์ฐจ์ธ๋๋ ์ด์ ๋์คํ๋ ์ด ๋ํฅ๋ฐ์ ๋ง ์ดํ์์ง์ ๊ดํ์ฐ๊ตฌํ KETI Oct. 14, 2010
2 Contents ๋ ์ด์ ๊ฐ์ ๋ ์ด์ ๋์คํ๋ ์ด ์ฐจ์ธ๋๋์คํ๋ ์ด๋ฅผ์ํ๊ฐ์๊ด๋ ์ด์ ๊ธฐ์ KETI s Lasers
3 ๋ ์ด์ ๊ฐ์
4 ๋ ์ด์ ์์ ์ ๋ ์ด์ ? - ๋ ์ด์ ๋ Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation ์ ์ฝ์๋ก, ๋ณต์ฌ์ ์์ ๋๋ฐฉ์ถ์์ํ๊ด์ ์์ฆํญ์๋งํจ - ๋ ์ด์ ๋ฐ์ง๊ธฐ๋ํฌ๊ฒ๋ ์ด์ ๋งค์ง, ์ฌ๊ธฐ์ฅ์น, ๋ ์ด์ ๊ณต์ง๊ธฐ๋ก๊ตฌ์ฑ๋๋ฉด, ๋ ์ด์ ๋ฅผ๋ฐ์์ํค๋๋งค์ง์๊ธฐ์ฒด, ์ก์ฒด, ๊ณ ์ฒด์ํ๋ชจ๋๊ฐ๋ฅํจ
5 ๋ ์ด์ ์ํน์ง ๋ ์ด์ ์ญ์ฌ - 1960 ๋ ๋๊ฐ๋ฐ. ์ด์ฐฝ๊ธฐ๋ฃจ๋น๋ ์ด์ ๋ฅผ์ด์ฉํํผ๋ถ๋ฐ์ ์ ๊ฑฐ, ์์น๋ฃ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์๋ํ๊ธฐ์ด์ ์ธ ๋ ์ด์ ํน์ง - ๋จ์์ฑ์ด๋ฐ์ด๋จ (monochromatic) - ์์์ด๊ณ ๋ฅด๊ณ ๊ฐ์ญํ์์ด์ผ์ด๋๊ธฐ์ฌ์ (coherent) - ํผ์ง์ง์๊ณ ์ง์งํ๋ฉฐ์ง๊ด์ฑ์ด์ข์ (collimating) - ํธ๊ด์ฑ์ด๋ฐ์ด๋จ (polarization) - ์๋์ง๋ฐ๋๊ฐํผ (intense) ๋ ์ด์ LED ๋จํ ๋ ์ด์ - ์์์์ฑ๋ ์ด์ ๋น์์ง์ง์ฑ๋ ์ด์ ํ์ฅ์๊ฐ์ญ์ฑ
Laser Nanophotonics 6 ๋ ์ด์ ์ํน์ง Reflected RF 100 m RADIO (RADAR) ๋ ์ด์ ์ผ๋ฐ๊ด์ HEAT Radiation Reflected LIGHT 1 mm 12 µm 8 5 3 µm 1500 nm 750 350 200 100 LWIR MWIR SWIR NIR VIS UV X-Ray ๋จ์์ฑ (monochromaticity) ๊ฐ์ญ์ฑ (coherent) ์งํฅ์ฑ (directionality, collimation) ๊ณ ๊ดํ๋ (high brightness, high energy) ํผํฉ์ฑ (polychromatic) ๋น๊ฐ์ญ์ฑ (incoherent) ๋น์งํฅ์ฑ (not parallel, not collimate) ๋ฎ์์ธ๊ธฐ (not intense)
7 ๋ ์ด์ ๋์คํ๋ ์ด
8 ๋ ์ด์ ๋์คํ๋ ์ด ๋ ์ด์ , ์ธ์์์๊ฐ์ฅ์๋ฒฝํ๋น - ์ต๊ณ ์๋ช ๋, ์ฑ๋, ์์ฐ์์๊ตฌํํ์์๋๊ด์ - ์ต๊ณ ์์ ๋ขฐ์ฑ, ์๋ช , ์์์ ์ฑ์๊ฐ๋๊ด์ - ์ต๊ณ ์ํจ์จ์๋ผ์์๋๊ด์ Laser TV ์๊ฐ์ - ๋ ์ด์ ๋์คํ๋ ์ด๋๋ฎ์๊ฐ๊ฒฉ์ ์ง - ๋น์ํธ๊ดํน์ฑ๋๋ฌธ์์ฌ๋ฌ๊ดํ๊ณ๋ฅผ์๋ต - ํต์์ ๋ฐ๋์ฒด๊ฐ๊ฒฉํ๋ฆ๊ณผ๋์ผํ์์ง์ - Mercury free; ์นํ๊ฒฝ์ ํ๊ตฌํ Laser Color Space NTSC 50 ์ด์์ LCD TV, PDP TV ๋๋นํ์ฌ ๊ฐ๊ฒฉ๊ณผ๋ฌด๊ฒ๊ฐ 1/2 ์์ ์๋น์ ๋ ฅ์ 1/4 ์๋ชจ 100 % ์ด์ NTSC ์นผ๋ผ๊ตฌํ์ฉ์ด NTSC: Display ์์์ด phosphors ์์ํด๊ตฌํ๋๋์์๋ฒ์ 2 ๋ง์๊ฐ์ด์๋ฐ์๊ตฌ์ ์์ฐ์๊ฐ์ ๋ ด ( ๋ถํ์์กฐ๋ฆฝ์ฐ์ ์ ) ๋๊ป๋์ ์ฌ์์ค
