(72) 발명자 이영일 경기안양시동안구비산동은하수청구아파트 107 동 405 호 전병호 서울금천구독산 3 동

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강하 공
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1 (51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) B82B 3/00 ( ) C01G 3/00 ( ) B22F 9/24 ( ) (21) 출원번호 (22) 출원일자 2006 년 10 월 10 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 KR A US A1 EP A 년 10 월 10 일 (45) 공고일자 2008년03월18일 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2008년03월11일 (73) 특허권자 삼성전기주식회사 경기도수원시영통구매탄동 314 (72) 발명자 이귀종 경기수원시영통구영통동황골마을 2 단지아파트쌍용아파트 249 동 204 호 정재우 경기수원시영통구영통동청명마을 3 단지아파트 ( 뒷면에계속 ) (74) 대리인 이경란 전체청구항수 : 총 11 항심사관 : 이영완 (54) 구리나노입자의제조방법및그에의해제조된구리나노입자 (57) 요약 본발명은구리나노입자제조방법및이에의해제조된구리나노입자에관한것으로, 보다상세하게는 (a) CuCl 2, Cu(NO 3 ) 2, CuSO 4, (CH 3 COO) 2 Cu 및아세틸로아세트산구리 (copper acetyloacetate, Cu(acac)2) 로이루어진 군으로부터선택되는적어도하나의구리염을지방산에넣고해리시켜혼합물을형성하는단계 ; 및 (b) 상기혼합물을가열하면서반응시키는단계 ; 를포함하는구리나노입자의제조방법및그구리나노입자에관한것이다. 별도의전구체물질을설계함이없이일반적인구리염을구리전구체물질로사용하여비수계시스템에서구리나노입자를고농도로균일하게합성할수있으며, 친환경적이고, 대량생산에적합하다. 대표도 - 도 1-1 -

2 (72) 발명자 이영일 경기안양시동안구비산동은하수청구아파트 107 동 405 호 전병호 서울금천구독산 3 동

3 특허청구의범위청구항 1 (a) CuCl 2, Cu(NO 3 ) 2, CuSO 4, (CH 3 COO) 2 Cu 및아세틸로아세트산구리 (copper acetyloacetate, Cu(acac)2) 로이루어진군으로부터선택되는적어도하나의구리염및탄소수 3 내지 18의 1차알리파틱아민을지방산에넣고혼합물을형성하는단계 ; 및 (b) 상기혼합물을 150 내지 300 로가열하면서반응시키는단계 ; 를포함하는구리나노입자의제조방법. 청구항 2 상기지방산은포화지방산계열 (C n H 2n O 2 ), 올레산계열 (C n H 2n-2 O 2 ), 리놀레산계열 (C n H 2n-4 O 2 ), 리놀렌산계열 (C n H 2n- 6O 2 ) 및고도불포화산계열 (C n H 2n-8 O 2, C n H 2n-10 O 2, C n H 2n-12 O 2 ) 로이루어진군 ( 단, 상기식들에서 n은 10 내지 18의정수이다 ) 으로부터선택되는구리나노입자의제조방법. 청구항 3 제 2항에있어서, 상기지방산은도데카노익에시드 (C 11 H 23 COOH), 올레익에시드 (C 17 H 33 COOH), 헥사데카노익에시드 (C 15 H 33 COOH) 및테트라데카노익에시드 (C 13 H 27 COOH) 로이루어진군으로부터선택되는적어도하나인구리나노입자의제조방법. 