CONTENTS ⅛ ⅛ ½ ½ ⅛ ⅛
µ µ µ µ µ 2 3
µ µ µ 4 5
µ µ µ 6 7
8 9
Campatibility Guide POU Filtration Bulk O-Rings Campatibility Guide POU Filtration Bulk O-Rings E Excellent G Good at Ambient Temperatures LR Limited Recommendation NR Not Recommended Please contact Pall Microelectronics for specific recommendations. Gas Gaskleen Gaskleen IV Membralox Mini-Gaskleen /PFA-Gaskleen 316L Ultramet -L Ultramet -L Nickel Media Emflon Emflon PF Viton 1 A Silicone EPDM FEP/Viton E Excellent G Good at Ambient Temperatures LR Limited Recommendation NR Not Recommended Please contact Pall Microelectronics for specific recommendations. Gas cont d Gaskleen Gaskleen IV Membralox Mini-Gaskleen /PFA-Gaskleen 316L Ultramet -L Ultramet -L Nickel Media Emflon Emflon PF Viton 1 A Silicone EPDM FEP/Viton Air (CDA System) E E E E E E E E E E E E Ammonia (NH 3 ) NR E E NR E G G E NR NR G NR Argon (Ar) E E E E E E E E E E E E Arsine (AsH 3 ) G E E E E G G E G G G E Boron Trichloride (BCl 3 ) LR E E E E G G E LR NR NR E Boron Trifluoride (BF 3 ) NR E NR E E G NR E NR NR NR E Carbon Monoxide (CO) E E E E E NR E E E E E E Carbon Dioxide (CO 2 ) E E E E E E E E E E E E Carbon Tetrachloride (CCl 4 ) LR E E E E G LR E LR NR NR E Carbon Tetrafluoride (CF 4 ) NR E LR E E G NR E NR NR NR E Chlorine (Cl 2 ) NR E E E E G NR E NR NR NR E Diborane (B 2 H 6 ) G E E E E G E G G G G E Dichlorosilane (SiH 2 Cl 2 ) LR E E E E G LR E LR NR NR E Hexafluoroethane (C 2 F 6 ) NR E LR E E G NR E NR NR NR E Hydrogen (H 2 ) G E E E E E G E G NR G E Hydrogen Bromide (HBr) LR E E E E G LR E LR NR NR E Hydrogen Chloride (HCl) LR E E E E G LR E LR NR NR E Hydrogen Fluoride (HF) NR E NR E E G NR E NR NR NR E Nitrogen (N 2 ) E E E E E E E E E E E E Nitrogen Trifluoride (NF 3 ) NR E NR E E G NR E NR NR NR E Nitrous Oxide (N 2 O) LR E E E E E LR E G G E E Oxygen (O 2 ) NR E E E E G NR E NR NR NR E Ozone (O 3 ) NR E E E NR NR NR E NR NR NR E Phosphine (PH 3 ) G E E E E G G E G G G E Phosphorous Pentachloride (PCl 5 ) LR E E E E G LR E LR NR NR E Phosphorous Pentafluoride (PF 5 ) NR E NR E E G NR E NR NR NR E Silane (SiH 4 ) G E E E E G G E G G G E Silicon Tetrachloride (SiCl 4 ) LR E E E E G LR E LR NR NR E Stibine (SbH 3 ) G E E E E G G E G G G E Tetraethyl Orthosilicate (TEOS) G E E E E G G E G G G E Trimethyl Borane ((CH 3 ) 3 B) G E E E E G G E G G G E Trimethyl Phosphate ((CH 3 ) 3 PO 4 ) G E E E E G G E G G G E Tungsten Hexafluoride (WF 6 ) NR E NR E E G NR E NR NR NR E 10 11
Gas Flow Schematic General Gas Filter and Purifier Recommendation Diagram Materials Removal Application Number Filter Type of Construction Rations (μm) Bulk Non-Toxic 1 Replaceable Emflon PTFE/Polypropylene 0.003 Chase/Core Non-Toxic 2 Replaceable Emflon PTFE/Polyprolylene 0.003 Process Equipment 3 Gasket-Sert Nickel 200 Gasket w/316l or Hastelloy C-22 0.4 Non-Toxic Gaskleen Assembly PTFE/Polyproylene.Stainless Steel 0.003 Ultranet-L Assembly AllStainless Steel 0.003 Ultramet-L Nickel Media Nickel/Stainless Steel 0.003 Assembly Spec. Gas Cabinets 4 Gasket-Sert Nickel 200 Gasket w/316l of Hastelloy C-22 0.4 Gaskleen Assembly PTFE/Stainless Steel 0.003 Ultramet-L Assembly All Stainless Steel 0.003 Ultramet-L Nickel Media Nickel/Stainless Steel 0.003 Assembly Gas Panels/Sticks 5 Gasket-Sert Nickel 200 Gasket w/316l or Hastelloy C-22 0.4 Gaskleen Assembly PTFE/Stainless Steel 0.003 Ultramet-L Assembly All Stainless Steel 0.003 Ultramet-L Nickel Media Nickel/Stainless Steel 0.003 Assembly Equipment P.O.U. 6 Gaskleen Purifier All Stailess Steel Containing 0.003 Reactive Material Gaskleen Purifier PPT Intercalate Reactive Metal Compounds / 0.003 Stainless Steel Ultramet-L Assembly All Stainless Steel 0.003 Ultramet-L 1000 Series All Stainless Steel 0.003 Assembly Gaskleen Assembly PTFE/Stainless Steel 0.003 Mini-Gaskleen Assembly PTFE/Stainless Steel 0.003 Ultramet-L Nickel Media Nickel/Stainless Steel 0.003 Assembly 12 13
PFA Gaskleen 6101 & Gaskleen 6101 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (Air, 20 ) 산소, 특수 가스 공정 및 불활성 가스에 적용 100% 완전성 Test 클린룸 제조 및 패킹 <GLFPF6101VM4> <GLFPF6101VM6/8> 미디어 PTFE+P.P, PTFE+PFA 하우징 SST 316L <GLF6101VM4> <SGLF6101VM6/8> 다양한 가스 호환성 높은 온도 및 압력 특성 다양한 Fitting 선택 컴팩트한 사이즈 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ¼ VCR, ¼ Buttweld, ½ VCR 표면처리 25μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cc/sec 추천유량 500 slpm (Max. 600slpm) 최대사용압력 750 psig @ 250 52 bar @ 121 최대정방향차압 100 psid @ 70 7 bar @ 21 최대역방향차압 50 psid @ 70 3.4 bar @ 2.1 여과면적 232 cm2 / 0.25ft 2 (PFA) 464 cm2 / 0.5ft 2 O-링 바이톤심 테프론* * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) <가스클린 6101(PTFE+P.P)> 제품번호 길이(in/mm) GLF6101VM4 Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.56/141 GLF6101VM6/8 Gaskleen, ⅜ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.81/148 GLF6101VFM4 Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Female/Male 5.81/148 GLF6101SM4S Gaskleen, ¼ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.56/141 