(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 10-2014-0071307 (43) 공개일자 2014년06월11일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65D 81/24 (2006.01) B65D 25/14 (2006.01) B65D 1/40 (2006.01) B32B 27/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2014-0058932( 분할 ) (22) 출원일자 2014 년 05 월 16 일 심사청구일자 2014 년 05 월 16 일 (62) 원출원특허 10-2012-0020243 원출원일자 심사청구일자 전체청구항수 : 총 7 항 2012 년 02 월 28 일 2012 년 02 월 28 일 (71) 출원인 씨제이제일제당 ( 주 ) 서울특별시중구동호로 330 ( 쌍림동 ) 한국과학기술연구원 서울특별시성북구화랑로 14 길 5 ( 하월곡동 ) (72) 발명자 이광렬 서울특별시서초구방배동황실아파트 103 동 202 호 문명운 서울강남구논현로 209, 104 동 305 호 ( 도곡동, 경남아파트 ) ( 뒷면에계속 ) (74) 대리인 (54) 발명의명칭향상된산소차단성을갖는식품용기및그의제조방법 (57) 요약 강신섭, 문용호, 이용우 본발명은플라스틱재질의용기 ; 상기용기의표면상에형성되며, 5nm 내지 30nm 의두께를갖는완충박막 ; 및상기완충박막상에형성되는산소차단박막 ; 을포함하는향상된산소차단성을갖는식품용기및그의제조방법에관한것이다. 본발명에따르면, 표면에너지가낮고다공질인플라스틱재질의용기에플라즈마방식을통하여산소차단박막을깨짐없이증착함으로써, 산소차단성을크게높일수있는식품용기및그의제조방법을제공할수있다. 대표도 - 도 1-1 -
(72) 발명자 김성진 경기도안성시삼죽면신미 1 길 63 송은경 경기도고양시일산서구대화 1 로 21, 104 동 604 호 ( 대화동, 대화마을 GS 자이 1 단지아파트 ) 조경식 서울특별시양천구목동동로 130, 1433 동 402 호 ( 신정동, 신시가지 14 단지아파트 ) 윤태경 서울송파구양산로 8 길 24, 205 동 1202 호 ( 거여동, 거여 2 단지아파트 ) - 2 -
특허청구의범위청구항 1 플라스틱재질의용기 ; 상기용기의표면상에형성되며, 8nm 내지 10nm의두께를갖는완충박막 ; 상기완충박막상에형성되며, 25nm 내지 50nm의두께를갖는산소차단박막 ; 및상기산소차단박막상에형성되는기능성박막 ; 을포함하고, 상기완충박막과상기기능성박막은, 헥사메틸디실록산 (HMDSO) 으로형성되고, 상기용기의표면은, 상기완충박막과의부착력향상을위해, 플라즈마전처리된것을특징으로하는향상된산소차단성을갖는식품용기. 청구항 2 제1항에있어서, 상기용기는, 폴리프로필렌 (PP) 으로형성된것을특징으로하는향상된산소차단성을갖는식품용기. 청구항 3 제1항에있어서, 상기산소차단박막은, 산화실리콘 (silicon oxide) 으로형성된것을특징으로하는향상된산소차단성을갖는식품용기. 청구항 4 (a) 플라스틱재질의용기를준비하는단계 ; (b) 상기용기의표면을산소플라즈마처리하는단계 ; (c) 상기용기의표면상에 8nm 내지 10nm의두께를갖는완충박막을증착형성하는단계 ; (d) 상기완충박막상에 25nm 내지 50nm의두께를갖는산소차단박막을증착형성하는단계 ; 및 (e) 상기산소차단박막상에기능성박막을증착형성하는단계 ; 를포함하고, 상기완충박막과상기기능성박막은, 헥사메틸디실록산 (HMDSO) 으로형성된것을특징으로하는향상된산소차단성을갖는식품용기의제조방법. 청구항 5 제4항에있어서, 상기용기는, 폴리프로필렌 (PP) 으로형성된것을특징으로하는향상된산소차단성을갖는식품용기의제조방법. 청구항 6 제4항에있어서, 상기 (c) 단계와상기 (d) 단계는, 플라즈마화학기상증착법 (Plasma Chemical Vapor Deposition) 을통해진행되는것을특징으로하는향상된산소차단성을갖는식품용기의제조방법. 청구항 7 제4항에있어서, 상기산소차단박막은, 산화실리콘 (silicon oxide) 으로형성된것을특징으로하는향상된산소차단성을갖는식품용기의제조방법. - 3 -
