아홀을포함하는전도영역에전도층을형성하는전도층형성단계 ; 상기전도층을포함한웨이퍼전체영역에절연층을증착하는절연층증착단계 ; 상기전도층의상부에감광제를도포하고, 상기관통비아홀이형성된위치에관통비아홀의단면적보다작은단

특허청구의범위청구항 1 구리나노콜로이드 ; 구리염 ; 및폴리비닐피롤리돈, 에틸렌디아민, 및디에틸렌아민을포함하는군으로부터선택되고, 상기구리염과반응을일으킬수있는고분자 ; 를포함하는전도성금속잉크를인쇄하여제조되는전도성금속막. 청구항 2 삭제청구항 3 제1항에있어서, 상기구리나

한것으로스마트단말기에의하여드론조종앱을설치하는제 1 단계 ; 스마트단말기에의하여드론의불루투스통 신부에부여된고유식별번호를입력저장하고드론의불루투스를인식하며드론의블루투스통신부로부터회신되 는신호의수신레벨을분석하여최대통신거리를확인하여저장하는제 2 단계 ; 스마트단말기에의하여최대통

본 발명은 중공코어 프리캐스트 슬래브 및 그 시공방법에 관한 것으로, 자세하게는 중공코어로 형성된 프리캐스트 슬래브 에 온돌을 일체로 구성한 슬래브 구조 및 그 시공방법에 관한 것이다. 이를 위한 온돌 일체형 중공코어 프리캐스트 슬래브는, 공장에서 제작되는 중공코어 프

특허청구의범위청구항 1 선박의안티재머 (Anti-Jammer) 위성항법시스템으로서, GPS 신호및 DGPS 신호를자함의 INS(Intertial Navigation System) 신호와비교하여기준오차범위초과시수신되는 GPS 신호와 DGPS 신호를재밍 (Jamming)

(72) 발명자 황병준 강원도원주시단계동 강경태 서울시서초구반포본동반포주공아파트 110 동 10 5 호 이낙규 인천광역시연수구송도동 23-3 더샵센트럴파크 동 902 호 조영준 경기도용인시기흥구보정동연원마을삼성명가타운아파트 110 동 1303 호

공개특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 (43) 공개일자 2013년09월25일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65D 25/14 ( ) C23

항은 발명의 상세한 설명에는 그 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자 (이하 통상의 기술자 라고 한다)가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 그 발명의 목적 구성 및 효과를 기재하여야 한다고 규정하고 있다. 이는 특허출원된 발명의 내용을 제 3자가 명세서만으로

서 인코딩한 데이터를 무선으로 송신하기 위한 무선 송신 수단; 및 통화중 상기 입력 수단으로부터의 음원 데이터 전송신 호에 따라 상기 저장 수단에 저장되어 있는 해당 음원 데이터를 상기 디코딩 수단에 의해 디코딩하고, 상기 디코딩한 음원 데이터와 상기 입력 수단을 통해

(72) 발명자 김진근 울산광역시울주군삼남면가천리 818 삼성 SDI( 주 ) 김기민 울산광역시울주군삼남면가천리 818 삼성 SDI( 주 ) - 2 -

본 발명은 난연재료 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 케이블이나 전선의 시스체로 쓰이는 저발연, 저독성을 가진 열가소성 난연재료 조성물에 관한 것이다. 종래의 선박용 케이블은 그 사용 용도와 장소에 따라 다양한 제품들로 구별된다. 근래 들어 해양 구조물 및 선박에

(72) 발명자 강경태 서울서초구반포본동반포주공아파트 110 동 105 호 이상호 서울관악구봉천 9 동 윤규영 인천남구용현동 신권용 서울구로구천왕동천왕이펜하우스 6 단지 601 동 1203 호 이발명을지원한국가연구개발사업 과제고유번호 ES-1

도 3 은 본 발명에 따른 제거수단을 보인 사시도 도 4 는 본 발명에 따른 제거수단의 해파필터와 카본필터의 구성을 보인 개략단면도 <도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> (1) : 케이싱 (1a) : 천연음이온 도료 (2) : 제거수단 (3) : UV살균장치 (4)

공개특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 (43) 공개일자 2014년06월11일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65D 81/24 ( ) B65

(72) 발명자 김준기 경기 군포시 광정동 한양목련아파트 1226동 805호 유세훈 인천광역시 연수구 송도동 성지리벨루스 110동 50 1호 방정환 인천 연수구 연수동 고용호 인천광역시 연수구 해송로30번길 송도 웰카운티 4 단지 20 (송도동) 407동 4

(72) 발명자경진호대전유성구지족동열매마을아파트 박찬훈대전서구둔산동크로바아파트 101동 201호 박동일 대전유성구지족동열매마을아파트 101 동 1401 호 이발명을지원한국가연구개발사업 과제고유번호 MO1940 부처명 지식경제부 연구사업명 지경부-국가연구

(72) 발명자 최석문 서울관악구봉천 6 동우성아파트 장범식 경기성남시분당구정자동한솔마을청구아파트 110 동 301 호 정태성 경기화성시반월동신영통현대 4 차아파트

(72) 발명자강경태서울서초구반포본동반포주공아파트 110동 105호강희석서울강남구대치1동 888 아이파크 106동 802호 황준영 경기용인시수지구동천동수진마을써니벨리 호 김민수 서울특별시강남구압구정동한양아파트 26 동 701 호 - 2 -

(72) 발명자 강상규 충북청주시흥덕구사직대로 30 번길 20, ( 복대동 ) 이영덕 대전유성구배울 2 로 42, 504 동 502 호 ( 관평동, 신동아파밀리에 ) 장태선 대전유성구어은로 57, 122 동 502 호 ( 어은동, 한빛아파트 ) 남승은 대전유성구엑스포로

도 1 특허청구의범위 청구항 1. 자성금속박막을형성하는단계 ; 상기자성금속박막위에알루미늄을증착하는단계 ; 증착된상기알루미늄위에자성금속을증착하여알루미나이드박막을형성하는단계 ; 그리고 상기알루미나이드박막위에자성금속박막을증착하는단계로이루어지고, 상기자성금속은 Co, Fe 및