9 Mobile projectors ์ถ์ , ์ด๋์๋์ด๋คํด๋๋จ๋ง๊ธฐ๋ฅผํตํด์๋๋ํ๋ฉด์๋์คํ๋ ์ด๋ฅผ๊ตฌ์ฌํ ์์๋๊ธฐ์ ์ด๋ฏธ์ง์์ง๊ณผ๊ดํ๋ชจ๋๋ก๊ตฌ์ฑ ํ๊ธฐ์ ์์ฑ๋ : ์์ง >> ๊ดํ๋ชจ๋
10 ๋ชจ๋ฐ์ผํ๋ก์ ํฐ๊ตฌ์ฑ Blue Gain chip SHG Green Red Diode Pumped Laser Gain chip Mirror LD chip Laser Fiber bundle holder Fiber Laser Diode Optical bench for Fiber Collimation Lens Full-color laser ๊ด์๋ชจ๋๊ฐ๋ต๋ ( ํ์ฌ์์๊ฐ์๊ฐ๋ณ๊ด์์๊ฐ๋ฐํ๊ณ , ํ๋์ํจํค์ง๋ด์์ง์ ํ์ํด ) 2D MEMS mirror scanner (Wide angle ๋ฐ๊ณ ์๋์์ํตํด๋ํ๋ฉด๊ตฌํ )
11 ํ์์ฑ ํด๋๋จ๋ง๊ธฐ์๋ณด๊ธํ๋ DMB๋ฑ์๋ฉํฐ๋ฏธ๋์ด์๋น์ค๊ฐ์ PMP, ๊ฒ์, ์์ ๋น๋์ค, ํด๋ํํ์ต๊ธฐ๋ฑ์๋ค์ํ์ปจํ ์ธ ๋ฐ์ 2-3 ์ธ์น์๋ถ๊ณผํํ๋ฉด์ํตํด์์ง์์ฝํ ์ธ ๋๋ฆด์์์ ์ํ๋จ๋ง๊ธฐ / ๋ํ๋ฉด์๋์์๋ง์กฑ์ํฌ์์๋์ ์ผํ๊ธฐ์ ์ด LPD Full color LPD ๊ตฌํ๋ฐ์ํํ์ํด RGB ๊ด์๋ฐ MEMS ์ค์บ๋๊ฐ๋ฐํ์ ์ค์์ฑ ํด๋๋จ๋ง๊ธฐ์ฉ green laser, blue laser์์์ฅ๊ท๋ชจ ๋ง์ดํฌ๋กํ๋ก์ ์ ์ฉ์ค์บ๋์์์ฅ๊ท๋ชจ ๊ฐ์ธ๊ฐ์ ๋ถ์ผ์์์ด์์ธ๊ณ์์ฅ์๋ํ๊ตญ๋ด๊ธฐ์ ์ฐ์ Time to market (2010๋ ๋ถํฐ์์ฅํ์ฑ์์ ) ๋ค์ํ๊ธฐ์ ํ๊ธํจ๊ณผ (UV, Near IR, Mid IR )
12 ํ๋ก์ ์ ๋์คํ๋ ์ด์๋ฐ์ ๋ฐฉํฅ Micro-projector value
13 ํ๋ก์ ์ ๋์คํ๋ ์ด ๋จ์๋ช : 5000~8000Hr ์ํํํ๊ณ ์์ฌํ์ฑ (NTSC 70%) ์๋น์ ๋ ฅ /Mobile ํ๊ณ NTSC 105% ๊ณ ํจ์จ๋ฏธ๋๊ด์ ์ด์ํ / ์ ์ ๋ ฅ / ์ ๊ฐ๊ฒฉ NTSC 130% ํ์ฌ๊ธฐ์ ์ ๊ธฐ์ ๋ฏธ๋๊ธฐ์ R G B Lamp/CCFL PTV / Data Pj Sony, SEC, ๋ฏธ์ธ ๋น์, ๋์๋ฐ, LG, Panasonic.. LED PTV / Pj ๊ฐ๋ฐ์ค Sony, SEC, ๋ฏธ์ธ ๋น์. LASER ๋ฏธ๋๊ด์ : PTV / Pj ๋ถํ๋ฐ์์๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ์ค Samsung, Sony.. Symbol, Fraunhofer
