박형 얼라인먼트 스테이지 XYθ 스테이지 Motorized XYθ Stage YRA 시리즈 YRA Series 이동범위 Motion Range ±3mm ±3 ±5mm ±5 ±5mm ±5 ±5mm ±5 테이블 사이즈 Table Size

Size: px

Start display at page:

Download "박형 얼라인먼트 스테이지 XYθ 스테이지 Motorized XYθ Stage YRA 시리즈 YRA Series 이동범위 Motion Range ±3mm ±3 ±5mm ±5 ±5mm ±5 ±5mm ±5 테이블 사이즈 Table Size"

윤아 사
5 years ago
Views:

1 박형 얼라인먼트 스테이지 Xθ 스테이지 Motorized Xθ Stage RA 시리즈 RA Series 이동범위 Motion Range ±3mm ±3 ±5mm ±5 ±5mm ±5 ±5mm ±5 테이블 사이즈 Table Size 수평내하중 N Horizontal Load Capacity (N) 형식 Model Number RA-070 RA-071 RA-130 RA L-004page L-006page L-008page L-010page

2 산테이지Motorized Stage 액세서리Accessories 검 Swivel (Tilt) X X X X 스위벨( 고니오) X X 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스박형얼라인먼트스테이지가이던스 Understanging Motorized Xθ Stage 사양표의정도에관해서 Understaging Specifications 검사시스템 (P-002~) 을참조해주세요. See Kohzu Stage Inspection Standards section, page P-002~ 보내기방식 Lead Mechanism 탄젠트바방식 ( 볼스크류 ) Tangent-Bar (Ball Screw) 회전축과연결된바 (Bar) 의끝에볼스크류로접선방향으로직선변위를가하여회전운동을만듭니다. 회전범위는좁아지지만고분해능과높은내구성을확보할수있습니다. Rotary movement is generated by applying linear displacement to the bar tip extending from the rotary axis in the tangential direction by means of a ball screw. This is the optimum feed system when the rotation range is small but a fine rotaty movement at a high resolution is required. RA 시리즈의 θ축의분해능은아래계산식으로구할수있습니다. Δθs = tan ( Δθ P -1 3 R m ) Δθs : 분해능 ( ) Δθ : 모터의기본스텝각 ( ) P : 볼스크류의리드 (m m) R : 탄젠트바의길이 (mm) m : 마이크로스텝의분할수 Resolution of θ axis is calculated based on the formula below. Δθs = tan ( Δθ P -1 3 R m ) Δθs :Resolution( ) Δθ :Basic step angle of motor( ) P :Feed screw lead(mm) R :Length of tangent-bar(mm) m :Division number of micro step 얼라인먼트스테이지X 진주의 ) 원점 (0 ) 에서의계산식입니다. 탄젠트바의길이 :R(mm) Length of Tangent-Bar : R (mm) 형식 Model Number R RA RA RA RA Note : Angular motion is calculated from origin point(0 ). L-002 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

스템제밀스테이지Manual Stage 자액세서리Accessories 검박형얼라인먼트스테이지의취급 Notes for Motorized Xθ Stage <RA series> 1. 본제품은정밀부품으로제작되어있기때문에충격등취급시주의하시기바랍니다.

Take care of strong impact or overload, because it leads to not only deterioration of positioning accuracy, but also serious damage. 2.

This plate protects the stage from excessive torque in screw fastening.

Fasten screws with putting a thumb on the supporting point of a hexagonal wrench. It helps to control fixing torque less than the allowable torque. 지그 ( 부속품 ) 을취부한채로탑재품을탈착합니다.