브와 IP 인터콤의연결만으로시스템이간편하고용이하게확장될수있어확장성이증대되고, 특히선박에적용되어종래의 PA/GA 시스템구축에필요한많은전선에대한비용의절감과전선무게절감에의한선박중량감소로유류비의절감이도모될수있는기술적특징을갖는다. 본발명에따른이더넷기반 PA/GA 용인터콤스테이션

명세서청구범위청구항 1 일단이아래로경사지게형성되고타단의측면은제 1 링크 (11) 및제 2 링크 (12) 를갖는원형링크 (13) 의상기제 2 링크에연결되고상기원형링크를매개로회전가능한사용자의안착을위한좌석 (10); 일단이상기좌석의일단과상응하게아래로경사지게형성되고제 3 링크

특허청구의 범위 청구항 1 발열원의 일면에 접촉 설치되며, 내부에 상기 발열원의 열에 의해 증발되는 작동유체가 수용되는 작동유체챔버 가 구비되고, 상기 작동유체챔버의 일측에 제1연결구가 형성된 흡열블록; 및 상기 흡열블록의 일측에 결합되며, 흡열블록과 결합되는 부분에

<B4D9BDC3BEB4C0AFB1E2C8ADC7D02D34C6C72D35BCE2C3D6C1BE28B1B3BBE7292E687770>

(72) 발명자 김동식 광주북구오룡동 1 번지광주과학기술원신소재공학과 이경재 광주북구오룡동 1 번지광주과학기술원신소재공학과 - 2 -

이발명을지원한국가연구개발사업 과제고유번호 부처명 미래창조부 연구관리전문기관 한국산업기술평가관리원 연구사업명 산업융합원천기술개발 연구과제명 단일노드 48TB 이상을지원하는개방형하둡스토리지어플라이언스 (Hadoop Storage Appliance) 개발 기

이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 A 부처명 지식경제부 연구관리전문기관 연구사업명 IT핵심기술개발 연구과제명 융합형 포털서비스를 위한 이용자 참여형 방송기술개발 기여율 주관기관 전자부품연구원 연구기간 2008년 03월 01일 ~ 2

(72) 발명자 김화용 서울특별시관악구봉천 2 동동아아파트 109 동 803 호 강병희 서울특별시관악구봉천 11 동 번지미림연립 305 호 - 2 -

특허청구의 범위 청구항 1 제1 내지 제6 암이 각각의 관절부를 가지며 형성되며, 상기 제1 내지 제6 암 각각은 제1 내지 제6 링크에 의해 링크되고, 상기 제1 내지 제6 암 내부에는 각각의 암을 구동하는 구동모듈이 각각 내장되며, 상기 구동모듈 각각의 선단에는 1

(72) 발명자 정종수 서울특별시 서대문구 모래내로 319, 101동 405호 (홍은동, 진흥아파트) 김정환 서울특별시 구로구 구로동로21길 7 (구로동) - 2 -

등록특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) G01R 29/08 ( ) (21) 출원번호 (22) 출원일자 2011 년 12 월 28 일 심사

(72) 발명자 박세웅 서울특별시관악구신림동산 56-1 서울대학교뉴미디어통신공동연구소 최진구 서울특별시영등포구당산동 2 가대우메종아파트 101 동 909 호 - 2 -

특허청구의 범위 청구항 1 맨홀 일부분에 관통되게 결합되는 맨홀결합구와; 상기 맨홀결합구의 전방에 연통되게 형성되어 토양속에 묻히게 설치되고, 외주면에는 지하수가 유입될 수 있는 다수의 통공이 관통 형성된 지하수유입구와; 상기 맨홀결합구의 후방에 연통되고 수직으로 세워

(72) 발명자 이영일 경기안양시동안구비산동은하수청구아파트 107 동 405 호 전병호 서울금천구독산 3 동

많이 이용하는 라면,햄버그,과자,탄산음료등은 무서운 병을 유발하고 비만의 원인 식품 이다. 8,등겨에 흘려 보낸 영양을 되 찾을 수 있다. 도정과정에서 등겨에 흘려 보낸 영양 많은 쌀눈과 쌀껍질의 영양을 등겨를 물에 우러나게하여 장시간 물에 담가 두어 영양을 되 찾는다

특허청구의범위청구항 1 환경미화에사용되는청소차량의배기통의열을이용해가열매체를가열시키는상기배기통을감싸도록형성되는히팅관 ; 상기청소차량수거함에발생되는오수의결빙을방지할수있도록상기히팅관을통해가열된공기로이루어진가열매체의열을상기수거함으로전달하는가열부 ; 상기가열매체가상기히팅관에서가

공지예외적용 : 있음 - 2 -

특허청구의범위청구항 1 방열판 ; 상기방열판상부에형성된세라믹박막 ; 및상기세라믹박막상부에형성된회로패턴을포함하여이루어지는방열기판. 청구항 2 제1항에있어서, 상기방열판은 Al, Cu, Mo, W, Ti, Mg 중에서선택된어느하나의물질로이루어지는것을특징으로하는방열기판. 청

(71) 출원인 나혜원 대구 달서구 도원동 1438 대곡사계절타운 나혜리 대구 달서구 도원동 1438 대곡사계절타운 (72) 발명자 나혜원 대구 달서구 도원동 1438 대곡사계절타운 나혜리 대구 달서구 도원동 1438 대

(72) 발명자 강문진 경기 고양시 일산구 일산3동 후곡마을 영풍한진 김정한 서울 서초구 방배4동

특허청구의범위청구항 1 청소차량의적재함에적재되는쓰레기로부터발생되는오수를처리하는오수탱크에있어서, 상기오수탱크내의오수결빙을방지하도록오수탱크를가열하는제1 가열부 ; 상기적재함과상기오수탱크를연결하는오수관내의오수결빙을방지하도록상기오수관을가열하는제2 가열부 ; 상기오수탱크로유입되