Projection Display Device Trends Compact/ Structure Simplicity/ Competitive Price Nanophotonics 14 ๋์คํ๋ ์ด๋ฐ์ ๋ฐฉํฅ Light Source Development Trends Life Span/ Natural Color/ Efficiency/ Low Power Consumption Point Scanning Moving mirror = 1 Future Products 07 Line Panel Moving mirror = 1K Plane Panel Moving mirror ~ 1M Conventional Products 05 06 New Products Display Device Arc Lamp LED Laser Light Source Life = 8,000 hrs NTSC = 70% Life = 20,000 hrs NTSC = 105% Life = 50,000 hrs NTSC = 130% Natural Color
15 ๋ ์ด์ ๋์คํ๋ ์ด์์ฉ 3D ๋ ์ด์ ํ๋ก์ ํฐ - ๋ํ๋ฉด (150 ์ธ์น์ด์ํ์ฅ ) - ๊ณ ์ ๋ช - ์ต๊ณ ์ํจ์จ์๋ผ์์๋๊ด์ ๋ ์ด์ Real 3D TV - ๋์งํธํ๋ก๊ทธ๋ํผ - ๋ ์ด์ ๊ฐ์ญ์ฑ์ด์ฉ
16 LCD laser BLU (back light unit) ํฌ๊ณผ๊ด, 6% ์นผ๋ผํํฐ ํธ๊ด์ ๊ด์ ๋๋ผ์ด๋ฒ IC ๊ธ๋ผ์ค ๊ธฐํ๋ถํ 23% 19% ์ ๊ฑฐ๊ฐ๋ฅ ํธ๊ดํ Glass Color filter ITO ์ ๊ทน๋ฐฐํฅ๋ง 8% 15% 6% 29% LCD BLU (Back Light Unit, ๋ฐฑ๋ผ์ดํธ ) ๊ฐ๊ฒฉ๊ตฌ์ฑ๋ ๋ฐฐํฅ๋ง TFT Glass ํธ๊ดํ ๊ด์ (CCFL ๋๋ LED), 100%
17 LCD TV BLU ๊ด์๋น๊ต BLU ๊ด์์ข ๋ฅ CCFL LED Laser ๋น๊ณ ( ๋๋ ธ TV, CNT BLU) ๋ถํ๊ตฌ์ฑ ํธ๊ดํ์ ๋ฌดํ์ํ์๋ถํ์ํ์ ์นผ๋ผํํฐ์ ๋ฌดํ์ํ์๋ถํ์ํ์ ๋๊ดํ์ ๋ฌดํ์ํ์ํ์๋ถํ์ ์ํํ, NTSC 100% 130% 200% 110 ์ฑ๋ฅ ์๋ชจ์ ๋ ฅ 100 90 < 50 80 ์๋ช ( ์๊ฐ ) < 5,000 ~20,000 > 20,000 ๋ฏธ๊ฒ์ฆ BLU ์์ฐ์๊ฐ์ค๊ฐ๋์๋ค์๋ฎ์์ค๊ฐ
18 ์ฐจ์ธ๋๋์คํ๋ ์ด๋ฅผ์ํ ๊ฐ์๊ด๋ ์ด์ ๊ธฐ์
19 Existing visible lasers Red color laser - ๋ฐ๋์ฒด๊ธฐ์ ์์ํ๊ณ ์ถ๋ ฅ์ red color ์์ฑ๊ฐ๋ฅ Diode bar array Fiber bundle Output beam Cylinder lens Green & Blue laser? - Blue color: ๋ฐ๋์ฒด๊ธฐ์ ์์ํด์์ญ mw ์ถ๋ ฅ๊ฐ๋ฅ (not real blue) - Green color: no solution from semiconductor technology
20 First target of laser display Laser TV - Real color ๊ตฌํ - 2000 ๋ ๋์ค์ด๋ฐ์ธ๊ณ์ ๊ฐ์ ์ ์ฒด์์์ฐ๊ตฌ - ์ ํฉํ๋ ์ด์ ๊ด์๋ถ์ฌ๋ก์คํจ Real color display by laser