3 스템제밀스테이지Manual Stage 자액세서리Accessories 검박형얼라인먼트스테이지의취급 Notes for Motorized Xθ Stage <RA series> 1. 본제품은정밀부품으로제작되어있기때문에충격등취급시주의하시기바랍니다. Do not apply strong impact to the stage because it is assembled precisely. 충격이나과대한부하를받을경우, 정도에영향을줄뿐만아니라파손될가능성이있습니다. 취급에주의하시기바랍니다. Take care of strong impact or overload, because it leads to not only deterioration of positioning accuracy, but also serious damage. 2. 본제품의테이블위에고객님이준비하신 탑재품을탈착 하실때에는, 제품부속 ( 출하시측면장착 ) 의 탈착& 운반시사용지그를취부한상태 에서탑재품의탈착을실시해주세요. Do not remove the yellow labelled plate mounted on the side during mounting some parts on the stage. This plate protects the stage from excessive torque in screw fastening. 제품출하시 Factory default 탑재품탈착시 In mounting some parts 탈착 & 운반시사용지그 ( 부속품 ) ellow-labelled plate (attached parts) for mount and carry 탑재품의예 ( 70mm 플레이트 ) Mounting some parts(e.g.) 공구를좌측과같이손가락으로지지한상태에서나사를풀거나조여주시기바랍니다. Fasten screws with putting a thumb on the supporting point of a hexagonal wrench. It helps to control fixing torque less than the allowable torque. 지그 ( 부속품 ) 을취부한채로탑재품을탈착합니다. Keep to mount the ellow-labelled plate (attached parts) 탈착 & 운반시사용지그를취부하지않은상태에서탑재품의탈착을할경우, θ 테이블이회전하면서충격을받아정도에영향을줄수있습니다. 반드시지그를취부한채로탑재품을탈착해주시기바랍니다. Do not remove the yellow-labelled plate mounted on the side during mounting some parts on the stage. This plate protects the stage from excessive torque in screw fastening and prevents from rotating the theta axis. 탑재품탈착시, 취부나사를너무강하게조이지않도록주의해주시기바랍니다. 참고로 M4나사의조임토크는 3.4N m입니다. Please note the maximum allowable fixing torque (Reference value: screw size M4 = 3.4N m) 본제품의테이블사이즈를초과하는범위에서탑재품의탈착을할경우, 지그등을제작하여 제품의회전방향으로의부하를경감시키는 대책을수립하여주시기바랍니다. If size of mounting parts is over the table size while mounting, prepare to reduce the road of rotation direction with using some suitable tools. 품 Products 수동정동정 밀스테이지Motorized Stage 산 얼라인먼트스테이지X 진 3. 동작전에반드시부속품인탈착 & 운반시사용지그를제거하신후사용해주시기바랍니다. Remove the yellow-labeled plate after mounting some parts. 탑재품탈착후 After some mounting parts 탑재품의예 ( 70mm 플레이트 ) Mounting some parts(e.g.) 동작시 ( 동작전 ) In use 지그 ( 부속품 ) 을제거합니다. Remove the yellow-labeled plate (attached parts) 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL 시L-003

시스템제 X X 품 Products 수 스위벨Swivel ( 고니(Tilt) 오)X X 얼라인먼트스테이지X 진동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스산테이지Motorized Stage 액세서리Accessories 검박형얼라인먼트스테이지 / 테이블사이즈 70 70 Motorized Xθ Stages / Table Size 70 x 70 RA-070

4 시스템제 X X 품 Products 수 스위벨Swivel ( 고니(Tilt) 오)X X 얼라인먼트스테이지X 진동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스산테이지Motorized Stage 액세서리Accessories 검박형얼라인먼트스테이지 / 테이블사이즈 Motorized Xθ Stages / Table Size 70 x 70 RA-070 RA-070 X θ (130) 케이블길이 200mm Cable Length 200mm Φ10 Thru 2-Φ3 Depth 4mm (120) 4-M3 Depth 5mm 4-M4 Depth 7mm 4-for M4 screws Shaft length 5.5mm 2-φ3 Depth 4mm L-004 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