GLF6101SM6S Gaskleen, ⅜ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.81/148 GLF6101SM8 ½ Swagelok Male/Male 4.38/111 GLF6101FP4 Gaskleen, ¼ Female NPT 5.19/132 SGLF6101VM4M Short Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 SGLF6101VM4 Short Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 4.94/126 SGLF6101VM6/8M Short Gaskleen, ⅜ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 SGLF6101SM4S Short Gaskleen, ¼ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 4.19/106 SGLF6101SM6S Short Gaskleen, ⅜ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.00/127 <PFA-가스클린 6101(PTFE+PFA)> 제품번호 길이(in/mm) GLFPF6101VM4 PFA Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.56/141 GLFPF6101SM4S PFA Gaskleen, ¼ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.56/141 GLFPF6101SM6S PFA Gaskleen, ⅜ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.81/148 GLFPF6101VM6/8 PFA Gaskleen, ⅜ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.81/148 GLFPF6101VXM4AM PFA Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Female 5.56/141 SGLFPF6101VM4 Short PFA Gaskleen, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 4.94/125 SGLFPF6101VM6/8M Short PFA Gaskleen, ⅜ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 SGLFPF6101SM4S Short PFA Gaskleen, ¼ Compression Seal (Swagelok or Compatible) Male/Male 4.19/106 14 15
PMF Gasket-Sert TM Filter 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (Air, 20 ) Regulators, MFC 등을 보호 설치시 하우징 불필요 다양한 가스에 적용 가능 <Inlet 2kgf/cm 2 > CNF1004USG4 CNF1004USG6 미디어 SST 316L 가스켓 SST 316L or Nickel <Inlet 5kgf/cm 2 > CNF1004USG4 CNF1004USG6 정격여과율 0.4μm 연결타입 ¼, ⅜, ½ VCR 1), UJR 가스켓 최대사용온도 Non-Corrosine Gases: 840 / 450 내차압 60 psid @ 100 / 4.1 bar @ 40 1) VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) 인라인 디자인, 설치가 용이 다양한 호환성 낮은 차압 메탈구조 제품번호 구성 연결타입 CNF1004UNG4 미디어: SST 316L, 가스켓: Nickel ¼ VCR, UJR CNF1004USG4 미디어: SST 316L, 가스켓: SST 316L ¼ VCR, UJR CNF1004USG6 미디어: SST 316L, 가스켓: SST 316L ⅜, ½ VCR, UJR 16 17
PSP Sealed-In-Line Filter 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (Air, 20 ) 100% 완전성 Test SST 316L 하우징 (E.P.처리) 고유량 가스 여과 Low Out Gassing / H2O, THC, 10ppb 미만 <SILF2> <SILF4> 미디어 SST 316L 하우징 316L E.P. <SILF2> <SILF4> 다양한 가스 호환성 높은 온도 및 압력 특성 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 표면처리 헬륨 Leak 테스트 추천유량 최대사용압력 최대정방향차압 최대역방향차압 Certifications Preconditioning ½ up to 4 buttweld 1212시리즈: 10μin Ra 1 x 10-9 atm-cm3/s 2,500 slpm 1.72 MPa @ 93 250 psid @ 200 0.69 MPa @ 20 100 psid @ 68 0.34 MPa @ 20 50 psid @ 68 Eu Pressure Equipment Directive: Assemblies comply with the European Union s Pressure Equipment Directive 97/23/EC and are CE marked ASME: 168 mm(6.6 in) and 219mm (8.6 in) diameter assemblies are designed, manufactured and stamped in accordance with the ASME Code Factory preconditioned with purified N2 규격 (mm) 제품번호 연결타입 지름(in/mm) 길이(in/mm) SILF2201BW12 22 tube, ¾ buttweld 2.5/64 30.8/781 SILF2201BW16 22 tube, 1 buttweld 2.5/64 30.8/781 SILF4201BW16 22 tube, 1 buttweld 4.0/102 32.5/826 SILF4201BW24 22 tube, 1½ buttweld 4.0/102 32.5/826 SILF6201BW24 22 tube, 1½ buttweld 6.6/168 34.0/864 SILF6201BW32 22 tube, 2 buttweld 6.6/168 34.0/864 SILF8201BW48 22 tube, 3 buttweld 8.6/219 34.0/864 SILF8201BW64 22 tube, 4 buttweld 8.6/219 34.0/864 18 19
Gasket-Sert TM PSP Filter 초기 압력 손실 - 가스유량곡선 (Air, 20 ) Regulator, MFC등을 보호 다양한 가스에 적용가능 설치시 하우징 불필요 고유량 미디어 SST 316L 가스켓 SST 316L 규격 (mm) 정격여과율 0.4μm @ 99.9% 연결타입 추천 유량 최대사용온도 최대허용차압 ¼ VCR* 가스켓 28 slpm@90psig/inlet 불활성 가스: 300 /572F 부식성 가스: 30 /86F inside out 690kPa@20 /100psid@68 F outside in 1380kPa@20 /200psid@68 F * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 인라인 디자인, 설치가 용이 낮은 차압 제품번호 구성 연결타입 CNF1104USG4 미디어: SST 316L, 가스켓: SST 316L ¼ VCR or ¼ UJR 20 21
⅛ Gasket-Sert TM PSP Filter 1 1 /8 W-Seal ⅛ 초기 압력 손실 - 가스유량곡선 (Air, 20 ) 미디어 SST 316L 가스켓 SST 316L 정격여과율 0.4μm @ 99.9% 연결타입 최대사용온도 최대허용차압 1⅛ W-Seal 불활성 가스: 300 /572 부식성 가스: 300 /86 inside out 0.7MPa@38 /100psid@100 outside in 1.4MPa@38 /200psid@100 규격 (mm) 반도체 W-seal 가스 판넬용 필터 제품번호 구성 연결타입 CNF1104UPSG2 미디어: SST 316L, 가스켓: SST 316L 1 ⅛ W-seal gasket 22 23
Gasket-Sert TM Filter 초기 압력 손실 - 가스유량곡선 (Air, 20 ) Regulator, MFC등을 보호 다양한 가스에 적용가능 설치시 하우징 불필요 미디어 SST 316L 또는 Hastelloy C-22 가스켓 Nickel 또는 SST 316L 정격여과율 연결타입 헬륨 Leak 테스트 설계 조건 추천 유량 최대사용온도 최대허용차압 0.4μm ½, ¼ VCR* 가스켓 1 x 10-9 atm cc/sec 1 x 10-11 atm cc/sec 28 slpm @ 100psig/inlet 불활성 가스: 450 부식성 가스: 21 400psid@840 F/27bar@450 750psid@100 F/52bar@38 규격 (mm) * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 인라인 디자인, 설치가 용이 다양한 호환성 낮은 차압 메탈 구조 제품번호 구성 연결타입 CNL3004VNG4 미디어: SST 316L, 가스켓: Nickel ¼ VCR CNC3004VNG4 미디어: Hastelloy C-22, 가스켓: Nickel ¼ VCR 24 25