대 표 도 - 2 -

특허청구의범위청구항 1 투입된음식물을분쇄하는분쇄기 ; 상기분쇄된음식물을가열할수있는마그네트론 ; 및탈취작용을하는저온촉매필터를포함하는음식물처리기에있어서, 상기마그네트론이상기저온촉매필터를일정온도로가열할수있는것을특징으로하는, 청구항 2 제 1 항에있어서, 상기음식물처리기는상기

(72) 발명자 오승용 경기도안산시상록구오목로 11 길 45, 202 호 ( 본오동 ) 박영욱 경기도수원시권선구당진로 31 번길 16, 한라비발디 202 동 1201 호 ( 당수동 ) 고대화 경기도수원시권선구금호로 189 번길 82-12, 202 호 ( 구운동 ) 김준

명세서청구범위청구항 1 갠트리의헤드로부터방사선을조사하는선형가속기에사용되고, 상기헤드에설치되고, 방사선이조사되는환자의치료중심을향해레이저를쏘고환자의체표면에서반사된레이저를감지하여환자의체표면까지의거리를측정하는레이저거리측정기 ; 상기레이저거리측정기의데이터를수신하여 SSD(sou

대체부품 인증제도

등록특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) E03B 11/10 ( ) B01D 35/02 ( ) E03B 11/02 ( ) (52) CPC 특허분류

특허청구의 범위 청구항 1 앵커(20)를 이용한 옹벽 시공에 사용되는 옹벽패널에 있어서, 단위패널형태의 판 형태로 구성되며, 내부 중앙부가 후방 하부를 향해 기울어지도록 돌출 형성되어, 전면이 오 목하게 들어가고 후면이 돌출된 결속부(11)를 형성하되, 이 결속부(11

<312E20B9DDB5E5BDC320BECFB1E2C7D8BEDF20C7D220C8ADC7D020B9DDC0C0BDC42E687770>

이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 부처명 교육과학기술부 연구사업명 기초사업연구-일반연구자지원사업-기본연구지원사업(유형II) 연구과제명 시공간 부호 협력 통신을 위한 동기 알고리즘 연구 기 여 율 1/1 주관기관 서울시립대학교 산학협력단


특허청구의 범위 청구항 1 일반전화를 이용한 위험 알림시스템 및 실시간 영상전송 장치에서 CID(콜백넘버) 장치를 포함한 서버 및 그 장 비를 포함하며, 영상서버와 연동한 형태를 상황실에 전송하여 출동하는 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 일반전화를 이용한 위험 알

i n i n i n 1

명세서청구범위청구항 1 구리화합물을준비하는단계 ; 상기구리화합물을습식밀링하여구리화합물미립자를제조하는단계 ; 상기습식밀링한구리화합물미립자를건조하는단계 ; 상기건조된구리화합물미립자를건식밀링하는단계 ; 및상기건식밀링된구리화합물미립자를입자크기에따라분급하는단계를포함하는기능성원사

XXXXXX XXXXXX

특허청구의 범위 청구항 1 외형이 육면체이며 원통 공으로 관통된 한쪽의 중앙부에 원형 공보다 직경이 더 큰 스플라인 홈이 설치되며, 원 통공의 축 중심과 직각방향으로 양쪽에 원통 홈이 설치되고, 원통 홈의 중간부에 상, 하로 핀 홀이 설치된 스플 라인 너트(01)와,

등록특허 (51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) C22B 9/10 ( ) (21) 출원번호 (22) 출원일자 2007 년 09 월 21 일 심사청구일자 2007

(72) 발명자 박병희 충청북도 청원군 부용면 부강행산로 232, 구 바자지 바랏 대전시 유성구 신성동 19 박병기 대전시 유성구 어은동 한빛A 이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호

융합인재교육 ( S T E A M ) 프로그램 2

도 1 명세서 도면의 간단한 설명 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉 USB 리더기의 블럭도를 나타낸다. 도 2는 도 1의 비접촉 USB 리더기를 이용한 인프라 구축 시스템의 개략도를 나타낸다. 도 3은 도 1의 비접촉 USB 리더기를 이용한 이용 방법에 대한

(72) 발명자강희석서울강남구대치1동 888 아이파크 106동 802호이강원충청남도천안시안서동부경파크빌 강경태 서울특별시서초구반포본동주공아파트 황준영 경기용인시수지구동천동수진마을써니벨리 호 - 2 -

마이크로, TAS, 패키지, 범프, 관통홀 명세서 도면의 간단한 설명 도 1은 종래 기술에 따른 외부의 압력을 센싱하는 압력센서 패키지의 단면도 도 2a와 2b는 본 발명에 따라 마이크로 타스(TAS, Total Analysis System)칩이 실장된 패키지 단면도

공개특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) G06F 1/16 ( ) G09F 9/30 ( ) (52) CPC 특허분류 G06F 1/1641 (2013.

이발명을지원한국가연구개발사업 과제고유번호 LINC 부처명 교육과학기술부 연구관리전문기관 한국연구재단 연구사업명 산학협력선도대학육성사업기술개발과제 연구과제명 차세대자동차엔진마운팅브래킷용고강도알루미늄합금개발 기여율 1/1 주관기관 조선대학교산학협력단 연구기간

(72) 발명자 천정훈 서울특별시서초구반포본동주공아파트 조영준 경기도용인시기흥구보정동연원마을삼성명가타운아파트 이상호서울특별시관악구봉천9동 김승택경기도수원시팔달구우만동 4단지 이발명을지원한국가연구개발사업과제고유번호

<4D F736F F D20352E20C0CCBBEAC8ADC5BABCD220C8AFBFF820C3D6BDC520BFACB1B820B5BFC7E >

(72) 발명자 오인환 서울 노원구 중계로 195, 101동 803호 (중계동, 신 안동진아파트) 서혜리 서울 종로구 평창14길 23, (평창동) 한훈식 서울 강남구 언주로71길 25-5, 301호 (역삼동, 영 훈하이츠) 이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호