명세서 [0001] 기술분야본발명은식품용기및그의제조방법에관한것으로, 보다상세하게는표면에너지가낮고다공질인플라스틱재질의용기에플라즈마방식을통하여산소차단박막을깨짐없이증착함으로써, 산소차단성을크게높일수있는식품용기및그의제조방법에관한것이다. [0002] [0003] [0004] [0005] [0006] [0007] [0008] [0009] 배경기술상하기쉬운식품들을오래보관하기위하여, 식품용기에산소차단능력을갖게하는것은매우중요한일이다. 플라스틱재질의식품용기는저렴한가격과대량생산의용이성이란큰장점을가지고있으나, 플라스틱특유의특징인다공질구조에의해산소차단성이현격히떨어지는단점을가지고있다. 이를해결하기위해플라즈마방식을이용하여박막을플라스틱식품용기에코팅하는기술이연구되어왔다. 그러나이러한연구의성과는폴리에틸렌테레프탈레이트 (polyethylene terephthalate, PET) 와같은비교적표면에너지 (0.031~0.047 N/m, Accu dyne test) 가높은플라스틱에만국한되어있으며, 폴리프로필렌 (polypropylene, PP) 과같이표면에너지 (0.023~0.038 N/m, Accu dyne test) 가낮은플라스틱에는효과를보지못하고있다. 이러한점은폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET) 보다더다공성인폴리프로필렌 (PP) 의특징에기인한것으로알려져있다. [ 참고문헌 : N. Inagaki, et al., Journal of Applied Polymer Science 78 (2000) 2389-2397.] 결과적으로폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET) 에서는표면위에증착되는박막의두께를증가시킬수록산소차단성이증가되는특징을보이는점에반해, 폴리프로필렌 (PP) 에서는표면위에증착된박막의두께를증가시켜도산소차단성이향상되지않는모습을보여준다. [ 참고문헌 : D.S. Finch, et al., Packaging Technology and Science 9 (1996) 73-85.] 이것은폴리프로필렌 (PP) 의표면에증착된박막이폴리프로필렌 (PP) 의낮은표면에너지와다공질구조에의해폴리프로필렌 (PP) 의표면에잘붙어있지못하여, 벗겨지거나깨지게되는것을의미한다. 이러한이유로인하여, 플라즈마방식에의해박막을폴리프로필렌 (PP) 에코팅하여산소차단성을부가한제품은나올수없었다. 하지만폴리프로필렌 (PP) 는폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET) 등과같은다른플라스틱소재에비해가격경쟁력, 내열성, 환경호르몬에대한안정성과같은장점을가지기에, 향상된산소차단성을구비하여식품용기에응용되었을경우큰경제적가치가예상되는소재이다. 발명의내용 [0010] 해결하려는과제상술한문제점을해결하기위해안출된본발명의목적은표면에너지가낮고다공질인플라스틱재질의용기에플라즈마방식을통하여산소차단박막을깨짐없이증착함으로써, 산소차단성을크게높일수있는식품용기및그의제조방법을제공하기위한것이다. [0011] [0012] [0013] [0014] [0015] 과제의해결수단상기한바와같은목적을달성하기위한본발명의특징에따르면, 본발명의향상된산소차단성을갖는식품용기는, 플라스틱재질의용기, 상기용기의표면상에형성되며, 5nm 내지 30nm의두께를갖는완충박막및상기완충박막상에형성되는산소차단박막을포함한다. 또한, 상기산소차단박막은, 그두께가 25nm 내지 50nm 인것을특징으로한다. 또한, 상기용기의표면은, 상기완충박막과의부착력향상을위해, 플라즈마전처리된것을특징으로한다. 또한, 상기용기는, 폴리프로필렌 (PP) 으로형성된것을특징으로한다. 또한, 상기완충박막은, 헥사메틸디실록산 (HMDSO) 또는실리콘 (Si) 으로형성된것을특징으로한다. - 4 -