Gaskleen IV Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (Air, 20 ) VIM VAR, VAR PLUS처리 100% 완전성 Test 클린룸 제조 및 패킹 Low Out Gassing / H2O,THC,10ppb 미만으로 전처리 미디어 PTFE + PFA 하우징 SST 316L E.P. For Connections 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120397B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120396B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120398B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ¼, ⅜ VCR*, ¼, ⅜ Buttweld 표면처리 7μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cc/sec 추천유량 500 slpm 최대사용압력 750 psig @ 284 52 bar @ 140 최대정방향차압 100 psid @ 100 7 bar @ 38 최대역방향차압 50 psid @ 100 3.5 bar @ 38 규격 (mm) <VCR Connection> <Butt Weld Connection> * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 컴팩트한 사이즈 높은 온도 및 압력 특성 우수한 가스 치환성 제품번호 연결타입 길이(in/mm) SGLFPF6402VMM4 ¼ VCR Male/Male 5.00/127 GLFPF6402BW4 ¼ Buttweld 3.87/98 SGLFPF6402VMM6/8 ½, ⅜ VCR Male/Male 5.00/127 GLFPF6402BW6 ⅜ Buttweld 3.87/98 GLFPF6402BW8 ½ Buttweld 3.87/98 26 27
Gaskleen V Series Filter Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) VIM VAR, VAR PLUS처리 100% 완전성 Test 클린룸 제조 및 패킹 <VMM4> <VMM8> 미디어 PTFE + PFA 하우징 SST 316L E.P. 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120397B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120396B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120398B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ¼, ⅜ VCR*, ¼, ⅜, ½ Buttweld or compression 표면처리 7μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cc/sec 추천유량 1,200 slpm 최대사용압력 750 psig @ 284 5.2 MPa @ 140 최대정방향차압 100 psid @ 68 0.7 MPa @ 20 최대역방향차압 50 psid @ 68 0.3 MPa @ 20 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) 컴팩트한 사이즈 높은 온도 및 압력 특성 우수한 가스 치환성 제품번호 연결타입 길이(in/mm) Preconditioned SGLFPF6501VMM4 ¼ Gasket Seal, (VCR or Compatible) Male/Male 5.0/127 No SGLFPF6502VMM4 ¼ Gasket Seal, (VCR or Compatible) Male/Male 5.0/127 Yes SGLFPF6501VMM8 ½ Gasket Seal, (VCR or Compatible) Male/Male 5.0/127 No SGLFPF6502VMM8 ½ Gasket Seal, (VCR or Compatible) Male/Male 5.0/127 Yes SGLFPF6501VMM12 ¾ Gasket Seal, (VCR or Compatible) Male/Male 5.5/140 No GLFPF6501VMF4 ¼ Gasket Seal, (VCR or Compatible) Male/Female 5.6/141 No SGLFPF6501SM4 ¼ Compression Seal, (Swagelok* or Compatible) Male/Male 4.4/113 No GLFPF6501SM4 ¼ Compression Seal, (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.6/141 No SGLFPF6501SM6 ⅜ Compression Seal, (Swagelok or Compatible) Male/Male 4.6/118 No GLFPF6501SM6 ⅜ Compression Seal, (Swagelok or Compatible) Male/Male 5.8/148 No SGLFPF6501SM8 ½ Compression Seal, (Swagelok or Compatible) Male/Male 4.7/119 No * Swagelok은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 28 29
Gaskleen Sealed In-Line Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (N2, 20 ) 100% 완전성 Test SST 316L 하우징 (E.P.처리) 고유량 가스 여과 Low Out Gassing / H2O,THC,10ppb 미만 미디어 PTFE 하우징 316L E.P. 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120397B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120396B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120398B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 다양한 가스 호환성 높은 온도 및 압력 특성 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ⅜,½ VCR* & ½ Buttweld ¾ Buttweld 표면처리 1212시리즈: 10μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-6 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cc/sec 추천유량 2,500 slpm 최대사용압력 250 psig / 17 bar 80 psid @ 120 최대정방향차압 5.5 bar @ 50 50 psid @ 121~176 3.5 bar @ 51~80 최대역방향차압 50 psid @ 70 3.4 bar @ 2.1 최대사용온도 엠플론: 176 /80 엠플론PF: 250 /121 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) 제품번호 연결타입 길이(in/mm) Preconditioned SIL1101BW16 Emflon Element 1 Butt Weld 25 μin / 0.64 μm R a 22.59/573.8 No SIL1112BW24 Emflon Element 1½ Butt Weld 10 μin / 0.25 μm R a 22.52/572.0 Yes SILPF1112BW16 Emflon PF Element 1 Butt Weld 10 μin / 0.25 μm R a 22.59/573.8 Yes SILPF1111BW24 Emflon PF Element 1½ Butt Weld 25 μin / 0.64 μm R a 22.52/572.0 Yes SIL1212BW16 Emflon Element 1 Butt Weld 10 μin / 0.25 μm R a 32.65/829.3 Yes SIL1212BW24 Emflon Element 1½ Butt Weld 10 μin / 0.25 μm R a 32.58/827.5 Yes SILPF1212BW16 Emflon PF Element 1 Butt Weld 10 μin / 0.25 μm R a 32.65/829.3 Yes SILPF1212BW24 Emflon PF Element 1½ Butt Weld 10 μin / 0.25 μm R a 32.58/827.5 Yes 30 31
Micro Kleen-Change Filter Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) All teflon* 다양한 가스 호환성 * Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 미디어 PTFE 코어, 엔드캡 PFA 440HP 규 격 (mm) 정격여과율 0.003μm 여과면적 13.5cm2/2.1in 2 연결타입 ⅛ Swagelok* 최대사용압력 58psi@77 /4bar@25 Packaging 이중포장, N2 퍼지 * Swagelok은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 길이(in / mm) GDF3101SW2 ⅛ Swagelok fitting, Male inlet/outlet 2.9/73 100% 완전성 Test 클린룸 제조 포토 장비 및 저압용 N2 사용이 적합 32 33