청구항 4 상기지방산은구리염에대하여 2 내지 10몰비로혼합되는구리나노입자의제조방법. 청구항 5 상기 1차알리파틱아민은올레일아민또는부틸아민인구리나노입자의제조방법. 청구항 6 상기 1차알리파틱아민은구리염에대하여 1 내지 10몰비로가해지는구리나노입자의제조방법. 청구항 7 상기 (a) 단계는혼합물형성시톨루엔, 크실렌, 클로로포름, 디클로로메탄, 헥산, 테트라데칸및옥타데센으로이루어진군으로부터선택되는적어도하나의비극성용매를더가하는것을특징으로하는구리나노입자의제조방법. 청구항 8 제 7항에있어서, 상기비극성용매는구리염 100중량부에대하여 200 내지 1000 중량부로가해지는구리나노입자의제조방법. 청구항 9-3 -

4 상기 (b) 단계다음에, (c) 상기혼합물에 NaBH 4, LiBH 4, KBH 4, 테트라부틸암모늄보로하이드라이드 (tetrabutylammonium borohydride), N 2 H 4, PhHNNH 2, 암모니아보레인배위체 (NH3-BH3), 트리메틸암모니아보레인배위체 ((CH3)3N-BH3), 포름산및소듐하이드로포스페이트 (NaHPO2) 로이루어진군으로부터선택되는적어도하나의환원제를가하는단계 ; 및 (d) 상기혼합물을 50 내지 150 로가열하여반응시키는단계 ; 를더포함하는구리나노입자의제조방법. 청구항 10 제 9항에있어서, 상기환원제는구리염에대하여 1 내지 6몰비로가해지는구리나노입자의제조방법. 청구항 11 상기제조된구리나노입자는입자크기가 5 내지 40nm인구리나노입자의제조방법. 청구항 12 삭제청구항 13 삭제청구항 14 삭제청구항 15 삭제청구항 16 삭제청구항 17 삭제청구항 18 삭제 명세서 발명의상세한설명 발명의목적 <4> 발명이속하는기술및그분야의종래기술본발명은구리나노입자의제조방법및그에의해제조된구리나노입자에관한것으로, 보다상세하게는별도의전구체물질을설계함이없이일반적인구리염을구리전구체물질로사용하여비수계시스템에서구리나노입자를고농도로균일하게합성할수있으며, 친환경적이고, 대량생산에적합한구리나노입자의제조방법및그구리나노입자에관한것이다

5 <5> <6> <7> <8> <9> <10> 잉크젯을통한비접촉식직접인쇄 (noncontact direct writing technology) 는정확한위치에정량의잉크를토출할수있기때문에재료비절감뿐만아니라제조시간을단축할수있다는장점을갖고있다. 이러한잉크젯의산업적응용을위해서는그에맞는잉크가개발되어야하며, 현재금속배선을위한금속잉크는은나노잉크외에는전무한형편이다. 은나노잉크의주성분인은나노입자의경우, 화학적안정성이우수할뿐만아니라전기전도도 (electrical conductance) 가우수한것으로알려져있어금속배선재료용잉크재료로주목을받고있다. 또한, 은나노입자를포함하는귀금속 (noble metal) 류나노입자들은다른금속나노입자에비해합성이용이할뿐만아니라, 많은합성법들이알려져있어산업적응용가능성이높아지고있다. 그러나, 이와같은장점에도불구하고은은원자마이그레이션 (atomic migration) 또는이온마이그레이션 (ion migration or electrochemical migration) 이쉽게발생하는것으로알려져있다. 이러한이온마이그레이션현상은사용온도 (T), 습도 (H), 전기장의세기 (E) 등의영향을받으며, 일반적으로고온고습분위기에서발생하여배선간의단락을유도하여고장률을증가시키는것으로알려져있다. 또한미세배선화에의해배선간의전기장의세기가증가하게됨으로써, 이온마이그레이션문제의발생가능성이높아지고있다. 실험적으로이온마이그레이션경향도는 Ag + > Pb 2+ > Cu 2+ > Sn 2+ > Au + 순이다. 