[0016] [0017] [0018] [0019] [0020] [0021] [0022] [0023] [0024] [0025] [0026] 또한, 상기산소차단박막은, 산화실리콘 (silicon oxide) 으로형성된것을특징으로한다. 또한, 상기산소차단박막상에형성되는기능성박막을더포함한다. 또한, 상기기능성박막은, 헥사메틸디실록산 (HMDSO) 또는 F-DLC(Fluorine incorporated Diamond Like Carbon) 으로형성된것을특징으로한다. 본발명의향상된산소차단성을갖는식품용기의제조방법은, (a) 플라스틱재질의용기를준비하는단계, (b) 상기용기의표면을산소플라즈마처리하는단계, (c) 상기용기의표면상에 5nm 내지 30nm의두께를갖는완충박막을증착형성하는단계및 (d) 상기완충박막상에산소차단박막을증착형성하는단계를포함한다. 또한, 상기산소차단박막은, 그두께가 25nm 내지 50nm 인것을특징으로한다. 또한, 상기용기는, 폴리프로필렌 (PP) 으로형성된것을특징으로한다. 또한, 상기 (c) 단계와상기 (d) 단계는, 플라즈마화학기상증착법 (Plasma Chemical Vapor Deposition) 을통해진행되는것을특징으로한다. 또한, 상기완충박막은, 헥사메틸디실록산 (HMDSO) 또는실리콘 (Si) 으로형성된것을특징으로한다. 또한, 상기산소차단박막은, 산화실리콘 (silicon oxide) 으로형성된것을특징으로한다. 또한, (e) 상기산소차단박막상에기능성박막을증착형성하는단계를더포함한다. 또한, 상기기능성박막은, 헥사메틸디실록산 (HMDSO) 또는 F-DLC(Fluorine incorporated Diamond Like Carbon) 으로형성된것을특징으로한다. [0027] 발명의효과이상살펴본바와같은본발명에따르면, 표면에너지가낮고다공질인플라스틱재질의용기에플라즈마방식을통하여산소차단박막을깨짐없이증착함으로써, 산소차단성을크게높일수있는식품용기및그의제조방법을제공할수있다. [0028] 도면의간단한설명 도 1 은본발명의제 1 실시예에의한식품용기를나타낸도면이다. 도 2는도 1에도시된식품용기의제조방법을나타낸도면이다. 도 3은플라즈마전처리를수행하지않은시편과플라즈마전처리를수행한시편의산소차단성을비교한그래프이다. 도 4는완충박막과산소차단박막의두께를변화시킴에따라변화하는산소차단성을나타내는그래프이다. 도 5는도 4의실험결과중산소차단박막의두께가 30nm 인경우에대하여, 완충박막의두께를증가시키면서변화하는식품용기의표면형상을주사전자현미경 (SEM) 으로촬영한이미지를나타낸도면이다. 도 6은본발명의제2 실시예에의한식품용기를나타낸도면이다. 도 7은도 6에도시된식품용기의제조방법을나타낸도면이다. [0029] [0030] [0031] 발명을실시하기위한구체적인내용기타실시예들의구체적인사항들은상세한설명및도면들에포함되어있다. 본발명의이점및특징, 그리고그것들을달성하는방법은첨부되는도면과함께상세하게후술되어있는실시예들을참조하면명확해질것이다. 그러나본발명은이하에서개시되는실시예들에한정되는것이아니라서로다른다양한형태로구현될수있으며, 단지본실시예들은본발명의개시가완전하도록하고, 본발명이속하는기술분야에서통상의지식을가진자에게발명의범주를완전하게알려주기위해제공되는것이며, 본발명은청구항의범주에의해정의될뿐이다. 명세서전체에걸쳐동일참조부호는동일구성요소를지칭한다. 이하, 본발명의실시예들및이를설명하기위한도면들을참고하여본발명인향상된산소차단성을갖는식품용기및그의제조방법에대해설명하도록한다. - 5 -
[0032] [0033] [0034] [0035] [0036] [0037] [0038] [0039] [0040] [0041] [0042] [0043] [0044] [0045] [0046] [0047] [0048] [0049] [0050] [0051] 도 1은본발명의제1 실시예에의한식품용기를나타낸도면이다. 도 1을참조하면, 본발명의제1 실시예에의한향상된산소차단성을갖는식품용기 (1, 이하 " 식품용기 " 로지칭함 ) 는용기 (10), 완충박막 (20), 산소차단박막 (30) 을포함한다. 용기 (10) 는내부에식품이담기는소정의수용공간을구비할수있으며, 플라스틱재질로형성된다. 