서광원 경원테크 031-706-2886 031-706-2887 with0928@kw-tech.co.kr www.kw-tech.co.kr 주소 (463-828) 경기도성남시분당구야탑로 81 번길 10, 505 호 ( 야탑동, 아미고타워 ) * K-SPEED : 반도체및디스플레이의핵심공정들인식각및증착공정들의물리화학적인현상들을고려하여실제엔지니어들이사용하는공정변수에따른실험결과들을사전에예측하기위한전산해석프로그램 * Simerics : CAD 기반의고품질자동격자를사용하는범용열유동해석프로그램 ( 해석분야 - Flow, Heat, Cavitation, Turbulence Species, Particle) 김영준 동우옵트론 ( 주 ) 031-765-0300 031-765-0222 주소 (464-893) 경기광주시오포읍매산리 611-5 번지동우옵트론 ( 주 ) ok@optron.co.kr www.dwoptron.com * Ramboss Micro Raman system. - SERS. Bio Sensor 측정. Graphene, CNT application. Raman mapping. - Extremely Low noise. 5.5 Megapixels. 4GB memory. 30fps/100fps burst. * Maple. Micro PL Mapping system. - GaN 및 AlnGal-nAs 등 Ⅲ-Ⅴ 족 Ⅱ-Ⅵ 족원소들의 PL 측정및 mapping * Laser system - 325nm He-Cd. 532nm DPSS. 632.8nm He-Ne. 785nm Laser set. * IXON 897 EMCCD set ( Electron Multiplying Cooled CCD set ) - FRET, TIRF, Low Lighting imaging. High Quantum Efficiency. * Neo SCMO Camera set ( Scientific CMOS Camera) - Extremely Low noise. 5.5 Megapixels. 4GB memory. 30fps/100fps burst. 김동준 디앤제이베큠 031-717-7048 031-717-7049 djkim@djvac.co.kr www.djvac.co.kr 주소 (463-741) 경기도성남시분당구구미동 18 시그마 2 오피스텔 A-134 호 * RV3 Rotary Pump / next240d Turbo Pump / APG100-XM Gauge / EMF10 Mist Filter / Catalogue / XDS Scroll Pump 사진 / Auto306 증착기사진등
배정이 라인테크 042-634-0600 042-638-2211 주소 (306-827) 대전대덕구중리동 394-15 2 층 linetech@line-tech.co.kr www.line-tech.co.kr * TMFC(Thermal Mass Flow Controller) - 질량유량계 Gas Flow 를질량으로 Control 하여 1% of Full scale 의정확성으로유량을정밀하게제어할수있는제어장치 * TMFM(Thermal Mass Flow Meter) - 질량유량계 Gas Flow 를 Reading 하는장치로높은정밀도로 Gas Flow 를 Reading 할수있는측정장치 * Read Out Unit - Power Supply 기본적으로 MFC 에안정된전원을공급하고설정값 (set-point value) 과유량값 (Flow value) 을 Display 하며 MFC 를정확하게제어하는장치
맥사이언스 (Mcscience Inc) 윤철오 031-206-8009 031-206-8007 jks@mcscience.com www.mcscience.com 주소 (443-702) 경기수원시영통구덕영대로 1556 번길 16 디지털엠파이어빌딩 B-1102 * K3000 Solar Cell Efficiency Measurement System K3000 Solar Cell Efficiency Measurement System 은태양광과유사한모의광원을이용하여태양전지의에너지변환효율을과학적수치로표현하는 System 입니다. 