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야탑사거리 Head Office & R&D Center 경기도성남시분당구야탑동 151 분당테크노파크 D 동 908 호 (463-760) TEL : +82-31-604-1004 FAX : +82-31-711-6344 E-mail : admin@semi-ust.com Clean Room & Facility 경기도안성시원곡면성주리 150-1 E-mail : sales@semi-ust.com
Head Office & R&D Center 경기도성남시분당구야탑동 151 분당테크노파크 D 동 908 호 (463-760) Clean Room & Facility 경기도안성시원곡면성주리 150-1 씨앤지하이테크內
신속함과정확함을기본으로최고의제품을고객에게제공한다 반도체전공정장비 TRACK 장비및 CMP 장비개조, 개선및 OVERHAUL 독자적인장비및아이템개발 확고한기술경쟁력및품질우선주의를바탕으로고객에게신뢰받는기업
대표이사 경영지원팀 영업팀 기술팀 국내, 외영업및장비사업부 TRACK 부 CMP 부 개발부
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TEL MARK-II,V,VZ,7,8 및 ACT-8,12 의 2 nd Source Parts 및 Unit 제공 User Base 의자유로운 System Configuration 수정, Module 추가및 Up-grade. Open Cassette Type 을 SMIF Type 으로개조및 Size 변경가능 TEL MARK-II,V,VZ,7,8 및 TEL ACT-8,12 장비의자유로운Size 개조 (4,6,8 inch) 6inch, 8inch 동시사용가능으로개조 Cassette Unit 및 Robot 개조 Mapping Sensor Block 개조 Main Robot Arm 개조 COAT Unit 및 Cup 개조 DEV Unit 및 Cup 개조 WDS/Plate 개조 TEL MARK-7,8 and ACT-8,12 개조 / 개선및 Overhaul L/E Tank (45cc, 100cc, 150cc, 200cc, etc) 제작 TEL MARK 및 ACT SMIF Type Unit 을동일한성능으로제작 COAT Nozzle Assembly (EBR, Back Side Rinse and Photo Resist Nozzle Tip) 제작 DEV Nozzle Assembly (H, SH, Spray and Stream type) 제작저렴한비용으로 TEL MARK 의 Plasma 를 TFT LCD 로개조및 Upgrade TEL MARK-II,V,VZ,7,8 및 ACT-8,12 의 2 nd Source Parts 및 Unit 제공 OEM보다빠른납기및저렴한가격으로 OEM과동일한성능을구현 Cassette Stage Assembly 제작 C/A Arm, Main Arm (Ceramic, Vacuum Arm, Aluminum 및 Anodizing Type) 제작 Plate (LHP, HHP, CPL, HCP, ADH, HEL 및 CP Power Supply) 제작 Fan Filter Unit A,B Type (Included HEPA Filter) 공급 TEL ACT8, 12 의 Oven Central Stack 제작
Chemical Cabinet / Auto Chemical Supply System 개조및개선 CSS 나 Manual Supply 또는혼용방식으로개조 Buffer Tank Auto Exchange Type System 개조 Solvent/Develop/HMDS Chemical Supply System 제작및개조 Resist Cabinet Photo Resist Auto-Exchange 제작및개조 Auto Drain Controller 및 Tray 제작및개조
TEL Clean Track Mark 및 ACT-8,12 Hot and Cooling Plate 제공 Hot / Cooling Plate 제작 CPL, HCP, ADH, LHP, HHP Assembly 제작 Hot Plate 개조 (LHP HHP, CPL HCP) Thermo Controller 제작 OEM 과동일성능 Thermo Controller 및 SMC 200mm / 300mm 용 Circulator 수리
TEL/DNS/SEMES Spin Scrubber 개조 / 개선및 Overhaul 6inch, 8inch 동시사용가능으로개조 Cassette Unit 및 Robot 개조 Mapping Sensor Block 개조 Consumable Parts 제공 2nd Source Parts 제작 Controller Up-grad 및교체 Labor 및 Service 제공
Stepper HP Laser 5711X Series 수리 HP Laser s Model 에따른장비 MODEL MACHINE G Line I Line 5517A NSR-G6, G7, G8 NSR-I6, I7, I8 5517B NSR-I9, I10, I11 5517C NSR-I12, NSR-I14 HP Laser 5517x 스펙 5517A 5517B 5517C 5517D REFERENCE FREQUENCY 1.5 MHz to 2.0 MHz 1.9 MHz to 2.4 MHz 2.4 MHz to 3.0 MHz 3.4 MHz to 4.0 MHz BEAM DIAMETER POLARIZATION INDICATORS SHUTTER 6mm f1 Horiz f2 Vert LASER ON READY 6mm 6mm(std) 3mm(5517C-003) 9mm(5517C-009) 6mm f1 Horiz f2 Vert f1 Horiz f2 Vert f1 Horiz f2 Vert +15V POWER ON -15V POWER ON LASER ON READ Y +15V POWER ON -15V POWER ON LASER ON READ Y +15V POWER ON -15V POWER ON LASER ON READ Y f1 is the lower frequency, and f2 is the higher frequency. The Agilent 5517A is the basic head. Open, Reduced, Closed Open, Reduced, Closed Open, Reduced, Closed Open, Reduced, Closed
Stepper LSA (Laser Step Alignment) / LIA 수리 LSA and LIA Specification LSA(LIA) Model Out Put Polarization Mode Wavelength LSA(5mW) 5mW 500:01:00 TEM00 632.8nm LIA(10mW) (Option) 10mW 500:01:00 TEM00 632.8nm LAS (5mW) Repair LIA (10mW)
EBARA EPO2226,2228 개조 / 개선및 Overhaul EPO2226/EPO2228 - Trouble Shooting 및 Software 수정 - 6inch 및 8inch 간의자유로운개조 - I-Head 수리및교체 -2 nd Source Parts 제공 - Rotary Joint 제작및개조 - I-Head 제작및개조 - Consumable Parts 제공
OEM / ODM R&D Service P.C.B (Printed Circuit Board) Art-work and Assembly 양면제품에서 CARBON, MLB-B/D 에이르기까지모든종류의 PCB 개발과공급이가능 단면 / 양면 Single/Double-Layer PCB 다층 Multi-Layer PCB (4Layer ~ 26Layer) P.C.B Art Work Metal / Flexible PCB Micom Firmware 개발 Wire 설계 PCA 회로설계및 Test Zig 개발 Build up etc.