5 스템제밀스테이지Manual Stage 자액세서리Accessories 검알루미늄 / 크로스롤러가이드 & 크로스롤러베어링 / 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide & Cross-Roller Bearing / Ball Screw 시 120,000 오버홀비용 Overhaul Price 형식 Model Number RA-070 테이블사이즈 Table Size 70mm 70mm 안내방식 X: 정밀크로스롤러가이드 θ: 크로스롤러베어링 Guide Mechanism X: Cross-Roller Guide θ: Cross-Roller Bearing 이동범위 Motion Range X:±3mm θ:±3 보내기방식 (3축공통 ) Lead Mechanism (same at 3-axes) 볼스크류리드 1.0mm Ball Screw Lead 1.0mm 분해능풀 / 하프스텝 Resolution Full/Half Step X:2μm/1μm θ: / 최고속도 Maximum Speed X:10mm/sec : Half 10kpps θ:12.7 /sec : Half 10kpps 로스트모션 Lost Motion X: 2μm θ: 진직도 수평 Horizontal X: 1μm/6mm Straightness 수직 Vertical X: 1μm/6mm 반복위치결정정도 Repeatability X: ±0.5μm 각도재현성 Angular Repeatability θ: 백래쉬 Backlash X: 1μm θ: 면떨림 Surface Runout θ: 5μm/±3 편심 Eccentricity θ: 3μm/±3 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.6arcsec / N cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 49N (5kgf) 재질 Material 알루미늄합금 Aluminum Alloy 마감 Finish 백색마감 Clear-Matt Anodizing 무게 Weight 1.45kg 5상스텝핑모터 (3축공통 ) 5 Phase Stepper Motor (same at 3-axes) PK513PB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.35A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선5줄 ) PK513PB (Oriental Motor: Phase Current 0.35A, Basic Step Angle 0.72, 5-Leads) 커넥터 (3축공통 ) Connector (same at 3-axes) 환형 20핀 ( 히로세 : RP13A-12JG-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC) 스테이지결선타입 (3축공통 ) Stage Wiring Type (same at 3-axes) 2 V2 센서기판형식 Sensor Model X:F-106(HOME, LIMIT), θ:f-106r(home, LIMIT) 가격 Price (JP) 450,000 그리스교환 Lubricant Change 모터변경 Motor Change 품 Products 수동정동정 밀스테이지Motorized Stage 산 얼라인먼트스테이지X 진 2 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035를참조해주세요. Refer to page N-034, N-035 for stage wiring connection information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 오버홀비용에교환부품은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15 페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은 We appreciate the product customizing. 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL L-005

산테이지Motorized Stage 액세서리Accessories 검박형얼라인먼트스테이지 / 테이블사이즈 70 70 Motorized Xθ Stages / Table Size 70 x 70 X X 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스RA-071 RA-071 X θ 21 21 케이블길이 200mm Cable Length

6 산테이지Motorized Stage 액세서리Accessories 검박형얼라인먼트스테이지 / 테이블사이즈 Motorized Xθ Stages / Table Size 70 x 70 X X 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스RA-071 RA-071 X θ 케이블길이 200mm Cable Length 200mm Φ20 Thru 2-Φ2 Depth4mm 스위벨Swivel ( 고니(Tilt) 오)X X (140) (150) 4-M3 Depth 6mm 4-M4 Depth 6mm 얼라인먼트스테이지X 진 for M4 screws Shaft length 10mm Tapping hole for M5 screw mount from back side Depth 4mm φ3 Depth 4mm L-006 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