이온마이그레이션측면에서, 금이가장좋은대안이될수있지만가격이매우높고, 전기전도도및가격측면에서고려하면구리가좋은대안이될수있을것이다. 현재전자부품의배선은벌크구리로형성되어있다. 따라서, 구리나노잉크가개발된다면종래의은나노잉크가갖고있었던이온마이그레이션문제를해결할수있는좋은재료가될것이다. 종래의구리나노입자의합성법은주로수십 nm 이상의입자합성과관련된다. 이러한합성법들은주로열기상 (thermal evaporation) 이나열플라즈마 (thermal plasma) 와같은고온기상법을이용하는데, 이러한합성법들은구리나기타다른금속들을쉽게합성할수있다는장점이있지만, 합성된구리입자표면을유기분산제로처리할수없어재분산및분산안정성이매우낮아나노잉크로사용될수없다는문제가있다. 또한고온기상법은수십 nm 이상의입자합성만가능할뿐만아니라, 입자크기분포가매우넓다는단점도갖고있다. 최근에는용액합성법을통한구리나노입자합성법이제시되고있다. 수계용의경우, 미셀 (micelle) 을이용하는방법또는 PVP를이용하는것들이여기에포함된다. 그러나, 미셀의경우배치 (batch) 당사용할수있는구리전구체의농도가낮아대량합성으로갈수없다는단점이있다. 수십 nm 이하의크기를갖는구리나노입자를만드는방법으로는 O'Brien 그룹이제시한금속아세테이트의열분해 (thermal decomposition of metal acetate, TDMA) 방식이유명하다. 이방식은 Mn(CH 3 CO 2 ) 2, Cu(CH 3 CO 2 ) 와 같은금속아세테이트를올레산상에서열분해하는방식으로, 올레산은용매및캐핑분자의역할을동시에수행한다. 구리나노입자의경우, 트리옥틸아민을동시에사용하여합성한예를 J. Am. Chem. Soc. 2005에발표한예가있다. 또한, Hyeon 그룹은 Chem. Comm. 2004에아세틸로아세트산구리 (copper acetyloacetate, Cu(acac)2) 를올레일아민상에서열분해하여구리입자를합성한예를발표하였다. 이방법들모두용액상에고온열분해를이용한예에해당한다. <11> <12> 최근에는, 화학기상증착 (CVD) 전구체설계기술을이용하여구리전구체를설계한후, 열분해하여구리나노입자를합성하는기술이개시된바있다 ( 한국공개특허제 호 ). 이는 200 이하의저온열분해를통해구리나노입자를만들수있다는장점이있는반면, 새로운전구체설계가필요할뿐만아니라고가라는문제점을갖고있다. 이와같이, 종래의고온기상법의경우는수십 nm 크기를갖는입자합성에유리하지만, 분산성있는입자를만들수없고, 고가의진공설비를요구한다는단점이있다. 또한, 종래의액상합성법역시고온프로세스를거치면서에너지소비가높으며대량합성에적합하지않다. 또한 CVD계전구체를사용하는경우, 상용품인금속염을사용하지못할뿐만아니라고가의전구체를사용하게됨으로써양산성에큰문제가있다. <13> <14> 발명이이루고자하는기술적과제본발명은상술한종래기술의문제점을해결하기위한것으로, 본발명의하나의목적은별도의전구체물질을설계함이없이비수계시스템에서구리나노입자를고농도로균일하게합성할수있는구리나노입자의제조방법을제공하는것이다. 본발명의다른목적은상기제조방법에의하여제조되는구리나노입자를제공하는것이다