OEM / ODM R&D Service 제품설계, 개발지원및제품디자인지원 기구개발업무내역 개발기획및 Review - Item Concept 정리 - Item 요구기술전개및 Review - 개발계획안수입 제품 Design - 제품특장점에따른 Design 진행 - 3D Rendering 또는 Design Mock-up 제작및평가 설계및금형개발 - 기구 / 회로 / 전장각 Parts별설계기준서작성 - 3D Modeling 설계및 2D 도면작성시생산및제품출하 - 시제품조립, Test 및평가 - 제품 ( 부품 ) 규격서작성
웨이퍼프리얼라이너 - 웨이퍼사이즈 (2inch ~ 18inch) - Notch, Flat Wafer, Ring Type, Thin Wafer (50um) - Si, Glass, Film, Sapphire - 초소형사이즈 - 빠른속도의얼라인 (< 3.5sec) - 높은재현성및 - 쉬운설치및기능 - Ethernet 및 RS-232 통신 - 노치및플랫타입의웨이퍼를자동으로감지하여 Alignment 하는스마트기능 - Si, Glass, Sapphire Type 동시사용가능 - 웨이퍼에지의불량및깨짐감지기능 -2 인치부터 18 인치까지개발완료 (CCD Stage 이동타입 ) - 코팅불량및크랙검출기능 - 얇은 Thin 웨이퍼얼라인가능하며크랙웨이퍼도사용가능 - 웨이퍼의크랙부분의각도및수량 ( 최대 500 개 ) 정보표시출력 - Laminator 등으로 Taping 된웨이퍼의노치부분의정보출력 ( 노치의각도, 크기, 깊이등 )
HyperTerminal 에의한쉬운명령어입력및정보열람 크랙부분검출 CCD 웨이퍼 Vision 기능 - 초소형 Embedded PC 사용 (Window XP OS) -Vision 기능및감시장치 - 사용이쉬운 GUI 및화면 Capture 기능 초소형임베디드시스템
Auto Track Spinner System 2~4inch, 6~8inch, 8~12inch 멀티플로우컴팩트하고심플한디자인 Sapphire, Glass, Si 등의웨이퍼가능 PSS, MEMS, Bumping 공정적용 Programmable EBR, Back Rinse 기능 Bar Code System (Optional) 및 USB connection 제공
Auto Track Spinner System 장비스펙 1) Main frame 시스템컨트롤러 a) System Controller - 유져중심의사용이편리한 Windows XP - 15 LCD 터치스크린 b) Program Recipes - Recipe 수정및저장 : Process, Flow, Dummy Dispense 및 Recipe 수정작업 - Flow Recipe : 다수의레서피와플로우를화면에서간편하게수정 - Recipe Capacity : 20step 의 50ro 레서피저장가능 c) Throughput: > 60 wafers 이상 2) System 사이즈 a) 2~4inch Main Body Size : 1,700(W) X 1,400(D) X 1,600(H) b) 12inch Main Body Size : 2,100(W) X 2,000(D) X 2,100(H)
NEW 미라클 4-Spin Auto Track Spinner System General Specification 1) Single Block 의경우 2COAT 2DEV SYSTEM 가능 2) High Throughput 3) 컴팩트및작아진사이즈 4) 2~4inch Main Body Size :1370 x 1340 x 1580
NEW 미라클 4-Spin Auto Track Spinner System
ANALOG CONTRLLER FAN FILTER UNIT 스탠다드 AC Motor Type 의 FFU 제작 (FAN FILTER UNIT)
BLDC (BRUSHLESS DC) MOTOR FAN FILTER UNIT BLDC MOTOR 1. 우수한속도및안전성 2. 폭넓은가변속도범위 3. 소형화, 고출력화 4. 에너지절감 5. 고강도, 장수명 GEAR HEAD 6. 저소음화실현 7. BRUSH에의한 PARTICLE 유발제거 8. 가, 감속시간제어가능 DIGITAL CONTROLLER 1. RS- 485 통신 2. Remote 컨트롤기능 3. 폭넓은가변조정 (0~100 Step) 4. 다양한모니터링 LAMP
BLDC (BRUSHLESS DC) MOTOR FAN FILTER UNIT - Chemical Filter 제공 (OPTION) - ULPA Filter 제공 - 고객이원하는다양한사이즈제작가능 - 다양한계측기를통한신뢰성확보및 DATA 제공 - 빠른제작기간 소음, 진동, 소비전력, 풍속, 풍량및 Aging 검사장비
Manual Spinner Coater / Develop / Stripper 본장비는매뉴얼코팅, 현상, 세정에작업이용이하게설계되었으며대학교, 연구소, 샘플제작등의회사에주로납품되어지고있습니다. 20Step 으로최대 50 개의레서피가저장되며 GP Panel 을이용하여간단하게조정할수있습니다. 응용웨이퍼 - FPD / GaAs / GaNi / OLED Specification - Substrate Manual Loading, 12inch 이상가능 - Operation : Manual operation switch (Tachometer, Timer), Micom or PLC