Maxi Gaskleen 8101 / 8202 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 100% 완전성 Test SST 316L 하우징 (E.P. 처리) 미디어 PTFE 하우징 SST 316L E.P. 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120397B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120396B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120398B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ½ VCR*, ½ Buttweld 표면처리 8202시리즈: 10μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-6 atm cc/sec 설계조건 2 x 10-11 atm cc/sec 추천유량 1,000 slpm (Max. 1,500 slpm) 최대사용압력 250 psig / 17 bar 80 psid @ 120 최대정방향차압 5.5 bar @ 50 50 psid @ 121~176 3.5 bar @ 51~80 최대역방향차압 50 psid @ 70 3.4 bar @ 2.1 최대사용온도 엠플론: 176 /80 엠플론 PF: 250 /121 규격 (mm) <Code BW8 & BW12> <Code VMM8> 고유량 가스 여과에 적합 두 종류의 Fitting 선택 가능 높은 온도 및 압력 특성 컴팩트한 사이즈 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 연결타입 길이(in/mm) GLFPF8202VMM8 Emflon PF element, ½ in gasket seal (VCR or compatible) Male/Male 7.75 / 197 GLFPF8202BW8 Emflon PF element, ½ in butt weld, 1.24mm / 0.049 in wall 7.75 / 197 GLF8202VMM8 Emflon element, ½ in gasket seal (VCR or compatible) Male/Male 7.75 / 197 GLF8202BW8 Emflon element, ½ in butt weld, 1.24mm / 0.049 in wall 7.75 / 197 34 35
Maxi Gaskleen 9101 / 9202 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (Air, 20 ) SST 316L 하우징 (E.P. 처리) 100% 완전성 Test 고유량 가스 여과 미디어 PTFE 하우징 316L E.P. 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120397B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120396B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120398B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ½ VCR* & ½ Buttweld ¾ Buttweld 표면처리 9202시리즈: 10μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-6 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cc/sec 추천유량 1,700 slpm (Max. 2,000 slpm) 최대사용압력 250 psig / 17 bar 80 psid @ 120 최대정방향차압 5.5 bar @ 50 50 psid @ 121~176 3.5 bar @ 51~80 최대역방향차압 50 psid @ 70 3.4 bar @ 2.1 최대사용온도 엠플론: 176 /80 엠플론 PF: 250 /121 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) <Code BW8 & BW12> <Code VMM8> 높은 온도 및 압력 특성 컴팩트한 사이즈 세가지 종류의 Fitting 선택 가능 제품번호 연결타입 길이(in/mm) GLFPF9202BW8 Emflon PF element, ½ in butt weld, 1.24mm / 0.049 in wall 11.61 / 295 GLFPF9202BW12 Emflon PF element, ¾ in butt weld, 1.65mm / 0.065 in wall 11.61 / 295 GLFPF9202VMM8 Emflon PF element, ½ in gasket seal (VCR or compatible) Male/Male 10.14 / 258 GLF9202VMM8 Emflon element, ½ in gasket seal (VCR or compatible) Male/Male 10.14 / 258 36 37
Membalox Filter Assemblies 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 고온과 내식성이 탁월 다양한 사이즈 미디어 고순도 inert alumina oxide 가스켓 PTFE 정격여과율 0.003μm 연결타입 ¼, ½ ButtWeld, VCR* 헬륨 leak test 1X10-9 atm cm3/s 설계조건 1X10-11 atm cm3/s 3 /75mm Micro Hi Flow = 30slpm 추천유량 3 /75mm Mini Hi Flow = 225slpm 3 /75mm Hi Flow = 600slpm 5 /125mm Hi Flow = 900slpm 최대허용압력 3000psig@200 /207bar@120 내차압 2500psig@200 /175bar@120 표면처리 15μin/0.38μm Ra * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 연결타입 길이(in / mm) 직경(in / mm) MLOX 03-30-1/4BW ¼ Butt Weld 3.31/84.1 0.82/20.8 MLOX 03-30-1/4GS-MM ¼ Gasket Seal, Male/Male 3.31/84.1 0.82/20.8 MLOX 03-30-1/4CS ¼ Compression Seal, Male/Male 3.31/84.1 0.82/20.8 MLOX 028-225-1/4GS-MF ¼ Gasket Seal, Male/Female 2.8/71.1 1.17/29.7 MLOX 03-225-1/4BW ¼ Butt Weld 3.31/84.1 1.17/29.7 MLOX 03-225-1/4GS-MM ¼ Gasket Seal, Male/Male 3.31/84.1 1.17/29.7 MLOX 03-225-1/2GS-MM ½ Gasket Seal, Male/Male 3.31/84.1 1.17/29.7 MLOX 03-600-1/4GS-MM ¼ Gasket Seal, Male/Male 3.31/84.1 1.67/42.4 다양한 길이 - Micro Hi Flow = 0.861 /22mm - Mini Hi Flow = 1.18 /30mm - Hi Flow 3 /75mm & 5 /125mm = 1.67 /42mm MLOX 03-600-1/2GS-MM ½ Gasket Seal, Male/Male 3.31/84.1 1.67/42.4 MLOX 05-900-1/4GS-MM ¼ Gasket Seal, Male/Male 5.00/127.0 1.67/42.4 MLOX 05-900-1/2GS-MM ½ Gasket Seal, Male/Male 5.00/127.0 1.67/42.4 MLOX 11-2700-1/2GS-MM ½ Gasket Seal, Male/Male 11.22/285.1 1.67/42.4 MLOX 11-2700-3/4GS-MM ¾ Gasket Seal, Male/Male 11.22/285.1 1.67/42.4 38 39
Mini Gaskleen High Flow Filter Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) VAR PLUS 처리 SST 316L 하우징 (E.P.처리) 100% 완전성 Test Low Out Gassing / H2O,THC,O2 전처리 10ppb 미만으로 미디어 PTFE + PFA 하우징 SST 316L E.P. O-링 바이톤심 테프론* * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) PRECONDITIONED CLEANLINESS 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120397B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120396B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120398B-STD) No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 높은 온도 및 압력 특성 컴팩트한 사이즈 다양한 Fitting 선택 가능 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ¼ VCR*, ¼ Lok, ¼ F/M VCR ¼ M/F VCR*, ¼ Buttweld 0.13μm/5µin Ra 표면처리 (gasket and butt weld fitting) 0.15μm/20µin Ra (gasket and butt weld fitting) 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-7 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-9 atm cc/sec 추천유량 3101 시리즈: 100 slpm 최대사용압력 3,000 psig @ 250 207 bar @ 120 최대정방향차압 80 psid @ 250 5.5 bar @ 120 최대역방향차압 50 psid @ 70 3.4 bar @ 2.1 여과면적 13.5 cm2 / 0.015ft 2 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 길이 (in/mm) Preconditioned GLFPF3101VMM4 ¼ in Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 3.31 / 84 No GLFPF3101BW4 ¼ in Butt Weld, 0.89 mm / 0.035 in wall 3.54 / 90 No GLFPF3101SM4 ¼ in Compression seal, Male inlet/oulet (Swagelok* compatible) 2.88 / 73.2 No GLFPF3101VFM4 ¼ in Gasket Seal (VCR or Compatible) Female Inlet/Male Outlet 3.47 / 88 No GLFPF3101VMF4 ¼ in Gasket Seal Outlet (VCR or Compatible) Male Inlet/Female Outlet 3.94 / 100 No GLFPF3102VMM4 ¼ in Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 3.31 / 84 Yes GLFPF3111VMM4 ¼ in Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00 / 127 No * Swagelok은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 40 41