태양전지의전기신호를측정하는정밀한 I-V Tester 와 Software 등자체기술을바탕으로 Si, OPV, DSSC,Thin-Film 등의태양전지의측정및분석솔루션제공하고있습니다. - Class AAA Solar Simulator ( KS IEC 60904-9) - 50mm 2 ~330mm 2 다양한조사면적 - 원격조정을통한자동광개폐및광량보정기능 - 역전류측정가능한 I-V Tester - 다양한태양전지측정 JIG 제공 - Si, OPV, DSSC,Thin-Film 태양전지효율측정 - 고객맞춤형제품개발 * M6000 OLED Lifetime Test System M6000 OLED Lifetime Test System 은 OLED( 모듈 / 셀 ) 의장시간의전기적인스트레스와주위온도변화에따른 OLED 의전기적, 광특성을측정, 분석함으로써 OLED 의수명을과학적, 수치적으로나타내는 System 입니다. 1) 다채널구성이가능 (PM / AM OLED) 2) OLED 전용 I-V Source Measurement Tester - 다양한전기신호인가및측정제공 (CC / CV / PC / PV /PCV) - 고속측정방식으로 OLED 의전기적특성을실시간모니터링 - 정밀한전류 / 전압측정이가능하며, 다채널구성 3) 고온및저온환경챔버구성 4) 맞춤형 Sample Mounting JIG 5) 사용하기쉬운 Software 및측정알고리즘보유 ( 고객맞춤형장비개발 )
정원호 브이티에스 042-634-8500 042-634-9595 주소 (305-509) 대전유성구관평동 1331 번지 jjw@vtsc.co.kr www.vtsc.co.kr * Web Coater/RaON - 기능성필름제조에생산성증대를위한공정기술개발 - 고효율증착 ( 빠른증착이가능한고효율의자체개발 Cathode 설치 ) - 부착력우수 ( 표면처리용자체개발 Ion source 설치 ) * MOCVD System/ZiON - 고성능박막형성 ( 다원계및다층 epi 성장 ) - Autodoping * R&D System / Sputtering System / Evaporator System / OLED System 등 정재학 씨엔원 070-4651-5331 031-303-4540 etax@cn-1.co.kr http://www.cn-1.co.kr 주소 (443-702) 경기수원시덕영대로 1556 번길 16 B-1302( 영통동디지털엠파이어빌딩 ) * Atomic Classic(side gas flow thermal ALD) : 원자층증착 (ALD) 은반도체제조공정중원자층두께의초미세박막을형성할수있는기술로써, 기판표면의분자의흡착과치환을번갈아진행하여원자층두께의박막을형성하고, 가스의화학반응으로형성된입자들의웨이퍼표면에증착시키는화학기상증착 (CVD) 보다낮은온도에서우수한막질을형성할수있는기술 * Atomic Premium(Showerhead thermal/plasma ALD): 원자층증착 (ALD) 에플라즈마를결합한 Showerhead PE-ALD 장비로써, 원자층증착뿐만아니라화학기상증착 (CVD) 까지가능한장비. * Particle Coating(Rotating reactor ALD) : 나노입자의균일한코팅을가능케하는원자층증착장비.
조영상 아텍시스템 032-508-8060 032-508-8069 주소 (403-853) 인천시부평구청천 2 동 175-25 atech@atechsystem.co.kr www.atechsystem.co.kr * ATS-PVD Series Multisputter with 3 2in ot 3 3in gun * ATS-PVD Series Compact Magnetron sputter System * ATS-PVD Series In-line Sputter System for Large Area Deposition * ATS-CVD Series PECVD-PVD Cluster System for Graphene Synthesis * ATS-CVD Series Thermal CVD System for Nanowire Synthesis * ATS-CVD Series Thermal CVD System With Uniform Heating Zone * ATS-CVD Series ICP CVD System for Graphene and Boron Carbide Layers * Standard System Manufactured by A-tech System * Etch-200 ICP-RIE System for Nano-Patterning * Cluster Etch-300 High Density Plasma Etching System for Waveguides * FIB(Focused Ion Beam) : Nano Pattern Etching, Deposition, Observation, um scale Cross Section, Etching 이준석 ( 주 ) 엘림글로벌 031-604-0777 031-604-0778 주소 (463-400) 경기분당구대왕판교로 670 유스페이스 2 A 동 404 yoonhyung.choi@elim-global.com www.elim-global.com * Ellipsometer : Solar cell, 박막태양전지, TCO, OLED, SOI wafer 등의박막두께, 광학계수, 표면 roughness 측정장비 * PECVD : 반도체, 디스플레이, 태양전지분야의 SiOx, SiOxNy-, SiNy, TEOS 등유전막증착공정에사용 * ALD : Step coverage 우수, Pinhole-free, Step coverage 가높은 ALD. 