6 <15> <16> 발명의구성및작용 본발명은상기기술적과본발명의일측면에서는, (a) CuCl 2, Cu(NO 3 ) 2, CuSO 4, (CH 3 COO) 2 Cu 및아세틸로아세트산구리 (copper acetyloacetate, Cu(acac)2) 로이루 어진군으로부터선택되는적어도하나의구리염을지방산에넣고해리시켜혼합물을형성하는단계 ; 및 <17> <18> <19> (b) 상기혼합물을가열하면서반응시키는단계 ; 를포함하는구리나노입자의제조방법을제공한다. 본발명의일실시예에따르면, 상기지방산은포화지방산계열 (C n H 2n O 2 ), 올레산계열 (C n H 2n-2 O 2 ), 리놀레산계열 (C n H 2n-4 O 2 ), 리놀렌산계열 (C n H 2n-6 O 2 ) 및고도불포화산계열 (C n H 2n-8 O 2, C n H 2n-10 O 2, C n H 2n-12 O 2 ) 로이루어진군 ( 단, 상 기식들에서 n 은 10 내지 18 의정수이다 ) 으로부터선택될수있다. <20> 구체적인예를들면, 상기지방산은도데카노익에시드 (C 11 H 23 COOH), 올레익에시드 (C 17 H 33 COOH), 헥사데카노익에 시드 (C 15 H 33 COOH) 및테트라데카노익에시드 (C 13 H 27 COOH) 로이루어진군으로부터선택되는적어도하나일수있다. <21> <22> <23> <24> <25> <26> 여기서, 상기지방산은구리염에대하여 2 내지 10몰비로혼합되는것이바람직하다. 본발명의일실시예에따르면, 상기 (a) 단계는혼합물형성시탄소수 3 내지 18의 1차알리파틱아민 (aliphatic amine) 을더가하여혼합물을형성할수있다. 바람직하게는올레일아민또는부틸아민을사용할수있다. 상기 1차알리파틱아민은구리염에대하여 1 내지 10몰비로가하는것이바람직하다. 본발명의일실시예에따르면, 상기 (a) 단계는혼합물형성시톨루엔, 크실렌, 클로로포름, 디클로로메탄, 헥산, 테트라데칸및옥타데센으로이루어진군으로부터선택되는적어도하나의비극성용매를더가할수있다. 상기비극성용매는구리염 100중량부에대하여 200 내지 1000 중량부로가하는것이바람직하다. 본발명의일실시예에따르면, 상기 (b) 단계의가열반응시온도는 50 내지 300 인것이바람직하다. 환원제를가하지않고열환원을시킬경우 150 내지 300 로가열반응시키는것이바람직하다. 본발명의일실시예에따르면, 상기 (b) 단계다음에, (c) 상기혼합물에 NaBH 4, LiBH 4, KBH 4, 테트라부틸암모늄보로하이드라이드 (tetrabutylammonium borohydride), N 2 H 4, PhHNNH 2, 암모니아보레인배위체 (NH3-BH3), 트리메틸암모니아보레인배위체 ((CH3)3N-BH3), 포름산및소 듐하이드로포스페이트 (NaHPO2) 로이루어진군으로부터선택되는적어도하나의환원제를가하는단계 ; 및 <27> <28> <29> <30> <31> <32> <33> <34> <35> <36> <37> (d) 상기혼합물을가열하여반응시키는단계 ; 를더포함할수있다. 본발명의일실시예에따르면, 환원제를가하기전 (b) 단계에서의가열반응시온도는 50 내지 110 인것이바람직하다. 상기환원제는구리염에대하여 1 내지 6몰비로가해지는것이바람직하다. 본발명의일실시예에따르면, 상기 (d) 단계에서의가열반응시온도는 50 내지 150 인것이바람직하다. 본발명에따른제조방법에의하면, 입자크기가 5 내지 40nm인구리나노입자를제조할수있다. 본발명의다른측면에서는, 상기제조방법에의하여제조되어, 입자표면에캐핑분자로서지방산을포함하는구리나노입자를제공한다. 여기서, 상기지방산은전체중량중 5 내지 40중량 % 를차지한다. 이하, 본발명에따른구리나노입자의제조방법에대하여보다상세하게설명하기로한다. 본발명은별도의전구체물질을설계함이없이구리나노입자를제조하기위한것으로, 일반적인구리염을구리전구체물질로사용하여비수계시스템에서구리나노입자를고농도로균일하게합성하고자한것이다. 본발명의일측면에따른구리나노입자제조방법은, (a) CuCl 2, Cu(NO 3 ) 2, CuSO 4, (CH 3 COO) 2 Cu 및아세틸로아세트산구리 (copper acetyloacetate, Cu(acac)2) 로이루 - 6 -