7 시스템제밀스테이지Manual Stage 자액세서리Accessories 검알루미늄 / 크로스롤러가이드 & 크로스롤러베어링 / 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide & Cross-Roller Bearing / Ball Screw 형식 Model Number 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 (3축공통 ) Lead Mechanism (same at 3-axes) 분해능풀 / 하프스텝 Resolution Full/Half Step 최고속도 Maximum Speed 로스트모션 Lost Motion 진직도 Straightness 반복위치결정정도 Repeatability 각도재현성 Angular Repeatability 백래쉬 Backlash 면떨림 Surface Runout 편심 Eccentricity 모멘트하중 Moment Load Stiffness 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 5상스텝핑모터 (3축공통 ) 5 Phase Stepper Motor (same at 3-axes) 커넥터 (3축공통 ) Connector (same at 3-axes) 스테이지결선타입 (3축공통 ) Stage Wiring Type (same at 3-axes) 2 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price (JP) 그리스교환 Lubricant Change 모터변경 Motor Change 오버홀비용 Overhaul Price RA mm 70mm X: 정밀크로스롤러가이드 θ: 크로스롤러베어링 X: Cross-Roller Guide θ: Cross-Roller Bearing X:±5mm θ:±5 볼스크류리드 1.0mm Ball Screw Lead 1.0mm X:1μm/0.5μm θ: / X:10mm/sec : Half 20kpps X: 2μm θ: 수평 Horizontal X: 1μm/10mm 수직 Vertical X: 1μm/10mm 4 NEW X: ±0.5μm θ: X: 1μm θ: θ: 5μm/±5 θ: 3μm/±5 0.3arcsec/N cm 68.6N (7kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing 2.25kg θ:12.7 /sec : Half 20kpps PK523HPMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선5줄 ) PK523HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 환형 20핀 ( 히로세 : RP13A-12JG-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC) V3 X:F-115(HOME, LIMIT), θ:f-115r(home, LIMIT) 4, ,000 품 Products 수동정동정 밀스테이지Motorized Stage 산 얼라인먼트스테이지X 진 2 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035를참조해주세요. Refer to page N-034, N-035 for stage wiring connection information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 4 오버홀비용에교환부품은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 모터샤프트의출력측축의끝을절단하였습니다. Cut off the edge of motor shaft's output side. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은 We appreciate the product customizing. 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL L-007

산테이지Motorized Stage 액세서리Accessories 검박형얼라인먼트스테이지 / 테이블사이즈 130 130 Motorized Xθ Stages / Table Size 130 x 130 22 시 X X 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스스템제품 Products 수RA-130 RA-130 X θ 22 케이블길이 200mm Cable

8 산테이지Motorized Stage 액세서리Accessories 검박형얼라인먼트스테이지 / 테이블사이즈 Motorized Xθ Stages / Table Size 130 x 시 X X 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스스템제품 Products 수RA-130 RA-130 X θ 22 케이블길이 200mm Cable Length 200mm Φ35 Thru 2-Φ5 Depth 4mm 스위벨Swivel ( 고니(Tilt) 오)X X (170) (217) M3 Depth 4mm 4-M4 Depth 5mm 4-M4 Depth 6mm 4-M5 Depth 6mm 저두육각볼트 M6 12L(4 개부속 ) Low head hex sochekt bolt M6 12L(4pcs attached) 100 얼라인먼트스테이지X 진 for M6 screws Shaft length 3mm 2-φ5 Depth 5mm 저두나사 ( 부속품 ) 로취부합니다. Mounting by low head screw (attachment) L-008 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