상기용기 (10) 가표면에너지가낮고다공질인폴리프로필렌 (polypropylene, PP) 과같은소재로형성되는것이본발명의취지에부합하는것이나, 폴리프로필렌 (PP) 보다표면에너지가더낮거나다공질인다른플라스틱소재로형성될수도있으며, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (polyethylene terephthalate, PET) 과같은표면에너지가높은플라스틱소재로형성되어도무방하다. 완충박막 (20) 은용기 (10) 의표면 (12) 상에형성되며, 최적의산소차단성을구현하기위해 5nm 내지 30nm의두께를갖는것이바람직하다. 완충박막 (20) 은헥사메틸디실록산 (hexamethyldisiloxane, HMDSO) 로형성되는것이바람직하나, 실리콘 (Si) 으로도형성될수있다. 이때, 완충박막 (20) 이형성되는용기 (10) 의표면 (12) 은완충박막 (20) 과의부착력향상을위하여, 완충박막 (2 0) 의형성전에플라즈마전처리되는것이바람직하다. 산소차단박막 (30) 은상기완충박막 (20) 상에형성되며, 최적의산소차단성을구현하기위해 25nm 내지 50nm의두께를갖는것이바람직하다. 또한, 산소차단박막 (30) 은산화실리콘 (silicon oxide, SiOx) 으로형성되는것이바람직하다. 도 2는도 1에도시된식품용기의제조방법을나타낸도면이다. 도 2를참조하면, 본발명의제1 실시예에의한식품용기 (1) 의제조방법은용기준비단계 (S100), 플라즈마전처리단계 (S200), 완충박막증착단계 (S300), 산소차단박막증착단계 (S400) 를포함한다. 용기준비단계 (S100) 에서는플라스틱재질의용기 (10) 를준비한다. 이때, 용기 (10) 는표면에너지가낮고, 다공질특성이커박막의부착이어려운폴리프로필렌 (PP) 으로형성된것이바람직하다. 플라즈마전처리단계 (S200) 에서는완충박막 (20) 을증착하기이전에용기 (10) 의표면에너지를증가시키기위해, 용기 (10) 의표면 (12) 을산소플라즈마처리한다. 구체적으로플라즈마전처리단계 (S200) 를살펴보면, 먼저폴리프로필렌 (PP) 재질의용기 (10) 를 RF-CVD(Radio Frequency-Chemical Vapor Deposition) 장비 ( 미도시 ) 의챔버내에위치시키고, 펌프등을통하여챔버내진공상태를형성해준다. 그후, 일정한유량으로산소기체를챔버내에유입시키고, RF-power를인가하여플라즈마상태를발생시킴으로써플라즈마전처리공정을수행한다. 플라즈마상태가형성됨에따라챔버내에자체적인전압차이 (self-bias voltage) 가발생하게되고, 이에따라산소입자가에너지를가지고용기 (10) 의표면 (12) 과반응하게된다. 이러한산소와용기표면 (12) 의화학적반응에의해용기 (10) 의표면에너지가상승하게된다. 따라서, 추후완충박막증착단계 (S300) 에서형성될완충박막 (20) 과용기 (10) 사이의부착력이증가될수있으며, 산소차단성역시증가될수있다. 플라즈마전처리를수행하지않은시편 (HMDSO(100nm)/SiOx(50nm)) 과플라즈마전처리를수행한시편 (O 2 /HMDSO(100nm)/SiOx(50nm)) 의산소차단성을비교한도 3을참조하면, 플라즈마전처리를수행한시편의산소 차단성이그렇지않은시편보다높은것을알수있다. ( 플라즈마전처리를수행한시편의산소투과도 (Oxygen Transmission Rate, OTR) 가그렇지않은시편보다낮음 ) [0052] 이는용기표면 (12) 에대한플라즈마전처리를하지않을경우, 그후의박막이잘증착되지않기에박막의질 이나빠지고, 산소차단성이떨어지기때문이다. - 6 -
