2019 년차세대디스플레이연구센터 공정및사용료 ( 안 ) ~ 차세대디스플레이연구센터 -

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1 2019 년차세대디스플레이연구센터 공정및사용료 ( 안 ) ~ 차세대디스플레이연구센터 -

2 - 차례 - Ⅰ. 일반적요율원칙 Ⅱ. 공정, 장비이용요율및분석료 1. 공정및장비이용요율 가 ) 15 X 15 cm 2 급자동화공정나 ) 15 X 15 cm 2 급 LC 셀제작공정다 ) Organic 증착공정라 ) 단위공정 2. 측정, 시뮬레이션및공정개발요율

3 Ⅰ. 일반적요율원칙 정보디스플레이학과경희대내타대학 국공립연구소및기업체 ( 기준수가 ) 요율원칙 기준수가의 50 % 기준수가의 65 % 기준수가의 80 % 100 % 클린룸사용료 각팀당 1 인 1 회 (2 시간미만 ) : 10,000 원 비고 : 별도의허가없이원칙적으로출입을불허함. 증착공정할인 (8 장기준 ) Manual 공정할인 Array 공정할인 할인관련 동일조건증착공정시 (Auto 공정진행에한함 ) 동일조건공정시 (Manual 공정진행에한함, e.g. Photo-lithography) 동일 Array 제작시 샘플수 (x) Array 수 (x) 1. 증착할인과 Manual 공정할인은중복가능 2. Array : 소자로볼수있는모든장치들 x < 3 - x = 3 10 % x = 4 20 % x = 5 30 % x = 6 40 % x = 7 50 % x = 8 60 % x < % 10 x < % 20 x < % x < 5 총견적의 15 % 5 x < 10 총견적의 20 % 3. Array 샘플할인은증착할인및 Manual 공정할인과중복불가능 10 x 총견적의 25 % 예 ) Array 단가 500 만원 x 5 개 = 2,500 만원 x 0.8 = 2,000 만원 공정준수사항 1. 기판 : 0.7T 미만, 15cm x 15cm 미만의기판 2. 총견적은, 1 회증착요율 x 샘플수 x 할인율 3. 고난이도, 고신뢰도의공정은공정개발비부과 ( 협의 ) 4. 공정완료기한 : 최대 2주 ( 실험실상황고려한사전협의필요 ) 15X15cm 2 glass (0.5t) ADRC 교내 타대학 기업체 Clean Glass 15,000/ 장 19,500/ 장 24,000/ 장 30,000/ 장 Guide glass 37,500/ 장 52,000/ 장 60,000/ 장 75,000/ 장 * 기타공정문의 ( 담당자 : 김효민박사 adrc2000@tft.khu.ac.kr) - 1 -

4 Ⅱ. 공정, 장비이용요율및분석료 1. 공정장비요율 가 ) 15 X 15 cm 2 급자동화공정 공정명세부내역 ADRC 교내타대학기업체 a-si:h deposition SiNx deposition SiO2 deposition AKT p-5000 series PECVD (Max. 200 nm) 140,000/ 장 182,000/ 장 224,000/ 장 280,000/ 장 PIN (n+) depostion AKT p-5000 series PECVD (Max nm) IGZO deposition 250,000/ 장 325,000/ 장 400,000/ 장 500,000/ 장 Cu, Ti, Mo deposition AKT p-5000 series DC sputter (Max. 200 nm) 75,000/ 장 117,000/ 장 120,000/ 장 150,000/ 장 IZO (ITO) deposition 115,000/ 장 149,500/ 장 184,000/ 장 230,000/ 장 Au deposition Manual process DC sputter 기본 : < 100 nm, 추가 : 120,000 / 50 nm 130,000/ 장 169,000/ 장 208,000/ 장 260,000/ 장 Ion shower doping system AKT p-5000 series p-ch 110,000/ 장 143,000/ 장 176,000/ 장 220,000/ 장 Photo-lithography PR coat, baker (soft/hard), aligner, develop, PR strip 135,000/ 장 175,500/ 장 216,000/ 장 270,000/ 장 Dry etch AKT p-5000 series MERIE 100,000/ 장 130,000/ 장 160,000/ 장 200,000/ 장 Wet etch Dipping process (BOE etching) (Mo, Al, IZO, ITO, Au, Cr) ( 최대 4 장또는 30 분기준 ) 30,000/ 회 39,000/ 회 48,000/ 회 60,000/ 회 Release layer/pi/gas barrier 850,000/ 장 1,105,000/ 장 1,360,000/ 장 1,700,000/ 장 Flexible Substrate Release layer/pi 600,000/ 장 780,000/ 장 960,000/ 장 1,200,000/ 장 - 2 -