(72) 발명자 배홍민 울산광역시 동구 전하로 34 (전하동) 윤규상 울산광역시 동구 문현6길 19, 102동 304호 ( 방어동, 문현아이파크) 배대원 울산광역시 남구 월평로 253, 101동 409호 ( 삼산동, 삼산현대아파트) - 2 -

< 서식 5> 탐구보고서표지 제 25 회서울학생탐구발표대회보고서 출품번호 유글레나를이용한산소발생환경의탐구 소속청학교명학년성명 ( 팀명 ) 강서교육청서울백석중학교 3 임산해 [ 팀원이름 ]

(52) CPC 특허분류 C09D 7/1233 ( ) (72) 발명자 박건영 대전광역시유성구은구비남로 56 열매마을 9 단지 윤주 대전광역시유성구반석동로 33 반석마을 5 단지아파트 509 동 301 호 박주섭 대전광역시대덕구동춘당로 178 보

특허청구의 범위 청구항 1 알람을 출력하기 위한 출력 인터페이스; 사용자의 안구전도값을 측정하기 위한 안구전도 측정부; 및 상기 안구전도 측정부가 측정한 안구전도값을 이용하여 사용자의 졸음 상태를 감지하고, 그에 따라 상기 출력 인터페이스로 알람을 출력하는 졸음상태 판

Korean Patent No. KR

(72) 발명자 한상욱 서울특별시 노원구 공릉2동 81 태강아파트 1014동 201호 김진관 경기도 고양시 일산동구 마두동 강촌마을 2단지 한 신아파트

특허청구의범위청구항 1 (a) 염화금산 (HAuCl 4 ) 수용액에환원제를첨가하여금나노입자의콜로이드용액을제조하는단계 ; 및 (b) 상기금나노입자의콜로이드용액에카르복실기를가진에틸렌글라이콜과하이드록실기를가진에틸렌글라이콜의혼합용액의유기흡착제를첨가하여표면개질하는단계 ; 를포함

특허청구의범위청구항 1 알루미늄으로구성된내층및구리로구성된외층의이중층으로구성되되, 장측의구리층두께 (a) 가단측의구리층두께 (b) 보다작은사각바 (bar) 형으로, 구리대알루미늄의중량비가 10:90 내지 30:70인것을특징으로하는복합금속부스바. 청구항 2 제 1항에있어서

α α α α α

특허청구의범위청구항 1 에멀젼조성물이생분해성고분자 10~20중량 %, 상기생분해성고분자용해용용제 30~40중량 %, 유화제 10~20중량 % 및, 물 20~40중량 % 로구성되고, 상기한에멀젼내콜로이드의평균입도가 1~5μm인채과용생분해성발수에멀젼조성물. 청구항 2 제1

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<BACFC7D1B3F3BEF7B5BFC7E22D3133B1C733C8A BFEB2E687770>

<5BB0EDB3ADB5B55D B3E2B4EBBAF12DB0ED312D312DC1DFB0A32DC0B6C7D5B0FAC7D02D28312E BAF2B9F0B0FA20BFF8C0DAC0C720C7FCBCBA2D D3135B9AEC7D72E687770>

(52) CPC 특허분류 B01J 6/00 ( ) C01B 33/02 ( ) C01P 2004/64 ( ) 공지예외적용 : 있음 - 2 -

이발명을지원한국가연구개발사업 과제고유번호 부처명 지식경제부 연구사업명 강원웰빙특산물산업화지역혁신센터 연구과제명 강원웰빙특산물산업화지역혁신센터 기여율 1/1 주관기관 강원대학교산학협력단 연구기간 ~

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(72) 발명자 김우년 서울특별시강남구논현동 275 동부센트레빌 김웅 서울특별시강남구도곡 1 동 벨라빌 701 호 박종래 서울특별시관악구봉천 7 동산 4-2 서울대교수아파트 122G 동 201 호 박민 서울특별시노원구중계동건영아파트 103-6

물 1 리터당 5 내지 200g/l 의농도를갖는크롬화물및물 1 리터당 30 내지 200 ml /l 의농도를갖는불화물을포함하는, 금속소재에도금된주석또는주석합금의박리조성물. 청구항 2. 제 1 항에있어서, 상기금속소재는구리또는구리합금소재인것을특징으로하는주석또는주석합금의박리

(72) 발명자서상호전북군산시나운동주공5차아파트 506동 106호송준혜대전유성구관평동한화꿈에그린 우완종대전유성구신성동 208-8번지들빛촌 203호이성우대전유성구신성동대림두레아파트 110동 905호 - 2 -

특허청구의 범위 청구항 1 제 1 도전형 기판을 준비하는 제 1 도전형 기판 준비 단계; 상기 제 1 도전형 기판에 포토 레지스트를 패터닝하여 마이크로 와이어를 형성하는 마이크로 와이어 형성 단계; 상기 마이크로 와이어가 형성되지 않은 영역에 나노 와이어를 형성하는 나

(52) CPC 특허분류 B64D 47/00 ( ) G01S 19/01 ( ) H04W 24/02 ( ) H04W 24/08 ( ) H04W 64/006 ( ) B64C 2201/12 ( ) B64D 27

(72) 발명자 강경태 서울서초구반포본동반포주공아파트 110 동 105 호 강희석 경기용인시수지구풍덕천동삼성쉐르빌 102 동 202 호 박문수 경기용인시기흥구신갈동도현마을현대 호 박승인 경기수원시영통구영통동 층 - 2 -

특허청구의 범위 청구항 1 지그비 통신 망에서 지그비 노드들의 우선 순위를 부여하는 방법에 있어서, (a) 상기 지그비 노드들 각각의 CCA 수행 시간들을 전송할 데이터의 우선 순위에 따라 가변시키는 단계와; (b) 상기 가변되는 CCA 수행 시간들은 우선 순위가 높은