[0053] [0054] [0055] [0056] [0057] [0058] [0059] [0060] [0061] [0062] [0063] [0064] [0065] [0066] [0067] [0068] [0069] [0070] [0071] [0072] [0073] * 완충박막증착단계 (S300) 에서는플라즈마처리된용기 (10) 의표면 (12) 상에완충박막 (20) 을증착형성한다. 완충박막 (20) 은플라스틱용기 (10) 의기계적변형을상기완충박막 (20) 상에증착될산소차단박막 (30) 에바로전달하지않고흡수하는역할을수행한다. 완충박막 (20) 은영률 (Young's modulus) 이낮아상대적으로변형이잘되는박막으로서, 헥사메틸디실록산 (HMDSO) 또는실리콘 (Si) 과같은물질들로형성될수있다. 구체적으로완충박막증착단계 (S300) 를살펴보면, 플라즈마전처리단계 (S200) 진행후헥사메틸디실록산 (HMDSO) 기체를 RF-CVD 장비의챔버내에투입시켜플라즈마상태를형성한다. 헥사메틸디실록산 (HMDSO) 기체의플라즈마반응에의하여, 용기 (10) 의표면 (12) 상에는플라즈마중합된헥사메틸디실록산 (plasma polymerized HMDSO, pp-hmdso) 재질의완충박막 (20) 이형성될수있다. 도 4는완충박막과산소차단박막의두께를변화시킴에따라변화하는산소차단성을나타내는그래프로서, 우수한산소차단성을얻기위한완충박막 (20) 과산소차단박막 (30) 의 ' 최적두께 ' 가존재함을나타내고있다. 특히, 도 4의그래프는플라즈마중합된헥사메틸디실록산 (pp-hmdso) 재질의완충박막 (20) 과산화실리콘 (SiOx) 재질의산소차단박막 (30) 을형성하여실험한결과를나타내었다. 도 4를참조하면, 본발명의완충박막 (20) 은 5nm 내지 30nm의두께를갖는것이바람직하다. 완충박막 (20) 을너무얇은두께로형성할경우완충역할을충분히소화해내지못하며, 완충박막 (20) 을너무두꺼운두께로형성할경우완충박막 (20) 의압축에너지에의해산소차단박막 (30) 의깨짐을초래하게되어산소차단성이저해될수있기때문이다. 또한, 도 4에도시된바와같이완충박막 (20) 이 5nm 내지 30nm의두께로형성된경우, 그이외의두께에비하여우수한산소차단성을가지는것을알수있다. 특히, 산화실리콘 (SiOx) 재질의산소차단박막 (30) 이 30nm의두께로형성된경우, 완충박막 (20) 이 8nm 내지 10nm 정도의두께로형성된다면 0.03 cc/pkg라는현저히낮은산소투과도를가지게되어높은산소차단성을구현할수있게된다. 또한, 산화실리콘 (SiOx) 재질의산소차단박막 (30) 이 50nm의두께로형성된경우에도, 완충박막 (20) 이 8nm 내지 10nm 정도의두께로형성된다면 0.07 cc/pkg라는낮은산소투과도를가지게되어높은산소차단성을구현할수있게된다. 도 5는도 4의실험결과중산소차단박막의두께가 30nm 인경우에대하여, 완충박막의두께를증가시키면서변화하는식품용기의표면형상을주사전자현미경 (SEM) 으로촬영한이미지를나타낸도면이다. 또한, 도 5를참조하면플라즈마중합된헥사메틸디실록산 (pp-hmdso) 재질의완충박막 (20) 이 8nm 내지 10nm 인경우에는산소차단박막 (30) 의균열이최소화되어가장우수한산소차단성을나타내었고, 완충박막 (20) 의두께를 30nm 로증가시킨경우에는산소차단박막 (30) 에미미한균열이발생하여산소차단성이다소떨어지는현상을보였다. 그러나, 완충박막 (20) 의두께를 50nm 로증가시킨경우에는완충박막 (20) 의압축에너지에의하여산소차단박막 (30) 이균열이심해지고, 이에따라산소차단성이급격히감소하는현상을보였다. 산소차단박막증착단계 (S400) 에서는완충박막 (20) 상에산소차단박막 (30) 을증착형성한다. 산소차단박막 (30) 은밀도가높은박막으로산소분자가식품용기 (1) 에출입하지못하게하는역할을수행한다. 일반적으로폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET) 와같은플라스틱소재상에서는산소차단박막 (30) 의두께가증가할수록산소차단성이향상된다고알려져있으나, 폴리프로필렌 (PP) 과같은소재위에서는그렇지가않다. 그이유는산소차단박막 (30) 이너무두껍게폴리프로필렌 (PP) 상에서증착될경우접착이우수하지않아깨짐현상이발생하기때문이다. 또한, 산소차단박막 (30) 이너무얇은두께로형성되는경우에는충분한산소차단성을구현하지못하게된다. 상기와같은조건을만족하기위해서는도 4에도시된바에서알수있듯이, 산소차단박막 (30) 의두께를 25nm - 7 -