21 ๊ฐ์๊ด๋ ์ด์ ๊ธฐ์ ๋น์ ํ๊ดํ๊ธฐ์ - SHG, OPO, DFG ๋ฑ์ํตํ new λ (green, blue, red) ์์ฑ - ๋ฐ์ ํํจ์จ์ด๋์๊ด๊ฒฐ์ ์๊ตฌ - Bulk optics ์๋ฐ๋ฅธํฐ๊ณต๊ฐ๊ณผ๋ถํผ์๊ตฌ 14 SHG DFG S ig n a l, id le r w a v e le n g t 12 10 8 6 4 2 60 d eg. 70 d eg. 80 d eg. 90 d eg. 0 1.2 1.25 1.3 1.35 1.4 1.45 1.5 1.55 1.6 1.65 1.7 1.75 1.8 1.85 i =2 - f s Pump wavelength (um) p =2 f s f
22 ๊ฐ์๊ด λ ๋น์ ํ๊ดํ๊ธฐ์ 898 n m 449 n m 1047 n m 523 n m SHG Blue Pump Laser SHG OPO Green SHG Red 1256 n m 628 n m U.S. Patent #5,740,190
Nonlinear optic efficienry [a. u.] 0 10 20 30 40 Nanophotonics 23 Quasi phase matching (QPM) ๊ธฐ์ Periodic poling ๋น์ ํ๊ดํ๊ธฐ์ - ๊ฒฐ์ ์๋ถ๊ทน๋ฐฉํฅ์์ฃผ๊ธฐ์ ์ผ๋ก๋ฐ์ ( ๋๋ ธ์ค์ผ์ผ๋ถ๊ทน๋๋ฉ์ธ์์ง๋์ด๋ง ) - ๊ฐ์ฅ๋์๋น์ ํ๊ณ์์๊ฒฐ์ ์ด์ฉ์๊ฐ๋ฅํ๊ฒํ๋์ ์ผํ๊ธฐ์ M QPM M not phase-matched a) Phase Mismatched case 0 2 4 6 8 10 Interaction length [L i ] b) Quasi-Phase Matched case c) Nonlinear effect in QPM structure
24 QPM ์์๊ธฐ์ ๋ฐ๋์ฒด๊ณต์ ๊ธฐ์ + ์ฌ๋ฃ๊ธฐ์ ์์ตํฉ - ๋๋ ธ์ค์ผ์ผ๋ถ๊ทน์ ์ด - ๊ด๋ํ๋ก์ง์ ํ๊ธฐ์ x propagation ์๋ฐ๋ถ๊ทน์ต์ ๊ธฐ์ ๊ณ ์ ์์ด๊ณ ์์ ์ด๊ธฐ์ Mode-overlapping ๊ธฐ์ x propagation ๋ถ๊ทน๋ฐ์ ์ ์ด๊ธฐ์ ์จ๋์์ ํ๊ธฐ์ Pyro-effect ์ ์ด๊ธฐ์ ๊ดํจํค์ง๊ธฐ์ Deep-dry etching ๊ธฐ์ Ridge ๊ด๋ํ๋ก๊ธฐ์ QPM ํ์ฑ๊ธฐ์
25 World 1 st full color laser DPSS + QPM ์ตํฉ๊ธฐ์ - ๋จ์ผ๊ด์์ผ๋ก๋ถํฐ RGB 3 color ํ๋ - ๊ฐ์ฅ๋์๋น์ ํ๊ณ์์๊ฒฐ์ ์ด์ฉ์๊ฐ๋ฅํ๊ฒํ๋์ ์ผํ๊ธฐ์
26 World 1 st full color laser RGB ๋ ์ด์ ํน์ง - 2006 ๋ ๋ง๋ณด๊ณ - RGB total power: ~ 1W - Pumping power: ~ 5W - Switching: AO Q switching - Rep. rate: ์ MHz
27 KETI s Lasers