Mini Ultramet-L 1100 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) P.O.U에 적합 동일한 사이즈 대비 고유량 실현 VIM VAR 처리 <316L> <Nickel> Low Out Gassing / H2O,THC,O2 10ppb 미만 미디어 SST 316L, Nickel 하우징 SST 316L E.P. 규격 (mm) 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120397B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120396B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120398B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 높은 온도 및 압력 특성 컴팩트한 사이즈 탁월한 파티클 제거 능력 폴 특허인 메탈 파이버 SST 316L 또는 Nickel 미디어 사용 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ¼ VCR*, ¼ Buttweld 표면처리 7μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cc/sec 추천유량 15slpm(Max.30slpm) 3,000 psig @ 100 최대사용압력 207 bar @ 38 1,685 psig @ 840 116 bar @ 450 125 psid @ 100 최대허용차압 8.6 bar @ 38 60 psid @ 840 4.1 bar @ 450 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 연결타입 길이(in/mm) Preconditioned GLFF1100VMM4 GLFF1100VFM4 미디어: SST 316L, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) 하우징: SST 316L Male/Male 3.31/84 No 미디어: SST 316L, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) 하우징: SST 316L Female Inlet/Male Outlet 3.47/88 No GLFF1100BW4 미디어: SST 316L, 하우징: SST 316L ¼ Butt Weld, 0.035 / 0.89 mm wall 1.75/42.5 No GLFF1102VMM4 GLFF1102VFM4 미디어: SST 316L, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) 하우징: SST 316L Male/Male 3.31/84 Yes 미디어: SST 316L, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) 하우징: SST 316L Female Inlet/Male Outlet 3.47/88 Yes GLFF1102BW4 미디어: SST 316L, 하우징: SST 316L ¼ Butt Weld, 0.035 /0.89 mm wall 1.75/42.5 Yes GLFN1100VMM4 GLFN1100BW4 GLFN1102VMM4 GLFN1102BW4 미디어: Nickel, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) 3.31/84 No 하우징: SST 316L Male/Male 미디어: Nickel, ¼ Butt Weld, 0.035 /0.89 mm wall 1.75/42.5 No 하우징: SST 316L 미디어: Nickel, ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) 3.31/84 Yes 하우징: SST 316L Male/Male 미디어: Nickel, ¼ Butt Weld, 0.035 /0.89 mm wall 1.75/42.5 Yes 하우징: SST 316L 42 43
Mini Kleen Change Filter Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) All teflon 다양한 가스 호환성 미디어 PTFE 서포트 FEP bonded PTFE 코어, 엔드캡 PFA 440HP 규 격 (mm) 정격여과율 0.003μm 여과면적 320cm2/0.344ft 2 연결타입 ⅛ Floretek*, ¼ Floretek 최대사용압력 60psig@77 /4.1bar@25 30psig@176 /2bar@80 최대허용차압 50psid@70 /3.4bar@21 * Flaretek은 Entegris의 고유등록상표입니다. 100% 완전성 Test 클린룸 제조 제품번호 길이(in / mm) GDF6406E5 ⅜ Flaretek, Male Inlet/Outlet 5.34/135.7 GDF6404E5 ¼ Flaretek, Male Inlet/Outlet 5.1/129.7 44 45
VaraFine TM VFSH VFSH 1 2 3 4 비대칭 멤브레인 구조로 고유량, 저차압 실현 Table 1 Table 2 Table 3 Table 4 CDA, N2 및 불활성 가스에 사용 코드 절대여과등급 코드 길이 코드 O-링 사이즈 코드 O-링 003 0.003μm 04 4 M3 222 (평판형) S 실리콘 010 0.01 μm 10 10 M7 226 (핀 형) E EPDM 020 0.02 μm 20 20 M8 222 (핀 형) V 바이톤 A 30 30 N Buna-N 40 40 T F 실리콘심 테프론 바이톤심 테프론* 필터 미디어 비대칭 소수성 P.S * Viton과 Teflon은 DuPont사의 고유 등록상표입니다. 써포트, 드레인 P.P 코어, 케이지, 엔드캡 P.P O-링 실리콘(선택가능) 초기 압력 손실 - 유량곡선 (공기, 20 ) 절대여과등급 0.003μm, 0.01μm, 0.02μm 길이 4, 10, 20, 30, 40 최고사용온도 95 내차압 5.5kgf/cm2 (20 ) 1.4kgf/cm2 (95 ) <비대칭 Membrane 구조> 다양한 길이 선택 가능 (40 까지 대응) 우수한 경제적 특징 46 47
Small Flow Emflon 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 광범위한 적용분야 100% 완전성 Test 플리티드 카트리지 구조 <카트리지 9106/9112> <카트리지 2230/9130> 미디어 PTFE 코어 P.P O-링 바이톤*(선택가능) * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. <카트리지 4440/4463/9163> 정격여과율 0.003μm @ 10 9 길이 1 /25mm, 1.75 /44mm, 2.5 /64mm, 5 /127mm 직경 2.18 /55mm 추천유량 1,700 slpm (Max. 2,000 slpm) 최대사용온도 90 / 194 80 psid @ 120 최대정방향차압 5.5 bar @ 50 50 psid @ 121~194 3.5 bar @ 51~90 제품번호 정격여과율(μm) 길이(in / mm) O-링 사이즈 / MCY9106FREH 0.003 1/25 115/바이톤(Internal) 우수한 파티클 제거 특성 고유량 가스 여과용 필터 고유량 vs. 낮은 차압 MCY9112FREH 0.003 1.75/44 115/바이톤(Internal) MCY9130FREH 0.003 2.5/64 209/바이톤(Internal) MCY9163FREH 0.003 5/127 209/바이톤 (Internal) MDY2230FREHF 0.003 2.5/64 116/내산용바이톤(Internal) MCY4463FREHF 0.003 5/127 116/내산용바이톤(Internal) MCY4440FREHF 0.003 5/127 118/내산용바이톤(External) 48 49
Emflon 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 다양한 길이 <10" 카트리지 > 100% 완전성 Test 미디어 PTFE 하드웨어 P.P O-링 바이톤*(선택가능) * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 정격여과율 0.003μm @ 10 9 여과면적 10 : 9.45ft 2 /0.88m2 10 /254mm, 20 /508mm, 길이 30 /762mm, 40 /1016mm 직경 2.75 /70mm 추천유량 150 Nm3/hr (2,500 slpm) 최대사용온도 90 / 194 80 psid @ 120 5.5 bar @ 50 최대정방향차압 50 psid @ 121~194 3.5 bar @ 51~90 규격 (mm) A B F R E 우수한 파티클 제거 특성 고유량 vs 낮은 차압 코드 길이 1 10 2 20 3 30 코드 O-링 사이즈 3 222 (평판형) 7 226 (핀 형) 8 222 (핀 형) 코드 H H1 HF O-링 바이톤 바이톤심 테프론* 내산용바이톤 optional * Viton과 Teflon은 DuPont사의 고유등록상표입니다. 50 51