9 스템제밀스테이지Manual Stage 자액세서리Accessories 검알루미늄 / 크로스롤러가이드 & 크로스롤러베어링 / 볼스크류 Aluminum Body / Cross-Roller Guide & Cross-Roller Bearing / Ball Screw 시 140,000 오버홀비용 Overhaul Price 형식 Model Number RA-130 테이블사이즈 Table Size 130mm 130mm 안내방식 X: 정밀크로스롤러가이드 θ: 크로스롤러베어링 Guide Mechanism X: Cross-Roller Guide θ: Cross-Roller Bearing 이동범위 Motion Range X:±5mm θ:±5 보내기방식 (3축공통 ) Lead Mechanism (same at 3-axes) 볼스크류리드 1.0mm Ball Screw Lead 1.0mm 분해능풀 / 하프스텝 Resolution Full/Half Step X:2μm/1μm θ: / 최고속도 Maximum Speed X:10mm/sec : Half 10kpps θ:6.74 /sec : Half 10kpps 로스트모션 Lost Motion X: 2μm θ: 진직도 수평 Horizontal X: 1μm/10mm Straightness 수직 Vertical X: 1μm/10mm 반복위치결정정도 Repeatability X: ±0.5μm 각도재현성 Angular Repeatability θ: 백래쉬 Backlash X: 1μm θ: 면떨림 Surface Runout θ: 5μm/±5 편심 Eccentricity θ: 3μm/±5 모멘트하중 Moment Load Stiffness 0.1arcsec / N cm 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 196N (20kgf) 재질 Material 알루미늄합금 Aluminum Alloy 마감 Finish 백색마감 Clear-Matt Anodizing 무게 Weight 4kg 5상스텝핑모터 (3축공통 ) 5 Phase Stepper Motor (same at 3-axes) PK513PB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.35A/ 상, 기본스텝각 0.72, 리드선5줄 ) PK513PB (Oriental Motor: Phase Current 0.35A, Basic Step Angle 0.72, 5-Leads) 커넥터 (3축공통 ) Connector (same at 3-axes) 환형 20핀 ( 히로세 : RP13A-12JG-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC) 스테이지결선타입 (3축공통 ) Stage Wiring Type (same at 3-axes) 2 V2 센서기판형식 Sensor Model Xθ:F-115(HOME, LIMIT) 가격 Price (JP) 700,000 그리스교환 Lubricant Change 모터변경 Motor Change 품 Products 수동정동정 밀스테이지Motorized Stage 산 얼라인먼트스테이지X 진 2 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035를참조해주세요. Refer to page N-034, N-035 for stage wiring connection information. 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 오버홀비용에교환부품은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15 페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 액세서리에관해서는 O-001페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은 We appreciate the product customizing. 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL L-009

산테이지Motorized Stage 액세서리Accessories 검박형얼라인먼트스테이지 / 테이블사이즈 210 150 Motorized Xθ Stages / Table Size 210 x 150 X X 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스RA-200 RA-200 케이블길이 200mm Cable Length 200mm X

10 산테이지Motorized Stage 액세서리Accessories 검박형얼라인먼트스테이지 / 테이블사이즈 Motorized Xθ Stages / Table Size 210 x 150 X X 시스템제품 Products수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스RA-200 RA-200 케이블길이 200mm Cable Length 200mm X θ Φ48 Thru 스위벨Swivel ( 고니(Tilt) 오)X X (200) My 얼라인먼트스테이지X 진4-M6 Depth 8mm 4-M Depth 10mm (306.4) Mx 4-M4 Depth 8mm 4-M4 Depth 8mm 4-M5 Depth 8mm 4-M5 Depth 8mm for M6 screws Shaft length 4mm 5 Depth 5mm φ5 Depth 5mm L-010 CONTACT TEL / FAX sales@kohzu.co.jp URL