7 어진군으로부터선택되는적어도하나의구리염을지방산에넣고해리시켜혼합물을형성하는단계 ; 및 <38> <39> (b) 상기혼합물을가열하면서반응시키는단계 ; 를포함한다. 본발명에서사용하는구리전구체물질로는 CuCl 2, Cu(NO 3 ) 2, CuSO 4, (CH 3 COO) 2 Cu, Cu(acac) 2 등과같이일반적 인상용품으로판매되는것을사용할수있다. <40> 본발명에사용되는지방산은분산안정화제또는캐핑분자 (capping molecule) 로작용하는성분으로서, 상기지 방산에의하여최종적으로생성되는구리나노입자의크기를결정하고분산안정성을확보할수있다. 상기지 방산으로는포화지방산계열 (C n H 2n O 2 ), 올레산계열 (C n H 2n-2 O 2 ), 리놀레산계열 (C n H 2n-4 O 2 ), 리놀렌산계열 (C n H 2n-6 O 2 ) 또는고도불포화산계열 (C n H 2n-8 O 2, C n H 2n-10 O 2, C n H 2n-12 O 2 ) 등의화합물을사용할수있다. 단, 상기식들에서 n은 10 내지 18의정수이다. 구체적으로예를들면, 상기지방산은도데카노익에시드 (C 11 H 23 COOH), 올레익에시드 (C 17 H 33 COOH), 헥사데카노익에시드 (C 15 H 33 COOH) 및테트라데카노익에시드 (C 13 H 27 COOH) 로이루어진군으로부터선택되는적어도하나일수있으며, 이에한정되는것은아니다. <41> <42> <43> <44> <45> <46> <47> <48> <49> <50> 구리염을지방산에넣고해리시키는데있어서, 상기지방산은구리염에대하여 2 내지 10몰비로혼합되는것이바람직하다. 지방산의함량이 2몰비미만이면구리염을완벽하게해리시키지못하여바람직하지못하고, 함량이 10몰비를초과하면생산성이감소하여바람직하지못하다. 본발명의일실시예에따르면, 상기 (a) 단계에서구리염의해리를위하여부가적으로아민류화합물을더첨가할수있다. 혼합물형성시더첨가할수있는부가적인아민류화합물로는탄소수 3 내지 18의 1차알리파틱아민을사용할수있다. 바람직한실시예에서는올레일아민을사용하였으나, 이에한정되는것은아니다. 상기 1차알리파틱아민은구리염에대하여 1 내지 10몰비로가하는것이바람직하다. 1차알리파틱아민의함량이 1몰비미만이면효과적으로구리염을해리시키지못하므로바람직하지않고, 함량이 10몰비를초과하면나중에분리되지아니하고캐핑분자와함께이물질로남게될우려가있다. 이와같은아민류화합물은구리염을유기상에서해리시키는역할뿐만아니라, 반응속도를제어하는역할도수행한다. 또한, 본발명의일실시예에따르면, 상기 (a) 단계에서구리염을다른유기용매의사용없이직접지방산에해리시켜혼합하였으나, 안정적인반응을위하여필요에따라비극성용매를더사용하여혼합할수도있다. 상기비극성용매로는톨루엔, 크실렌, 클로로포름, 디클로로메탄, 헥산, 테트라데칸및옥타데센등의용매를단독또는 2이상을혼합하여더가할수있다. 상기비극성용매는구리염 100중량부에대하여 200 내지 1000중량부로가하는것이바람직하다. 비극성용매의함량이 200 중량부미만이면안정적반응의효과를얻을수없고, 함량이 1000 중량부를초과하면생산성측면에서바람직하지못하다. 이와같이구리염을지방산에넣고해리시킨혼합물은전형적인녹색계열의색깔을나타낸다. 구리염이해리된혼합물을준비하고나면, 다음단계로상기혼합물을가열하고반응시킨다. 본발명에있어서, 상기반응온도및반응시간은얻고자하는반응조건, 나노입자의산화상태및원하는입자크기등에따라서적절하게조절할수있다. 바람직하게는상기혼합물의가열반응시온도는 50 내지 300 인것이좋다. 