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(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B82B 3/00 (2006.01) B22F 9/18 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01) C22B 9/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0112150 (22) 출원일자 2011 년 10 월 31 일 심사청구일자 2011 년 10 월 31 일 (65) 공개번호 10-2013-0047243 (43) 공개일자 2013 년 05 월 08 일 (56) 선행기술조사문헌 Y. Shimotsuma et. al. Chem. Mater. 2007 Vol. 19, pp. 1206-1208* B. Kang et. al. J. Phys. Chem. C 2011, Vol. 115, pp.23664-23670 (2011.10.27.)* * 는심사관에의하여인용된문헌 (45) 공고일자 2014년02월12일 (11) 등록번호 10-1357179 (24) 등록일자 2014년01월23일 (73) 특허권자 한국과학기술원 대전광역시유성구대학로 291( 구성동 ) (72) 발명자 양민양 대전유성구대학로 291 ( 구성동, 한국과학기술원 ) 고승환 대전유성구대학로 291 ( 구성동, 한국과학기술원 ) ( 뒷면에계속 ) (74) 대리인 특허법인아이퍼스 전체청구항수 : 총 7 항심사관 : 최문정 (54) 발명의명칭나노와이어제조방법, 나노와이어패턴형성방법및그방법에의해제조된나노와이어 (57) 요약 본발명은나노와이어제조방법, 나노와이어패턴형성방법에관한것으로서, 구리나노와이어를산화시킨후레이저를조사하여산화된구리나노와이어를환원시킴으로써소결된나노와이어를생성하는나노와이어제조방법및나노와이어패턴형성방법에관한것이다. 이를위해나노와이어를산화시킴으로써산화나노와이어를생성하는단계 (S610); 및산화나노와이어를도포된환원제와함께레이저조사함으써소결및환원된나노와이어를생성하는단계 (S620); 를포함하는것을특징으로하는나노와이어제조방법이개시된다. 대표도 - 도 11-1 -

(72) 발명자 강봉철 대전유성구대학로 291, 1204 호 ( 구성동, 한국과학기술원 ) 한승용 대전유성구대학로 291, 기계공학동응용나노기술과학연구실 ( 구성동, 한국과학기술원 ) - 2 -

특허청구의범위청구항 1 나노와이어를산화시킴으로써산화나노와이어를생성하는단계 (S610); 액체와혼합된상기산화나노와이어를증착시키는단계 (S613); 상기산화나노와이어를전사하는단계 (S615); 환원제를전사된상기산화나노와이어일면에박막코팅하는단계 (S617); 및상기산화나노와이어를도포된환원제와함께레이저조사함으로써소결및환원된나노와이어를생성하는단계 (S620); 를포함하되, 상기나노와이어는, 구리또는알루미늄을소재로하여합성되는것을특징으로하는나노와이어제조방법. 청구항 2 삭제청구항 3 삭제청구항 4 제 1 항에있어서, 상기산화나노와이어는, 상기나노와이어가공기중에서산화되거나또는극성용매와혼합됨으로써생성되는것을특징으로하는나노와이어제조방법. 청구항 5 나노와이어를산화시킴으로써산화나노와이어를생성하는단계 (S710); 액체와혼합된상기산화나노와이어를증착시키는단계 (S713); 상기산화나노와이어를전사하는단계 (S715); 상기산화나노와이어를도포된환원제와함께선택적으로레이저에의해조사하는단계 (S720); 및상기레이저에의해조사된영역에소결및환원된나노와이어가생성됨으로써패터닝이형성되는단계 (S730); 를포함하되, 상기나노와이어는, 구리또는알루미늄을소재로하여합성되는것을특징으로하는나노와이어패턴형성방법. 청구항 6 삭제청구항 7 제 5 항에있어서, - 3 -

상기산화나노와이어는, 상기나노와이어가공기중에서산화되거나또는극성용매와혼합됨으로써생성되는것을특징으로하는나노와 이어패턴형성방법. 청구항 8 삭제청구항 9 삭제청구항 10 제 5 항에있어서, 상기환원제를전사된상기산화나노와이어일면에박막코팅하는단계 (S717); 를더포함하는것을특징으로하는나노와이어패턴형성방법. 청구항 11 제 5 항에있어서, 상기환원제는알콜인것을특징으로하는나노와이어패턴형성방법. 청구항 12 제 5 항에있어서, 상기패터닝은, 레이저에의해조사되지아니한나노와이어를제거함으로써생성되는것을특징으로하는나노와이어패턴형성방법. 청구항 13 삭제 명세서 [0001] 기술분야본발명은나노와이어제조방법, 나노와이어패턴형성방법에관한것으로서, 보다상세하게는구리나노와이어를산화시킨후레이저를조사하여산화된구리나노와이어를환원시킴으로써소결된나노와이어를생성하는나노와이어제조방법및나노와이어패턴형성방법에관한것이다. [0002] 배경기술최근광산업, 디스플레이산업, 반도체산업, 바이오산업에서제품의박막화고성능화의요구가증가하고있다. 여기에최근금, 은의재료비증가로인한구리의수요가증대되고있다. 구리의경우가격이매우저렴하기때문에구리를산업에접목시키기위한여러연구가진행되고있다. [0003] 구리는금, 은과같이높은전도성을나타내면서값이싼재료이다. 그러나금, 은과달리구리는대기상태에서 - 4 -