11 액세서리Accessories 검알루미늄 / 리니어가이드 & 크로스롤러베어링 / 볼스크류 Aluminum Body / Linear Guide & Cross-Roller Bearing / Ball Screw 2 형식 Model Number 테이블사이즈 Table Size 안내방식 Guide Mechanism 이동범위 Motion Range 보내기방식 (3축공통 ) Lead Mechanism (same at 3-axes) 분해능풀 / 하프스텝 Resolution Full/Half Step 최고속도 Maximum Speed 로스트모션 Lost Motion 진직도 Straightness 반복위치결정정도 Repeatability 각도재현성 Angular Repeatability 백래쉬 Backlash 면떨림 Surface Runout 편심 Eccentricity 모멘트하중 Moment Load Stiffness 수평내하중 Load Capacity (Horizontal) 정지시부하용량 Load Capacity (static) 2 재질 Material 마감 Finish 무게 Weight 5상스텝핑모터 (3축공통 ) 5 Phase Stepper Motor (same at 3-axes) 커넥터 (3축공통 ) Connector (same at 3-axes) 스테이지결선타입 (3축공통 ) Stage Wiring Type (same at 3-axes) 센서기판형식 Sensor Model 가격 Price (JP) 그리스교환 Lubricant Change 모터변경 Motor Change 오버홀비용 4 Overhaul Price 스테이지의검사는하프스텝으로실시합니다. Stage is inspected by half step setting. 워크중심이스테이지중앙 ( 수직방향등분포 ) 이며, 동시에움직이지않을때에견딜수있는하중입니다. The load capacity (static) is defined at the gravity point of work is center (Uniform distribution to vertical direction) and static condition. 스테이지결선에대한상세는 N-034, N-035 페이지를참조해주세요. Refer to page N-034, N-035 for stage wiring connection information. 4 5 RA mm 150mm X: 정밀리니어가이드 θ: 크로스롤러베어링 X: Linear Guide θ: Cross-Roller Bearing X:±5mm θ:±5 볼스크류리드 1.0mm Ball Screw Lead 1.0mm X:1μm/0.5μm θ: / X:10mm/sec : Half 20kpps X: 2μm θ: 수평 Horizontal X: 3μm/10mm 수직 Vertical X: 3μm/10mm X: ±0.5μm θ: X: 1μm θ: θ: 5μm/±5 θ: 5μm/±5 θ:4.98 /sec : Half 20kpps X 방향모멘트하중 (Mx): 0.03arcsec/N cm, 방향모멘트하중 (My): 0.05arcsec/N cm X direction moment load stiffness (Mx): 0.03arcsec/N cm, direction moment load stiffness (My): 0.05arcsec/N cm 5 NEW 343N (35kgf) 1961N (200kgf) 알루미늄합금 Aluminum Alloy 백색마감 Clear-Matt Anodizing 5.15kg PK523HPMB( 오리엔탈모터 : 정격전류 0.75A/ 상, 기본스텝각 0.36, 리드선5줄 ) PK523HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36, 5-Leads) 환형 20핀 ( 히로세 : RP13A-12JG-20PC) 20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC) V3 X:F-115(HOME, LIMIT), θ:f-115r(home, LIMIT) 780,000 1,000 오버홀비용에교환부품비용은포함되어있지않습니다. 상세한것은 15 페이지를참조해주세요. Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 for further information. 모터샤프트의출력측축의끝을절단하였습니다. Cut off the edge of motor shaft's output side. 시스템제품 Products 수동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스테이지Motorized Stage 산 얼라인먼트스테이지X 진 대응하는모터컨트롤러 드라이버에관해서는 N-002 페이지를참조해주세요. Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver. 대응하는모터케이블에관해서는 N-018 페이지를참조해주세요. Refer to page N-018 for information on corresponding motor cable. 액세서리에관해서는 O-001 페이지를참조해주세요. Refer to page O-001 for information on accessory. 고객님의요구에따른제품개조도가능합니다. 상세한것은 We appreciate the product customizing. 제품문의 TEL : / FAX : sales@kohzu.co.jp URL L-011

12 Memo

시스템제 품 Products 수 스위벨(고니오) Electronics 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스산테이지Motorized Stage 스위벨(고니오) 얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검자동 스테이지가이던스 Understanding

시스템제 품 Products 수 스위벨(고니오) Electronics 동정밀스테이지Manual Stage 자동정밀스산테이지Motorized Stage 스위벨(고니오) 얼라인먼트스테이지X 진공스테이지Vacuum Stage 검자동 스테이지가이던스 Understanding 자동 스테이지 Motorized Vertical Linear Stage A 시리즈 A Series 이동범위 Motion Range 테이블사이즈 Table Size 형식 Model Number ±1.5mm 50 50 A05A-W2C A04A-W1 I-006page I-006page ±2.5mm 70 70 A07A-W2C01 A10A-W2C01 I-008page