내지 50nm 로설정하는것이바람직하다. [0074] 즉, 산소차단박막 (30) 의두께를 25nm 내지 50nm 로설정하는경우에 0.1 cc/pkg 이하의산소투과도를달성할수 있기때문이다. 0.1 cc/pkg 이하의산소투과도는폴리프로필렌 (PP) 자체의산소투과도와비교하여 10 배정도감 축된것으로서, 충분히용기 (10) 내부에담긴식품의장기보관을가능케할수있는산소차단성을나타낸다. [0075] [0076] [0077] [0078] [0079] [0080] [0081] [0082] [0083] [0084] [0085] [0086] [0087] [0088] [0089] [0090] 특히, 도 4에서볼수있듯이최저의산소투과도를달성하기위해서, 산소차단박막 (30) 의두께가 30nm 정도, 바람직하게는 25nm 내지 35nm로도설정될수있다. 산소차단박막 (30) 에사용될수있는소재로는산화실리콘 (SiOx) 이바람직하다. 구체적으로산소차단박막증착단계 (S400) 를살펴보면, 완충박막증착단계 (S300) 진행후소량의산소기체와다량의헥사메틸디실록산 (HMDSO) 기체를 RF-CVD 장비의챔버내에투입시키고, 플라즈마반응을진행하여완충박막 (20) 상에산화실리콘 (SiOx) 재질의산소차단박막 (30) 을형성할수있다. 기존에는고가의에틸렌비닐알코올 (Ethylene Vinyl Alcohol, EVOH) 을폴리프로필렌 (PP) 에혼합또는접착함으로써산소차단성을높이는방식을사용하였으나, 상술한본발명에서는에틸렌비닐알코올 (EVOH) 을사용하지않음으로써비용을줄여가격경쟁력을확보할수있다. 또한, 에틸렌비닐알코올 (EVOH) 을이용하는방식에서는식품용기에폴리프로필렌 (PP) 이외의물질이다량함유되어있어재활용에어려움이있으나, 플라즈마방식을활용한본발명은재활용이용이한장점이있다. 도 6은본발명의제2 실시예에의한식품용기를나타낸도면이다. 도 6을참조하면, 본발명의제2 실시예에의한식품용기 (1') 는본발명의제1 실시예에의한식품용기 (1) 에비해기능성박막 (40) 을더포함한다. 기능성박막 (40) 은산소차단박막 (30) 위에원하는표면특성을부가하기위한것으로서, 산소차단박막 (30) 상에형성될수있다. 여기서, 기능성박막 (40) 은소수성, 저마찰특성등과같은표면특성을가질수있으며, 기능성박막 (40) 역시압축에너지를포함하고있으므로최적두께로형성되는것이바람직하다. 소수성을갖는기능성박막 (40) 으로는표면에너지가낮은헥사메틸디실록산 (HMDSO) 또는 F-DLC(Fluorine incorporated Diamond Like Carbon) 등이이용될수있다. 도 7은도 6에도시된식품용기의제조방법을나타낸도면이다. 도 7을참조하면, 본발명의제2 실시예에의한식품용기 (1') 의제조방법은본발명의제1 실시예에의한식품용기 (1) 의제조방법에비해기능성박막증착단계 (S500) 를더포함한다. 기능성박막증착단계 (S500) 는산소차단박막증착단계 (S400) 이후에진행되며, 기능성박막증착단계 (S500) 에서는산소차단박막 (30) 상에기능성박막 (40) 을증착형성한다. 기능성박막 (40) 의증착형성은완충박막증착단계 (S300) 및산소차단박막증착단계 (S400) 와마찬가지로플라즈마화학기상증착법 (Plasma CVD) 에의해수행될수있다. 따라서, RF-CVD 장비의챔버내에헥사메틸디실록산 (HMDSO) 기체를투입시켜플라즈마상태를형성하는경우에는플라즈마중합된헥사메틸디실록산 (pp-hmdso) 재질의기능성박막 (40) 이산소차단박막 (30) 상에형성될수있다. 본발명이속하는기술분야의통상의지식을가진자는본발명이그기술적사상이나필수적인특징을변경하지않고서다른구체적인형태로실시될수있다는것을이해할수있을것이다. 그러므로이상에서기술한실시예들은모든면에서예시적인것이며한정적이아닌것으로이해해야만한다. 본발명의범위는상기상세한설명보다는후술하는특허청구의범위에의하여나타내어지며, 특허청구의범위의의미및범위그리고그균등개념으로부터도출되는모든변경또는변형된형태가본발명의범위에포함되는것으로해석되어야한다. [0091] 부호의설명 1, 1': 식품용기 - 8 -
10: 용기 20: 완충박막 30: 산소차단박막 40: 기능성박막 도면 도면 1 도면 2-9 -
도면 3 도면 4-10 -
도면 5 도면 6-11 -
도면 7-12 -