쉽게산화가일어난다. 나노상태에서는표면적이증가하여서더욱쉽게산화되므로산화가쉬운구리를대기 상태에서산업에접목시키는것이불가능하거나매우고가의복잡한공정이필요하다. [0004] 특히최근유연전자소자에대한기술적요구가증가됨에따라서인장가능한고내구성전극이요구되고있다. 기존에인장가능한전극을제조하는방법으로서금속나노와이어를이용하여체인형태의미세구조를만드는방 법이있다. 이러한방법은대부분은과같이고가의산화에안정한재료를이용하여제조하였다. [0005] 그러나이러한방법은와이어들끼리의연결성이약하여전도성이낮은단점이있고미세패턴닝이용이하지않 다. 보다선택성과전도성을향상시키기위한방법으로은나노와이어를레이져를이용하여국부적으로소결하 는방식도있지만이러한방법은고가의은나노와이어를만들어야한다는제약이있다. 선행기술문헌 [0006] 특허문헌 ( 특허문헌 0001) 선행기술문헌인대한민국공개특허공보제10-2005-0086693( 발명의명칭 : 반도체물질로부터나노와이어를제조하는방법과나노와이어분산및전자장치 ) 에따르면주어진에러마진내에서실질적으로균일한길이를갖는나노와이어를얻을수있는발명에관한것이다. ( 특허문헌 0002) 이러한목적을달성하기위해양극에칭이제1시간주기및제2시간주기에서실행되는데, 이주기는나노와이어에따른제1 및제2영역에대응하며, 제1주기에서보다높은전류밀도로제2시간주기에서에칭이발생하여형성된나노와이어는제1영역에서제2영역에서보다큰직경을가지며, 그결과에의한제거에따라나노와이어는제2영역에서백오프하며, 이제거는나노와이어분산이발생되는배스에서일어난다는점에서달성된다. 발명의내용 [0007] [0008] 해결하려는과제따라서, 본발명은전술한바와같은문제점을해결하기위하여창출된것으로서, 대기상태에서소결된구리나노와이어를제조할수있는발명을제공하는데그목적이있다. 그러나, 본발명의목적들은상기에언급된목적으로제한되지않으며, 언급되지않은또다른목적들은아래의기재로부터당업자에게명확하게이해될수있을것이다. [0009] [0010] [0011] [0012] 과제의해결수단전술한본발명의목적은, 나노와이어를산화시킴으로써산화나노와이어를생성하는단계 (S610); 및산화나노와이어를도포된환원제와함께레이저조사함으써소결및환원된나노와이어를생성하는단계 (S620); 를포함하는것을특징으로하는나노와이어제조방법을제공함으로써달성될수있다. 또한, S610 단계후, 액체와혼합된산화나노와이어를증착시키는단계 (S613); 산화나노와이어를전사하는단계 (S615); 및환원제를박막형성이용이한스핀코팅, 슬라이트다이, 스프레이, 및롤코팅중어느하나의코팅방법을이용하여전사된산화나노와이어일면에성층하는단계 (S617); 를더포함하는것을특징으로한다. 또한, 나노와이어는, 구리또는알루미늄을소재로하여합성되는것을특징으로한다. 또한, 산화나노와이어는, 나노와이어가공기중에서산화되거나또는극성용매와혼합됨으로써생성되는것을특징으로한다. [0013] 한편, 본발명의목적은나노와이어를산화시킴으로써산화나노와이어를생성하는단계 (S710); 산화나노와이 어를도포된환원제와함께선택적으로레이저에의해조사하는단계 (S720); 및레이저에의해조사된영역에 소결및환원된나노와이어가생성됨으로써패터닝이형성되는단계 (S730); 를포함하는것을특징으로하는나 - 5 -

노와이어패턴형성방법을제공함으로써달성될수있다. [0014] [0015] [0016] [0017] [0018] [0019] [0020] 또한, 나노와이어는, 구리또는알루미늄을소재로하여합성되는것을특징으로한다. 또한, 산화나노와이어는, 나노와이어가공기중에서산화되거나또는극성용매와혼합됨으로써생성되는것을특징으로한다. 또한, S710 단계후, 액체와혼합된산화나노와이어를증착시키는단계 (S713); 를더포함하는것을특징으로한다. 또한, S713 단계후, 산화나노와이어를전사하는단계 (S715); 를더포함하는것을특징으로한다. 또한, 환원제를박막형성이용이한스핀코팅, 슬라이트다이, 스프레이, 및롤코팅중어느하나의코팅방법을이용하여전사된산화나노와이어일면에성층하는단계 (S717); 를더포함하는것을특징으로한다. 또한, 환원제는에틸렌글리콜 (Ethylene glycole) 인것을특징으로한다. 또한, 패터닝은, 레이저에의해조사되지아니한나노와이어를제거함으로써생성되는것을특징으로한다. [0021] [0022] [0023] [0024] [0025] [0026] [0027] 발명의효과전술한바와같은본발명에의하면나노물질제조시에산화방지를위한캡핑처리가불필요하여원가절감의효과가있다. 또한, 본발명에의하면구리나노와이어합성과패터닝을동시에할수있는효과가있다. 또한, 본발명에의하면와이어끼리소결성강화로전기전도성이우수한효과가있다. 또한, 본발명에의하면물기반의공정으로서친환경적인효과가있다. 또한, 본발명에의하면입자를이용하는방식과달리인장시에도물리적단선이되지않기때문에인장가능한기판에도고전도성 / 고내구성의전극패턴형성이가능한효과가있다. 또한, 본발명에의하면박막형성시고전도성투명전극의제조가가능한효과가있다. 그리고, 본발명에의하면추가적인진공또는불활성기체챔버에서소결할필요없이대기상태에서제조가능한효과가있다. [0028] 도면의간단한설명본명세서에첨부되는다음의도면들은본발명의바람직한일실시예를예시하는것이며, 발명의상세한설명과함께본발명의기술적사상을더욱이해시키는역할을하는것이므로, 본발명은그러한도면에기재된사항에만한정되어해석되어서는아니된다. 도 1은본발명에따른산화구리나노와이어가구리나노와이어로환원되는화학적과정을나타낸도면이고, 도 2는본발명에따른구리나노와이어를물에산화시키는과정을나타낸도면이고, 도 3은본발명에따른산화구리나노와이어를증착시키기위한구성을나타낸도면이고, 도 4는본발명에따른전사된산화구리나노와이어를드라이하는도면이고, 도 5 내지도 7은본발명에따른산화구리나노와이어에레이저를조사하는도면이고, 도 8은본발명에따른레이저조사전의산화구리나노와이어와와레이저조사후의소결된구리나노와이어를나타낸도면이고, 도 9는도 8의확대도면이고, 도 10은본발명에따른세척과정에의해패터닝된도면이고, 도 11은본발명에따른나노와이어제조방법을나타낸순서도이고, 도 12는본발명에따른나노와이어패턴형성방법을나타낸순서도이다. 발명을실시하기위한구체적인내용 - 6 -