Emflon PF 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 다양한 길이 All 테프론 산소가스, 특수가스 여과에 적합 100% 완전성 Test 미디어 PTFE 하드웨어 PFA 440HP O-링 바이톤*(선택가능) * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 정격여과율 0.003μm @ 10 9 여과면적 5 :2.5ft 2 /0.23m2,10 :6ft 2 /0.56m2 길이 5 /127mm, 10 /254mm 직경 2.75 /70mm 추천유량 150 Nm3/hr 최대사용온도 185 / 365 100 psid @ 120 6.9 bar @ 50 60 psid @ 121~230 최대정방향차압 4.1 bar @ 51~110 35 psid @ 231~335 2.4 bar @ 111~170 규격 (mm) 탁월한 파티클 제거 특성 고유량 vs 낮은 차압 높은 온도 및 압력 특성 제품번호 정격여과율 (μm) 길이 (in/mm) 코드 O-링 AB04F0023EH1 0.003 5/127 3 바이톤심 테프론* AB1F0023EH1 0.003 10/254 3 바이톤심 테프론 AB2F0023EH1 0.003 20/508 3 바이톤심 테프론 * Viton과 Teflon은 DuPont사의 고유등록상표입니다. 52 53
Ultramet-L 4000 Series Filter Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 고유량에 적합한 필터 VAR PLUS 처리 All SST 316L 미디어 SST 316L 하우징 SST 316L E.P. 정격여과율 0.003μm 연결타입 ½,¼ VCR* & ½,¼ Buttweld 표면처리 7μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cc/sec 10 9 효율: 6slpm/0.2scfm 추천유량 10 4 효율: 75slpm/2.6scfm 3,000 psig @ 100 207 bar @ 38 최대사용압력 1,685 psig @ 840 116 bar @ 450 125 psid @ 100 8.6 bar @ 38 최대허용차압 60 psid @ 840 4.1 bar @ 450 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) L2 L1 컴팩트한 사이즈 다양한 Fitting 선택 가능 높은 온도 및 압력 특성 폴 특허인 메탈 파이버 SST 316L 미디어 사용 제품번호 연결타입 길이(in/mm) GLFF4000VM4 ¼ VCR Male/Male 3.31/84(L1) GLFF4000SM4 ¼ Swagelok* Male/Male 2.88/73(L1) GLFF4000BW4 ¼ Buttweld 1.75/45(L2) GLFF4000VMM8 ½, ⅜ VCR Male/Male 3.35/85(L1) * Swagelok은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 54 55
Ultramet-L 4281, 4581 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 고유량에 적합 316L 또는 Nickel 미디어 VIM VAR 처리 <GLFF4281VMM4> <GLFF4581VMM4> 미디어 SST 316L, Nickel 하우징 SST 316L E.P. <GLFN4581VMM4> 정격여과율 0.003μm 연결타입 ¼ VCR* 표면처리 10μin/0.25μm Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cm3/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cm3/sec 4281 10 9 효율: 6slpm/0.2scfm 추천유량 10 4 효율: 75slpm/2.6scfm 4581 10 9 효율: 50slpm/1.76scfm * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) 100% 헬륨 leak 테스트 컴팩트한 사이즈 고온 고압에 적합 제품번호 연결타입 GLFF4281VMM4 미디어: SST 316L, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male / Male GLFF4581VMM4 미디어: SST 316L, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male / Male GLFN4581VMM4 미디어: Nickel, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male / Male 56 57
Ultramet-L 4400 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) Low Out Gassing / H2O,THC 10ppb 미만으로 전처리 All SST 316L VAR PLUS 처리 Dead Space가 적음 <316L> <Nickel> 미디어 SST 316L, Nickel 하우징 SST 316L E.P. 규격 (mm) 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ¼ VCR*, ¼ Buttweld, ½ VCR 표면처리 7μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cc/sec 추천유량 50slpm (Max. 75slpm) 3,000 psig @ 100 최대사용압력 207 bar @ 38 1,685 psig @ 840 116 bar @ 450 125 psid @ 100 최대허용차압 8.6 bar @ 38 60 psid @ 840 4.1 bar @ 450 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 탁월한 파티클 제거 능력 우수한 가스 치환성 높은 온도 및 압력 특성 컴팩트한 사이즈 <SST 316L 미디어> 제품번호 연결타입 길이(in/mm) GLFF4400VMM4 ¼ VCR Male/Male 3.31/84(L) GLFF4400BW4 ¼ Buttweld 1.75/45(L2) GLFF4400VMM8 ⅜,½ VCR Male/Male 3.31/84(L1) <Nickel 미디어> 제품번호 연결타입 길이(in/mm) GLFN4400VMM4 ¼ VCR Male/Male 3.31/84(L1) GLFN4400VMM8 ⅜,½ VCR Male/Male 3.31/84(L1) GLFN4400BW4 ¼ Buttweld 1.75/45(L2) GLFN4400VFM4 ¼ VCR Female/Male 3.31/84(L1) GLFN4400VMF4 ¼ VCR Male/Female 2.80/71(L1) 58 59
Ultramet-L 5500 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 고유량에 적합 SST 316L 또는 Nickel 미디어 VAR PLUS 처리 Low Out Gassing / H2O,THC,O2 전처리 10ppb 미만으로 미디어 SST 316L, Nickel 하우징 SST 316L E.P. 규격 (mm) 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120397B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120396B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120398B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 우수한 가스 치환성 탁월한 파티클 제거 능력 폴 특허인 메탈 파이버 316L미디어 사용 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ½,¼ VCR* & ½,¼ Buttweld 표면처리 10μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cc/sec 추천유량 150slpm (Max. 200slpm) 최대사용압력 750 psig @ 212 51.7 bar @ 100 최대허용차압 100 psid @ 70 7 bar @ 21 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 연결타입 길이(in/mm) Preconditioned GLFF5500VMM4 미디어, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 No GLFF5500VMM8 미디어, 하우징: SST 316L ½ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 No GLFF5500BW4 미디어, 하우징: SST 316L ¼ Butt Weld, 0.035 /0.89 mm wall 2.50/64 No GLFF5500BW8 미디어, 하우징: SST 316L ½ Butt Weld, 0.049 /1.24 mm wall 2.50/64 No GLFF5502VMM4 미디어, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 Yes GLFF5502VMM8 미디어, 하우징: SST 316L ½ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 5.00/127 Yes GLFF5502BW4 미디어, 하우징: SST 316L ¼ Butt Weld, 0.035 / 0.89 mm wall 2.50/64 Yes GLFF5502BW8 미디어, 하우징: SST 316L ½ Butt Weld, 0.049 / 1.24 mm wall 2.50/64 Yes SGLFF5500VMM4 미디어, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 3.31/84 No SGLFF5500VMM8 미디어, 하우징: SST 316L ½ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 3.31/84 No SGLFF5502VMM4 미디어, 하우징: SST 316L ¼ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 3.31/84 Yes SGLFF5502VMM8 미디어, 하우징: SST 316L ½ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male 3.31/84 Yes 60 61