가열반응시온도가 50 미만이면, 구리이온의환원이제대로진행되지않을수있고, 온도가 300 를초과하면사용할있는지방산종류에제한이있어바람직하지못하다. 다만반응온도가낮을경우에는반응시간이지나치게길어질수있으므로, 후술하는바와같이환원제를사용하지않는다면, 고온에서열환원시키는것이바람직하다. 즉, 상기온도범위내에서반응온도를보다높은범위, 바람직하게는 150 내지 300 범위에서고열반응시키는것이바람직하다. 한편, 가열반응시온도가 150 미만에서는효과적으로반응시간을줄일수없다. 본발명에따른구리나노입자의제조방법은구리이온의환원을용이하게하기위하여환원제를더가하여반응시킬수있다. 환원제를사용하여반응을진행시킬경우보다낮은온도범위에서도짧은시간에구리이온이환원될수있다. 본발명의일실시예에따르면, 상기 (b) 단계다음에, (c) 상기혼합물에 NaBH 4, LiBH 4, KBH 4, 테트라부틸암모늄보로하이드라이드 (tetrabutylammonium borohydride), - 7 -

8 N 2 H 4, PhHNNH 2, 암모니아보레인배위체 (NH3-BH3), 트리메틸암모니아보레인배위체 ((CH3)3N-BH3), 포름산및소 듐하이드로포스페이트 (NaHPO2) 로이루어진군으로부터선택되는적어도하나의환원제를가하는단계 ; 및 <51> <52> <53> (d) 상기혼합물을가열하여반응시키는단계 ; 를더포함할수있다. 이와같이환원제를더투입할경우에는, 환원제를가하기전 (b) 단계에서의가열반응은보다낮은온도범위, 구체적으로는 50 내지 110 에서마일드하게교반하여구리염을해리시키는정도로반응을진행시키는것이바람직하다. 본발명에서사용가능한환원제로는보로하이드라진계, 보레인계, 히드라진계, 포름산, 소듐하이드로포스페이트등을사용할수있다. 구체적으로는, NaBH 4, LiBH 4, KBH 4, 테트라부틸암모늄보로하이드라이드 (tetrabutylammonium borohydride), N 2 H 4, PhHNNH 2, 암모니아보레인배위체 (NH3-BH3), 트리메틸암모니아보레 인배위체 ((CH3)3N-BH3), 포름산및소듐하이드로포스페이트 (NaHPO2) 로이루어진군으로부터선택되는적어도 하나를사용할수있으며, 이에한정되는것은아니다. <54> <55> <56> <57> <58> <59> <60> <61> 구리염이해리된혼합물이준비되면, 상기환원제를혼합물에투입하고가열반응시킨다. 상기환원제의함량은구리염에대하여 1 내지 6몰비인것이바람직하다. 환원제의함량이 1몰비미만이면환원력이약하여원하는효과를기대하기어렵고, 함량이 6몰비를초과하면반응이폭발적으로일어나반응제어가곤란하여바람직하지못하다. 환원제의함량은얻고자하는구리나노입자의산화상태및반응온도, 반응시간을고려하여결정한다. 상기 (d) 단계에서의가열반응시온도는 50 내지 150 인것이바람직하다. 환원제사용시반응온도가 50 미만이면반응시간을단축시키기어렵고, 150 를초과하면반응을제어하기곤란해진다. 상기혼합용액내의구리이온이환원되면서착색이되기시작하고, 최종상태인갈색혹은검붉은색의용액이되면반응을종료시킨다. 제조된구리나노입자는일반적인여과, 세척및건조과정을통하여분말상태로수득할수있는데, 예를들면메탄올, 아세톤또는메탄올 / 아세톤의혼합물을투입한후원심분리를통하여수집할수있다. 본발명에따르면, 입자크기가 5 내지 40nm인구리나노입자를제조할수있다. 본발명의다른측면에따른구리나노입자는상기제조방법에의하여제조되어, 입자표면에캐핑분자로서지방산을포함할수있으며, 상기지방산은전체중량중 5 내지 40중량 % 를차지한다. 