[0029] 이하, 도면을참조하여본발명의바람직한일실시예에대해서설명한다. 또한, 이하에설명하는일실시예는특 허청구범위에기재된본발명의내용을부당하게한정하지않으며, 본실시형태에서설명되는구성전체가본 발명의해결수단으로서필수적이라고는할수없다. [0030] [0031] < 구리나노와이어패턴형성방법 > 본발명은대기상태에서산화되기쉬운구리또는알루미늄소재를사용하여합성된나노와이어를레이저에의해조사하여다시환원시킴으로써소결되고환원된나노와이어를제조하는방법에관한것이다. 다만, 산화되기쉬운소재를사용할수있으므로상술한구리또는알루미늄소재에한정되는것은아니며, 나노와이어뿐만아니라나노파티클형태로제작할수도있다. 이하에서는도 1 내지도 10을참조하여본발명에따른나노와이어제조방법및패턴형성방법을설명하기로한다. [0032] 먼저, 본발명의일실시예에서는구리나노와이어를이용하여설명하기로한다. 따라서알루미늄나노와이어는 특별히언급된내용외에는구리나노와이어에대한설명으로갈음하기로한다. [0033] [0034] [0035] ( 화학변환과정 ) 도 1에는산화구리나노와이어에서구리나노와이어로환원되는원리가도시되어있다. 종래의은나노와이어의소결방식은레이저의열적소결방식으로단순히광열반응 (Photo-Thermal Reaction) 을이용하는방식이다. 그러나본발명의일실시예에서는제조된구리나노와이어를강제로산화시켜산화구리나노와이어를제작한후 ( 이때구리의산화를방지하기위한부가적인공정이나처리가불필요 ), 환원제와같이혼합및도포하여선택적으로레이저를조사함으로써도 1에나타난광열화학반응을일으키게한다. 광열화학반응을일으켜순간적으로구리나노와이어로환원시킴과동시에와이어들끼리의순간적인융합으로연결성이강화되어높은전도성의구리전극을형성할수있다. [0036] 한편, 상온에서산화시킨산화구리 (CuO) 는금, 은과달리리덕션포텐셜에너지 (Reduction Potential Energy) 가낮기때문에쉽게환원이잘되는특징을가지고있다. 이것을이용하기위해서환원제로알콜계열의수산기를갖고있는액체물질과혼합한후레이저를조사하면순간적으로도 1의반응처럼구리가환원되어최종적으로산화구리나노와이어가순수한구리나노와이어로바뀌게된다. [0037] 산화구리가레이저를흡수하여역기와동시에열에너지의발생으로온도가증가하고, 동시에산화구리나노와이어주위의환원제온도를증가시켜서탈수반응을유도하여아세트알데히드가생성된다. 생성된아세트알데히드와산화구리나노와이어가반응하여구리나노와이어, 디아세틸, 물이형성된다. 상술한환원반응은폴리올과정 (Polyol process) 이라고한다. [0038] [0039] ( 환원된구리나노와이어제조방법 ) 먼저, 구리나노와이어합성에대해서설명하기로한다. 나노와이어합성은기본적으로가열용기안에서한번에합성할수있는원-스팟 (One-Spot) 방식을사용하는것이바람직하다. 우선합성을시작하기전에 500ml 삼각플라스크와 20ml 유리병을준비한다. [0040] 20ml 유리병에 10ml 증류수 (DI water) 를담는다. 그리고 Cu(NO 3 ) 2 0.1M 용액을만든다. 만든용액을믹서를이 용해섞어주고용액이안정화될때까지상온에서대략 15 분정도놓아둔다. [0041] 준비된 500ml 삼각플라스크에 80ml 증류수를담고수산화나트륨 (NaOH) 을약 3.5 ~ 15M 농도로맞추어넣는다. 수 산화나트륨이들어있는삼각플라스크를스터 - 바를이용하여골고루섞어준다. 여기서발열반응이생기므로용액 - 7 -