반도체, 디스플레이, 태양전지분야의 Passivation layer, Diffusion barrier, Adhesion 막, High-k 유전막등증착공정에사용 * RIE-Etcher : 낮은 Ion Damage, 높은식각률, 뛰어난 aspect ratio, Cryogenic 공정 (deep etch), III-V compounds GaAs, InP, GaN, InSb), dielectrics, MEMS(quartz, glass, silicon), silicon compounds (SiC, SiGe) 등식각공정에사용 * Raman Image Microscope : 초고속대면적이미지분석전용 Raman 분석기 _Graphene, CNT, 이차전지
전정기 올리콘라이볼트베큠코리아 ( 주 ) 031-785-1367 031-785-1359 주소 (463-867) 경기성남시분당구정자동 159-4 젤존 2 타워 3 층 sales.vacuum.bd@oerlikin.com www.oerlikon.com/leyboldvacuum/korea * Vacuum Pump ( 모델 : Turbolab80): 터보펌프시스템으로완벽하게조립되어, 바로사용할수있게고안된디자인의컴팩트한고진공펌프시스템 * Gauges ( 모델 : TTR91, Center1): Pirani 게이지로서센싱셀의교체가가능. 아날로그값으로출력되며, 그값은 Center1, 컨트롤러에서보여지며조작이가능 김동현 유니나노텍 ( 주 ) 031-546-8733 031-285-6195 nano@uninanotech.com www.unithink.co.kr 주소 (446-529) 경기용인시기흥구동백중앙로 199 동백에이스프라자 506 호 * UniRAM ( Micro Raman measurement system ) * Uni-Probe 785nm ( Fiber coupled Macro Raman set ) * Graphene : CVD Graphene, Graphene touch panel, Graphene oxide, Graphene nanopowder, Graphene ink * 2D semiconductors : MoS2, MoSe2, WS2, WSe2, ReSe2, SnSe2, GaSe, GaTe, CuS * 2D Topological Insulators : Bi2Se3,Bi2Te3 * Layered metals : Bi2Se3, Bi2Te3, NbS2, NbSe2, FeTe * CNT, Graphite, Carbon black 유흥상 유니벡 055-323-1541 055-323-1544 주소 (621-844) 경남김해시주촌면망덕리 335 ryeol@kitech.re.kr www.univac.co.kr * 선형이온소스 (Linear Ion Source) : 박막증착원으로서에칭및클리닝, 다양한코팅이가능한특징이있음. 이온화밀도가높으며이온의직진성이좋아효율적이며대면적코팅이가능함. * 이온빔소스 (Ion Beam Source) : AF, AR 코팅공정중 assist 역할을함. * 전자빔소스 (Electron Beam Source) : AF, AR, Coloring 등박막코팅에이용되는전자빔소스. * 세라믹, 폴리머, 금속등의제품에 TiN 및 TiO2 박막증착한제품
김용환 ( 주 ) 인포비온 02-2672-7287 02-2672-7290 주소 (150-095) 서울영등포구문래동 5 가 5-3 * AMOLED System * Cluster Sputter System * UHV Sputter System * CIGS(Solar Cell) Cluster System * E-beam Evaporator System * Ion Source jinhee.kim@infovion.com www.infovion.com 박종호 중앙진공 042-636-0050 042-635-5959 주소 (306-823) 대전대덕구대전로 1395 번길 13 vacuum@javacuum.com www.javacuum.com * Brooks Mass Flow Controller, Capacitance Manometer Gauge * Sycon Thickness Monitor * Thyracont Vacuum Gauge * Momentive PBN Heater, Crucible * Vacuum Pump, Valve, Feedthrough, Viewport * Vacuum Component 김용태 티티엘 031-203-1048 031-203-1049 주소 (445-340) 경기화성시반정동 124-31 * 진공플라즈마장비 - 식각장비 (Plasma Etch, RIE, ICP) - 증착장비 (PECVD) * 제품모델 - FABStar Series : Loadlock 장착모델 - LABStar Series : Loadlock 없는모델 - Ministar Series : 저가형 R&D 형모델 www.ttltd.net yhlee@ttltd.net