28 ๊ธฐ์กฒ๊ธฐ์ ์ํ๊ณ์ ๋น์ ํ bulk optics: ๊ณต๊ฐ์ ๋ ฌ ๋ฎ์๊ดํจ์จ : < 20% ๊ณผ๋ํ๋ถํผ : ( ์์ญ cm) 3 ๋์๊ฐ๊ฒฉ ๋ฎ์์์ ์ฑ๋ฐ์ ๋ขฐ์ฑ KETI s vis laser ๊ด๋ํ๋ก์ง์ ๋น์ ํ : ์ํํ Chip-base ์ ์ : ์์ฐ์ฑ ํ์ฅ๋ณํํจ์จ๊ทน๋ํ : ~ 50% ๋ํ๋ก์ง์ QPM PPLN ๋ณด์ ๊ธฐ๊ด : ์ธ๊ณ์ ์ผ๋ก NGK, NEL, KETI, 3 ๊ฐ๊ธฐ๊ด
29 ์ง์ ๋น์ ํ QPM ๊ธฐ์ ๋ฐ๋์ฒด๊ธฐ์ ์์ํด์๋ real green, blue LD ์ ์๋ถ๊ฐ ์ ์ธ๋์ญํ์ฅ์๊ฐ์๊ด๋์ญ์ผ๋กํ์ฅ๋ณํ์์ํด green, blue ํ๋ณด๊ฐ๋ฅ ํ์ฅ๋ณํํจ์จ๊ทน๋ํ๋ฅผ์ํํ์๊ธฐ์ ๋ณํํจ์จ ~ (optical intensity) 2 : ๋ํ์ง์ ๋ณํํจ์จ 100 ๋ฐฐ์ด์์ฆ๋ ํํํ๋ํ๋ก์ง์ ๋น์ ํ๊ดํ๊ธฐ์ Wafer thinning: < 10 m ๋ํ๋ก์ง์ QPM PPLN ๋ณด์ ๊ธฐ๊ด : ์ธ๊ณ์ ์ผ๋ก NGK, NEL, KETI, 3 ๊ฐ๊ธฐ๊ด 4.5 m V ๊ด๋ํ๋ก์์ญ 1064nm (920nm) 532nm (460nm) 6um ๋ํ๋ก์ง์ ์ฃผ๊ธฐ์ ๋ถ๊ทน๋ฐ์ SHG PPLN waveguide ์ด์ํ๊ณ ์ถ๋ ฅ green, blue laser ๊ด์
30 KETI: Why QPM integrated with W/G I 2 2 d c o 2 2 eff 3 2 n n 2 L 2 I 2 ( o) 2 kl sin 2 2 kl 2 7um 10um W/G QPM is the most effective method to generate a new To increase I 2 for a given material (fixed d eff ) and a fixed chip length (fixed L), I 2 (o), input beam intensity, should be increased. Waveguide integrated QPM devices Owing to W/G QPM, bulk nonlinear optic technology can be developed to planar integrated nonlinear optics planar SHG, planar OPO, fiber-pigtailed nonlinear optics, miniaturized and packaged nonlinear optic module
31 Green/blue chip ์ ์ C-1) Poling C-2) Chip bonding C-3) Lapping/Polishing C-6) Electro-plating C-5) Ridge WG pattern C-4) ์ ๊ทน์ฆ์ฐฉ C-7) Dry etching C-8) Cross section Polishing C-9) Green Laser Chip ์๋ฃ
32 KETI s status - I Watt ๊ธ green laser: world best ์ต์ข ๋ชฉํ : total power 5Watt V 6um
33 KETI s status - II RGB full color ๋ชจ๋ํ : ์ต์ข ๋ชฉํ 100cc ๊ธ
34