이변질되지않게주변온도를조절한다. 골고루섞인수산화나트륨용액에에틸렌디아민 (ethylenediamine)(ed A) 을약 0.05 ~ 2.0ml( 대략 99 중량 %) 넣고스터 - 바를이용하여잘섞어준다. [0042] 에틸렌디아민이골고루섞인플라스크에유리병에만들어놓은 Cu(NO 3 ) 2 0.1M 용액 4ml 를삼각플라스크에넣어준 다. 이때, 용액의색깔이푸른색으로변화되는것을관찰하는것이바람직하다. 용액이골고루섞이게 10분정도기다린후히드라진 (hydrazine) 약 0.02 ~ 1.0ml( 대략 35 중량 %) 를넣어준다. 이용액을넣는순간플라스크안용액의색깔이뿌옇게변화하기시작한다. 이순간스터-바를빼내고 60 ~ 80 오일배스 (Oil Bath) 에삼각플라스크를넣고, 40 ~ 60분후에꺼낸다. 합성된구리나노와이어를센트리퓨즈 (Centrifuse) 를이용하여반응하지않고남은물질들을제거한다. 물과에탄올을이용하여 4 ~ 5번 4000rpm에서클리닝한다. [0043] 다음으로, 제조된구리나노와이어 (10) 를산화시킨다. 이때구리나노와이어는상온의공기중에산화시킬수도있고또는극성용매 ( 일예로물, 알콜계수용액등 ) 를넣어서산화속도를빠르게할수도있다. 도 2는극성용매인물에구리나노와이어 (10) 를넣어산화시킴으로써산화구리나노와이어 (20) 를생성하는과정을나타낸도면이다. [0044] 도 2 의 (a) 는구리나노와이어 (10) 가용매인물에혼합되어있는것을나타내며, 도 2 의 (b) 및 (c) 는시간에 따라구리나노와이어가산화되는것을나타낸다. 도 2 의 (d) 는약 100 시간후산화된구리나노와이어를흔들 어서분산시켜산화구리나노와이어 (20) 를생성하는것을나타낸도면이다. [0045] 다음으로, 산화구리나노와이어를증착시킨다. 이때일반적인나노파티클은스핀코팅이획일적으로이루어지지않아증착단계를수행하는것이바람직하다. 산화구리나노와이어의증착은도 3에도시된바와같이물과혼합된산화구리나노와이어를진공흡입함으로써폴리머필터 (31) 및다공성멤브레인 (33) 에의해박막형식으로증착된다. 이때폴리머필터 (31) 는수nm ~ 수μm구멍사이즈 (Pore Size) 를가지며, 다공성멤브레인 (33) 은일반적으로다공성글래스를사용한다. [0046] 여기서, 도 3 에도시된바와같이물과혼합된산화구리나노와이어하부에폴리머필터 (31) 가위치하고, 폴리 머필터 (31) 하부면에다공성멤브레인 (33) 이위치한다. 다공성멤브레인하부에서진공흡입함으로써폴리머필 터 (31) 위에증착된산화구리나노와이어 (35) 가필터링된다. [0047] 다음으로, 도 4에도시된바와같이증착된산화구리나노와이어 (35) 를글래스 (43) 위에올리고약간의힘을가함으로써전사된산화구리나노와이어 (41) 를생성한다. 전사된산화구리나노와이어 (41) 를약 60 의오븐 (45) 에넣고약 5분간의드라이과정을거친다. 그후폴리머필터 (31) 를제거한다. 드라이과정시열을가하는방법은가열플레이트, 가열롤등열을가할수있는방식을사용할수있다. [0048] 다음으로, 도 5 에도시된바와같이폴리머필터 (31) 가제거된산화구리나노와이어 (41) 상층에도 6 과같이 환원제를코팅하여성층한다. 이때사용되는환원제는수산기를가지는알콜로서바람직하게는에틸렌글리콜이 고, 코팅은박막형성이용이한스핀코팅, 슬릿다이, 스프레이, 또는롤코팅을이용하여박막코팅한다. [0049] 여기서, 슬릿다이코팅은일정한폭과갭을유지하고있는슬릿다이가기판위를일정한간격으로움직이면서 코팅액을균일하게도포하는장치로서슬롯다이보다대면적코팅에유리하고다양한코팅두께의조절이가능 하다. [0050] 한편, 도포된환원제및산화구리나노와이어에도 7 에도시된바와같이레이저를조사하면화학적변화에의 - 8 -

해산화구리나노와이어가구리나노와이어로환원된다. 이때화학적변환과정 ( 폴이올과정 ) 은도 1에도시된바와같이산화구리가레이저를흡수하여역기와동시에열에너지의발생으로온도가증가하고, 동시에산화구리나노와이어주위의환원제온도를증가시켜서탈수반응을유도하여아세트알데히드가생성된다. 생성된아세트알데히드와산화구리나노와이어가반응하여구리나노와이어, 디아세틸, 물이형성된다. [0051] 도 8에도시된바와같이, 레이저에의해조사된산화구리나노와이어는소결및환원된구리나노와이어 (61) 로되고, 레이저에의해조사되지아니한산화구리나노와이어 (63) 는소결및환원되지않는다. 도 9는레이저조사전의산화구리나노와이어와레이저조사후의산화구리나노와이어를확대한도면이다. 도 9에도시된바와같이, 사선좌측은레이저에의해조사되지아니한부분이고, 사선우측은레이저에의해조사된부분이다. 레이저에의해조사되지아니한부분은산화층이보이고, 와이어끼리결합이잘되지않아전기적연결성이저하됨을알수있다. 그러나레이저에의해조사된우측은산화층이구리로완전히환원되어거친산화층이보이지않고, 와이어끼리도잘결합되어있음을알수있다. [0052] 도 10에도시된바와같이, 레이저를산화구리나노와이어의기결정된영역에선택적으로조사함으로써원하는패턴을형성할수있다. 이때레이저가조사되지아니한영역은물에담그거나또는스프레이 (71) 에의해고압분사하여제거한다. 세척제로물을사용하기때문에친환경적이고세척중에물질의화학적 / 물리적변형이발생하지않기때문에세척된산화구리나노입자를회수하여재사용할수있어재료비를절감할수있다. [0053] 상술한본발명의일실시예에따른공정은 PI, PET 등의여러플렉서블한폴리머계열의기판위에서도공정이가능하고, 와이어끼리의연결성이좋기때문에인장가능한기판에도적용가능하다. 그리고본발명의일실시예를설명함에있어서구리를예로들어설명하였으나앞서설명한바와같이대기중산화가잘되는알루미늄등을이용할수도있다. 이때알루미늄을와이어형태또는파티클형태로제작한후강제적으로산화가잘되는조건에노출하여 Al 2 O 3 로변환시킨후환원제를도포하고레이저를조사하여알루미늄와이어패턴을제작할수 있다. [0054] 이상, 본발명의일실시예를참조하여설명했지만, 본발명이이것에한정되지는않으며, 다양한변형및응용 이가능하다. 즉, 본발명의요지를일탈하지않는범위에서많은변형이가능한것을당업자는용이하게이해 할수있을것이다. [0055] 부호의설명 10 : 구리나노와이어 20 : 산화구리나노와이어 31 : 폴리머필터 33 : 다공성멤브레인 35 : 증착된산화구리나노와이어 41 : 전사된산화구리나노와이어 43 : 글래스 45 : 오븐 51 : 환원제 53 : 레이저 61 : 환원된구리나노와이어 63 : 산화구리나노와이어 - 9 -

71 : 스프레이 도면 도면 1 도면 2 도면 3-10 -

도면 4 도면 5 도면 6 도면 7 도면 8-11 -

도면 9 도면 10 도면 11-12 -

도면 12 심사관직권보정사항 직권보정 1 보정항목 청구범위 보정세부항목 청구항제1항 변경전 상기환원제를 변경후 환원제를 - 13 -