백충렬 한국알박 ( 주 ) 02-3473-2920 02-3473-0885 주소 (451-833) 경기평택시청북면한산리 837 choong-ryul_paik@ulvac.com www.ulvackorea.co.kr * He Leak Detector : He 의 Leak Rate 를검지하여진공장비및 Parts 내부의 Leak 여부를판단하는분석장치. * SW-1 : 일정한온도의 Filament 에기체분자에따른열손실양에따른전류차로진공도를표시하는 Gauge. 윤덕권, 이규영 한국애질런트테크놀로지수 ( 주 ) 02-2194-9449 02-3452-3947 주소 (135-280) 서울강남구대치동 966-5 번지신사제 2 빌딩 1 층 VPD * IDP-15 * Turbo 304FS * Ion Pump with 4UHV controller * XGS600 controller 저진공에서초. 고진공까지 Agilent Vacuumm 의새로운제품들소개 huiyoon_lee@agilent.com www.agilent.com 임종연 한국표준과학연구원 ( 지경부산업원천기술개발 ) - 고진공펌프개발사업단 042-868-5123 042-868-5285 주소 (305-340) 대전유성구가정로 267 한국표준과학연구원 jylim@kriss.re.kr * 제 1 과제, ( 유 ) 우성진공 :3600 L/s Cryopump 시제품외 * 제 2 과제, 제일진공 :2500 L/s TMP 시제품외 * 제 3 과제, 한국표준과학연구원 : 고진공펌프종합특성평가시스템외
한국표준과학연구원 ( 산업원천기술개발사업개발품전시 ) - 사업명 : 차세대반도체진공공정의실시간측정 / 진단 / 제어기술개발 신용현 042-868-5124 042-868-5289 ysshin@kriss.re.kr www.wacuum.or.kr 주소 (305-340) 대전유성구도룡동 1 번지한국표준과학연구원진공기술센터 * 개발된측정시스템 : 반도체진공공정을실시간으로진단하기위한센서와수집된데이트를처리하기위한툴박스 ( 소프트웨어포함 ) - 2D 플라즈마상태측정센서 - 나노입자실시간측정센서 - 배기화학종실시간측정센서 - 플라즈마변수실시간측정광학센서 - Tool box 및데어터처리 S/W 임인태 한국표준과학연구원 - 연구성과발표 042-868-5121 042-868-5285 주소 (305-340) 대전유성구가정로 267 한국표준과학연구원 itlim@kriss.re.kr
박지원 Quantum Design Korea 02-2057-2710 02-2057-2712 qdk@qdkorea.com www.qdkorea.com 주소 (135-270) 서울강남구도곡로 204 동신빌딩 303 호 ( 도곡동 543 번지 ) * Quantum Design PPMS, MPMS : 극저온고자장환경에서시료의전기적, 자기적열적특성등을손쉽게측정할수있는계측장비로 1.9 K ~ 400 K, 최대 ±16 T 의환경을조성할수있음. * Quantum Design IR Furnace : 소형 IR Furnace 로 2100 의온도로단결정을제작할수있는성장장비. * Tetra Arc Furnace : 4 개의 200 A arc electrodes 를가지는소형 Furnace 로 3000 까지온도를올릴수있음. * Oxford Instruments CryoJet5 : XRD 또는 Beam Line 등에서사용가능한 Nitrogen Gun 으로 85 K 에서 500 K 까지온도제어가가능. * Lynceetec DHM : 홀로그램을이용한 3D Holographic Microscopy 로시료의표면형태를그래픽화하여분석이가능하도록한기기. 측정시간이매우짧아실시간영상촬영이가능하므로 eogud 시료도손쉽게측정이가능하다. * Technix High Voltage Power Supplies : 최대 240 kw 까지출력이가능한 DC Power Supply. Tomoyoshi Endo THERMO RIKO CO., LTD. +81-422-76-2511 +81-422-76-2514 fujikake@thrmo-r.co.jp www.kagacu.com/thermo/ 주소 Mitaka High-Tech Center 8-7-3 Shimorenjaku, Mitaka-city, Tokyo 181-0013 Japan * Infrared Guide Heating System GVL298/GVH298 * Focused infrared Heating Vacuum Furnace IVF298W