Ultramet-L 6600 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) All SST 316L VAR PLUS 처리 Low Out Gassing / H2O,THC,O2 10ppb 미만으로 전처리 미디어 SST 316L, Nickel 하우징 SST 316L E.P. 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120397B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120396B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120398B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 우수한 가스 치환성 탁월한 파티클 제거 능력 폴 특허인 메탈 파이버 316L미디어 사용 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ⅜, ½ VCR* Male 6601시리즈: 10μin R a 표면처리 6602시리즈: 0.7μm R max 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cc/sec 추천유량 320slpm (Max. 400slpm) 750 psig @ 100 52 bar @ 38 최대사용압력 550 psig @ 800 38 bar @ 426 30 psid @ 68 2.1 bar @ 20 최대정방향차압 15 psid @ 800 1 bar @ 426 (Inert gas only) * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) 제품번호 길이 (in/mm) 직경 (in/mm) GLFF6601VMM8 ½ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male, 10μin / 0.25μm R a 6.06/154 3.02/76.7 GLFF6602VMM8 ½ Gasket Seal (VCR or Compatible) Male/Male, 0.7μm R max 6.06/154 3.02/76.7 62 63
Ultramet-L Nickel 3600 Series Assembly 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) Nickel미디어 필터 미디어 Nickel 하우징 SST 316L 10ppb moisture contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120397B-STD) 10ppb THC contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120396B-STD) 10ppb O2 contribution (Qualified per SEMASPEC test method #90120398B-STD) PRECONDITIONED CLEANLINESS No particle contribution above background 1 particle/(ft 3 or m 3 ) 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ¼ VCR* 표면처리 10μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cc/sec 추천유량 75slpm (Max. 100slpm) 최대사용압력 3,000 psig @ 100 / 207 bar @ 38 최대정방향차압 100 psid @ 100 / 6.9 bar @ 38 최대역방향차압 50 psid @ 100 3.4 bar @ 38 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) 컴팩트한 사이즈 장착용이 높은 온도 및 압력 특성 제품번호 Preconditioned SGLFN3600VMM4 ¼ Gasket Seal (VCR Compatible) Male/Male No SGLFN3602VMM4 ¼ Gasket Seal (VCR Compatible) Male/Male Yes 64 65
Ultipleat PK Gas Filter 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 울티플릿 미디어 구조 100% 완전성 Test 필터 미디어 PTFE 써포트, 드레인 P.P 코어, 케이지, 앤드캡 P.P O-링 사이즈 #334 O-링 EPDM 정격여과율 0.003 μm @ 10 9 여과면적 1.8 m2 / 19.4 ft 2 최대사용온도 50 / 122 내차압 0.41 MPa @ 20 / 60 psid @ 68 0.20 MPa @ 50 / 30 psid @ 122 규격 (mm) 탁월한 파티클 제거 능력 초고유량 실현 낮은 내차압 제품번호 Norminal Length Seal UPK510FGJU 254mm / 10 in EPDM (U-cup) 66 67
Chamber Kleen TM Diffusers 가스 유량곡선 (공기, 20 ) <압력 vs 유량곡선> <압력 vs 챔버벤트시간> 360 디퓨져 설계 All SST 316L 미디어 & 디퓨져 SST 316L O-링 바이톤* * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 규격 (mm) <5500 Series> <1100 Series> 정격여과율 0.003μm 1100series: NW25 ISO Vacuum Flange 연결타입 5500series: NW63 ISO Vacuum Flange 1100series: 15slpm@15psig/ 1bar inlet and oulet to full vacuum ( 10torr) 사용조건 5500series: 150slpm@15psig/ 1bar inlet and oulet to full vacuum ( 10torr) 최고사용온도 300 /149 (O-링 Flange에 따라 제한적) Vacuum chamber와 Load lock chamber 제품번호 유량(slpm) CK1100I25H 1100 Series, 미디어, 디퓨져: SST 316L, O-링: 바이톤 0-15 CK5500I63H 5500 Series, 미디어, 디퓨져: SST 316L, O-링: 바이톤 0-150 68 69
½ GasKleen TM Filter Assemblies (W-Seal) ½ 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) Ultramet-L Top mount 3331 & 3200 시리즈 SST 316L 하우징 + SST 316L 미디어 또는 Nickel 미디어 Ultramet-L Top Mount: 4600 시리즈 SST 316L 하우징 + 최신 Nickel 미디어 미디어 하우징 SST 316L, Nickel & PTFE SST 316L E.P. 규격 (mm) <P/N: GTM - 3200F4A> <P/N: GTM - 3200F4A-VM4> 높은 온도 및 압력 특성 우수한 가스 치환성 파티클 제거 특성 3200 시리즈 - 5 slpm @ 10 9-15 slpm @ 10 6-30 slpm @ 10 5 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 ¼ VCR* port on top of assembly 표면처리 5μin Ra 헬륨 Leak 테스트 1 x 10-9 atm cc/sec 설계조건 1 x 10-11 atm cc/sec 3200 시리즈 최대사용압력 140 psig @ 104 9.7 bar @ 40 최대허용차압 100 psid @ 104 6.9 bar @ 40 * VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 제품번호 / 주문정보 제품번호 높이(in/mm) 추천유량(slpm) GTMF3200F4A 미디어: SST 316L, 하우징: SST 316L 1.65 / 42 0-30 GTMF3200F4A-VM4 미디어: SST 316L, 하우징: SST 316L, ¼ VCR port 2.36 / 60 0-30 70 71
½ Gaskleen TM Filter Assemblies 1 1 /2 (C-Seal) ½ 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) Ultramet-C Top mount 4600 시리즈 SST 316L 하우징 + Nickel 미디어 미디어 Nickel 하우징 SST 316L 규격 (mm) 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 C-Seal 표면처리 10 µin Ra 헬륨 Leak 테스트 1x10-9 atm cc/sec 설계조건 1x10-11 atm cc/sec Nickel - 4600시리즈 최대허용차압 100 psid @ 100 7.0 bar @ 38 높은 온도 및 압력 특성 우수한 가스 치환성 100% 완전성 test 제품번호 / 주문정보 제품번호 높이(in/mm) 넓이(in/mm) 추천유량(slpm) 파티클 제거 특성 GTMN4600CC4 미디어: Nickel 하우징: SST 316L 2.99 / 75.9 1.33 / 33.8 0-100 4600시리즈: 100slpm @ 10 9 72 73