5 ( 나 ) 15 X 15 cm 2 급 LC 셀제작공정 공정명세부내역 ADRC 교내타대학기업체 PI Coating 재료비포함, Spin-coator, Baking 50,000/ 장 65,000/ 장 80,000/ 장 100,000/ 장 PI Rubbing Iwazaki rubbing machine 60,000/ 장 78,000/ 장 96,000/ 장 120,000/ 장 Seal drawing 재료비포함, Mushasi dispensor, UV sealant or thermal sealant 50,000/ 장 65,000/ 장 80,000/ 장 100,000/ 장 Ball spacer spray 5,000/ 장 6,500/ 장 8,000/ 장 10,000/ 장 Column spacer 125,000/ 장 162,500/ 장 200,000/ 장 250,000/ 장 Assembly Align 100,000/ 장 130,000/ 장 160,000/ 장 200,000/ 장 Hot press 100,000/ 회 130,000/ 회 160,000/ 회 200,000/ 회 LC injection BM or C.F 보유재료에한하여재료비포함. 다수의시료동시진행은협의. BM or C.F coat ( 중택 1), baker (soft), aligner, develop, O2 ashing, UV curing 100,000/ 장 130,000/ 장 160,000/ 장 200,000/ 장 150,000/ 장 195,000/ 장 240,000/ 장 300,000/ 장 전면 Coating 의경우 62,500/ 장 81,250/ 장 100,000/ 장 125,000/ 장 OC End seal Polarizer attachment OC coat, baker, annealing UV sealing, UV curing 재료비별도 50,000/ 장 65,000/ 장 80,000/ 장 100,000/ 장 15,000/ 장 19,500/ 장 24,000/ 장 30,000/ 장 ( 다 ) Organic 증착공정 공정명세부내역 ADRC 교내타대학기업체 OLED deposition Metal evaporation 물질단가제외, 증착기사용 LiF, Al (max 100 nm) 중 단가 210,000/ 회 273,000/ 회 336,000/ 회 420,000/ 회 85,000/ 회 110,500/ 회 136,000/ 회 170,000/ 회 Glove box N 2 ambient 23,500/hr 30,550/hr 37,6000/hr 47,000/hr Encapsulation UV seal dispensing, UV curing 23,500/ 회 30,550/ 회 37,600/ 회 47,000/ 회 ITO Substrate Patterned (w/ Bank) 35,000/ 개 전면 ITO 150*150 mm 2 R sheet : 8 ~ 10 Ω/sq 30,000/ 장 39,000/ 장 48,000/ 장 60,000/ 장 Encap glass 16*16*0.7t 5,000/ 개 OLED materials OPV materials 시가반영 50,000/ 종 20,000/ 종 실험관련물질및 ITO 기판, encap glass : 시가반영후탄력적용 - 3 -

6 ( 라 ) 단위공정 공정명세부내역 ADRC 교내타대학기업체 Baker 110 o C, 130 o C 9,000/ 회 11,700/ 회 14,400/ 회 18,000/ 회 Annealing Annealing < 280 o C 10,000/hr 13,000/hr 16,000/hr 20,000/hr Furnace Max 25 장, Temp. < 700 o C, in N 2 ambient 10,000/hr 13,000/hr 16,000/hr 20,000/hr Spin coater 재료비별도 10,000/hr 13,000/hr 16,000/hr 20,000/hr COG manual bonder FPC bonding ACF manual bonder FOG/TAB manual bonder 샘플에따라가격차등적용재료비별도 20,000/ 장 26,000/ 장 32,000/ 장 40,000/ 장 진공포장기 12,500/ 장 16,250/ 장 20,000/ 장 25,000/ 장 Glass scriber 22,500/0.5 hr 29,250/0.5 hr 36,000/0.5 hr 45,000/0.5hr UV/O3 cleaner UV curing 172 nm lamp 400 W 15,000/30 분 19,500/30 분 24,000/30 분 30,000/30 분 - 4 -

7 2. 측정, 시뮬레이션및공정개발요율 장비명세부내역기준 ADRC 교내타대학기업체비고 Cell gap / pretilt angle 측정기 Display Color analyzer 20,000 26,000 32,000 40,000 광학현미경 BX60M-11E47D 1 시간 10,000 13,000 16,000 20,000 전자저울 EL-200s 1 회 5,000 6,500 8,000 10,000 TFT 측정시스템 TFT 측정 (+ 온도 ) Agilent 4156C Agilent 41501A 1 시간 35,000 45,500 56,000 70,000 60,000 78,000 96, ,000 C-V 측정시스템 Conductivity 측정 전류전압측정을위한샘플링 Keithley 595 Keithley 5951 Keithley 230 Keithley 590 Keithley 4200 Keithley 485 Agilent 195 샘플링미포함 Al deposition, Bonding, Silver paste 1 시간 21,000 27,300 33,600 42,000 30,000 39,000 48,000 60,000 협의 100, , , ,000 Hall effect 측정 ECOPIA, 샘플링포함 35,000 45,500 56,000 70,000 Sheet resistance NAPSON RT 시간 5,000 6,500 8,000 10,000 박막두께측정알파스텝, ET 시간 12,000 15,600 19,200 24,000 BLA process KORONA TM LDA 1 시간 100, , , ,000 Digital oscilloscope TDS 시간 10,000 13,000 16,000 20,000 Contact angle (< 10 hr) 30,000 39,000 48,000 60,000 Lifetime 측정기 Polaronix M6000 (< 30 hr) (< 50 hr) x 1.3 x 1.5 협의. (> 50 hr) x 2.0 Photomask design Layout 1 장 2,500,000 (Cr mask) 600,000 (Film mask) 공정개발비신규개발의경우 - 자체검토 Mask 사용료 기존 ADRC Mask 사용시 건 1,000,

8 장비명세부내역기준 ADRC 교내타대학기업체비고 분광광도계 Spectrophotometer 구동드라이버측정시스템 Agilent 6052A Agilent E3647A Agilent 33250A Keithley 2000 Keithley 230 Keithley ,000 26,000 32,000 40,000 Transient EL & Cryogenic 시스템 Agilent 8114A Amplifier TCPA300 Osiloscope TDS3054B 30,000 39,000 48,000 60,000 I-V-L 시스템 Keithley 238 CS-100 스펙트럼측정계 PR 시간 Solar simulator Asahi Spectra Max-302 Keithley ,000 27,300 33,600 42,000 OLED EQE measurement Keithley 2635A CS 2000A Solar cell EQE measurement McScience K3100 PL 측정 JASCO FP-6500 SCINCO FS-2 26,500 34,450 32,400 53,000 UV/Vis 측정 21,000 27,300 33,600 42,

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