이하, 본발명을하기실시예를들어예시하기로하되, 본발명의보호범위가하기실시예로만한정되는것은아니다. < 실시예 1> Cu(NO 3 ) mol을올레산 2 mol에넣은후, 해리시키기위해부틸아민 1 mol을추가투입하여용액의색깔이 투명한녹색계열로변한것을확인하였다. 상기용액을 200 로가열하면서, 계속적으로교반하면서반응을진행하였다. 이때환원반응이진행되면서용액의색깔은갈색으로변하면서, 유리반응기벽면에구리금속빛깔이나타났다. 2시간동안반응시킨뒤, 극성용매인아세톤및메탄올의혼합물을사용하여재침전시켰다. 원심분리기를이용하여구리나노입자를회수하였다. <62> <63> < 실시예 2> Cu(CH 3 CO 2 ) mol 을올레산 1 mol 및자일렌 300 g 에투입한후, 교반하면서온도를 90 로가열하였다. 용 액의색깔이투명한녹색계열로변하였다. 올레일아민 1 mol 을투입하여추가교반한뒤, 포름산 acid 1 mol 을 투입하였다. 온도를 130 로가열하면, 환원반응이진행되면서용액의색깔은갈색으로변하고유리반응기벽 면에구리금속빛깔이나타났다. <64> <65> 상기실시예 1에서제조한구리나노입자의 PXRD(Powder X-ray Diffraction) 결과를도 1에나타내었다. 도 1 을참조하면, Scherrer-Debye 공식으로부터입자의크기가 30 nm 정도인구리나노입자를형성됨을확인할수있었다. 상기실시예 2에서제조한구리나노입자의 PXRD(Powder X-ray Diffraction) 결과는도 2에나타내었고, TEM 사진은도 3에나타내었다. 도 2를참조하면, Scherrer-Debye 공식으로부터입자의크기가 10 nm 정도인구리나노입자를형성됨을확인할수있었다. 이는도 3의 TEM 사진분석결과로도확인할수있다

9 <66> 본발명은상기실시예에한정되지않으며, 많은변형이본발명의사상내에서당분야에서통상의지식을가 진자에의하여가능함은물론이다. <67> 발명의효과상술한바와같이본발명에따른구리나노입자의제조방법은별도의전구체물질을설계함이없이일반적인구리염을구리전구체물질로사용하여비수계시스템에서구리나노입자를고농도로균일하게합성할수있으며, 친환경적이고, 대량생산에적합하다. <1> <2> <3> 도면의간단한설명도 1은본발명의실시예 1에서제조한구리나노입자의 PXRD(Powder X-ray Diffraction) 결과이고, 도 2는본발명의실시예 2에서제조한구리나노입자의 PXRD 결과이고, 도 3은본발명의실시예 2에서제조한구리나노입자의 TEM 사진이다. 도면 도면 1-9 -

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특허청구의 범위 청구항 1 복수개의 프리캐스트 콘크리트 부재(1)를 서로 결합하여 연속화시키는 구조로서, 삽입공이 형성되어 있고 상기 삽입공 내면에는 나사부가 형성되어 있는 너트형 고정부재(10)가, 상기 프리캐스 트 콘크리트 부재(1) 내에 내장되도록 배치되는 내부

특허청구의 범위 청구항 1 복수개의 프리캐스트 콘크리트 부재(1)를 서로 결합하여 연속화시키는 구조로서, 삽입공이 형성되어 있고 상기 삽입공 내면에는 나사부가 형성되어 있는 너트형 고정부재(10)가, 상기 프리캐스 트 콘크리트 부재(1) 내에 내장되도록 배치되는 내부 (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) E01D 19/12 (2006.01) E01D 2/00 (2006.01) E01D 21/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0036938 (22) 출원일자 2011년04월20일 심사청구일자 2011년04월20일 (65) 공개번호 10-2012-0119156