⅛ Gaskleen TM Filter Assemblies 1 1 /8 (C-Seal) ⅛ 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) SST 316L 하우징 고온및고압특성 미디어 SST 316L or Nickel 하우징 SST 316L Gaskleen 1013 시리즈 우수한 가스 치환 및 탈착 특성 클린룸 환경에서 제조 및 포장 Gaskleen 3600 시리즈 우수한 가스 치환 및 탈착 특성 클린룸 환경에서 제조 및 포장 Gaskleen 3101 시리즈 미디어: PTFE 코어 및 엔드캡: PFA 440HP O-링: 없음 클린룸 환경에서 제조 및 포장 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 C-Seal, ⅛ 인터페이스 헬륨 Leak 테스트 1x10-9 atm cm 3 /s 설계조건 1x10-11 atm cm 3 /s 34.5 bar @ 100 / 최대사용압력 500 psig @ 212 1013 및 3600 시리즈 0.7 MPa @ 38 / 100 psid @ 100 최대허용차압 3101 시리즈 0.6 MPa @ 121 / 80 psid @ 250 규격 (mm) 제품번호 Discription 길이(in/mm) 폭(in/mm) 추천 유량(slpm) GTMF1013CC4 미디어, 하우징: SST 316L 1.4/35.6 0.87/22.1 0-5 GTMN1013CC4 미디어: Nickel, 하우징: SST 316L 1.4/35.6 0.87/22.1 0-3 GTMP3101CC4 미디어: PTFE, 하우징: SST 316L 2.98/75.5 0.87/22.1 0-75 TMN3600CC4 미디어: Nickel, 하우징: SST 316L 2.98/75.5 0.87/22.1 0-75 74 75
⅛ Gaskleen TM Filter Assemblies 1 1 /8 (W-Seal) ⅛ 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 고온및고압특성 우수한 가스 치환 및 탈착 특성 미디어 SST 316L or Nickel 하우징 SST 316L 규격 (mm) 정격여과율 0.003μm @ 10 9 연결타입 W-Seal 헬륨 Leak 테스트 1x10-9 atm cm 3 /s 설계조건 1x10-11 atm cm 3 /s 최대사용압력 3.4 MPa @ 100 / 500 psig @ 212 최대허용차압 0.69 MPa @ 40 / 100 psid @ 104 Gaskleen 1013 시리즈 / 3700 시리즈 전해 연마된 SST 316L 하우징 클린룸 환경에서 제조 및 포장 제품번호 연결타입 길이(in/mm) 추천 유량(slpm) GTMF1013F4A 미디어, 하우징: SST 316L 1.45 / 36.8 0-5 GTMN1013F4A 미디어: 니켈, 하우징: SST 316 1.45 / 40.2 0-3 GTMF3700F4A 미디어, 하우징: SST 316L 3.12 / 79.3 0-50 76 77
Gaskleen Light Series Filter Assemblies 초기 압력 손실 - 가스 유량곡선 (공기, 20 ) 고유량 가스 여과 미디어 PTFE 써포트 TFA3:None, TFA6:Fluoropolymer 코어, 엔드캡 PFA O-링 TFA3:바이톤심 테프론 1) TFA6:none * Viton과 Teflon은 Dupont사의 고유등록상표입니다. 정격여과율 0.003μm @ 10 9 ¼, ½ or ¾ gasket seal 연결타입 (VCR 2) or compatible) ¼, ⅜ or ½ Compression fittings 헬륨 Leak 테스트 1x10-9 atm cm 3 /s TFA3: 20.7 MPa @ 122 / 3000 psig @ 250 최대사용압력 (S)TFA6: 5.2 MPa @ 140 / 750 psig @ 284 TFA3: 0.6 MPa @ 21 / 80 psid @ 70 최대정방향차압 (S)TFA6: 0.7MPa @ 20 / 100 psid @ 68 TFA3: 0.3MPa @ 21 / 50 psid @ 70 최대역방향차압 (S)TFA6: 0.3MPa @ 20 / 50 psid @ 68 규격 (mm) 2) VCR은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 높은 온도 및 압력 특성 100% 완전성 검사 제품번호 연결타입 길이(in/mm) TFA3VMM4 ¼ gasket seal, (VCR or compatible) male / male 3.31 / 84 TFA6VMM4 ¼ gasket seal, (VCR or compatible) male / male 5 / 127 TFA6VMM8 ½ gasket seal, (VCR or compatible) male / male 5 / 127 TFA6VMM12 ¾ gasket seal, (VCR or compatible) male / male 5.5 / 140 STFA6SM4 ¼ compression seal, (Swagelok 3) or compatible) male / male 4.4 / 113 STFA6SM6 ⅜ compression seal, (Swagelok or compatible) male / male 4.6 / 118 STFA6SM8 ½ compression seal, (Swagelok or compatible) male / male 4.7 / 119 3) Swagelok은 Swagelok의 고유등록상표입니다. 78 79
직경 길이 유량 압력 온도 No P/N (인치) (인치) Fitting scfm (slpm) (PSIG) (F) 전처리 유사제품 직경 길이 유량 압력 온도 No P/N (인치) (인치) Fitting scfm (slpm) (PSIG) (F) 전처리 유사제품 1 4HD4886-2170 Nickel 0.750 3.310 VMM4 0.53 (14.84) 3000 100 No GLFF1100, Nickel Pack 2 4HD4886-2172 Nickel 0.840 2.940 BVM4 0.53 (14.84) 3000 100 No GLFF1100, Nickel Pack 3 4HD4886-2318 Nickel 2.250 3.310 VMM8 5.30 (148.40) 750 212 No GLFN5500VMM8, Taper bowl 4 4HD4886-2630 Nickel 0.840 3.406 VFF4 0.53 (14.84) 3000 100 No GLFN4400VFF4, 3.406 OAL 5 4HD4886-2692 NI Nickel 1.310 2.532 BVM4 1.77 (49.56) 3000 100 Yes 6 4HD4886-2784 Nickel 0.840 2.870 BVM4 0.53 (14.84) 3000 100 No GLFN1100 7 4HD4886-2786 Nickel 1.310 3.310 VMM4 1.77 (49.56) 3000 100 No GLFN4000 8 4HD4886-2853 Nickel 3.640 7.750 VMM8 11.30 (316.40) 3000 200 No 76 MM 9 4HD4886-3096 Nickel 1.310 1.750 BW4 1.77 (49.56) 3000 100 No GLFN4000 10 4HD4886-3155 Nickel 3.520 4.250 BW8 11.30 (316.40) 3000 200 No 76 MM 11 4HD4886-3189 Nickel 2.250 3.310 VMM6 5.30 (148.40) 750 212 No GLFN5500VMM8, Taper bowl 12 4HD4886-3247 Nickel 2.500 28.320 BW24 ( 0.00) 250 250 No New Nickel High Flow 13 4HD4886-3264 Nickel 0.840 2.300 VMM4 0.53 (14.84) 3000 100 No Shortened GLFN1100VMM4 14 4HD4886-3276 Nickel 1.300 3.310 VMM4 1.77 (49.56) 3000 100 Yes GLFN4400VMM4 with +.010 OAL 15 4HD4886-3292 Nickel 0.750 2.800 VMF4 0.53 (14.84) 3000 100 No Reversed Laser Marked GLFN1100VMF4 16 4HD4886-3323 Nickel 0.750 2.800 VMF4 1.77 (49.56) 3000 100 Yes Shortened GLFN1100 17 4HD4886-1406 PTFE 2.500 8.750 VMM8 40.00 (1120.00) 250 200 No Maxi Gaskleen 18 4HD4886-1651 PTFE 0.750 3.470 VFM4 1.00 (28.000) 3000 250 No Mini-Gaskleen 19 4HD4886-1699 PTFE 0.750 3.450 VXM4 1.00 (28.00) 3000 250 No Mini-Gaskleen 20 4HD4886-1743 PTFE 2.125 5.200 VF8M4 15.00 (420.00) 750 250 No 6202 21 4HD4886-1744 PTFE 2.500 7.750 BW12 40.00 (1120.00) 250 176 No Maxi Gaskleen with different element 22 4HD4886-1797 PTFE 2.000 4.380 SM8 15.00 (420.00) 750 100 No 6101's with 1/2 swagelock connections 23 4HD4886-1800 PTFE 2.500 2.000 VMM4 15.00 (420.00) 750 250 Yes GLFPF6202VMM4 24 4HD4886-1801 PTFE 2.500 2.000 VMM6/8 15.00 (420.00) 750 250 Yes GLFPF6202VMM6/8 25 4HD4886-1920 PTFE 2.500 12.250 VMM4 60.00 (1680.00) 150 100 Yes IBM Core Gas 26 4HD4886-1921 PTFE 2.500 12.250 VMM4 60.00 (1680.00) 150 100 Yes IBM Core Gas 27 4HD4886-1952 PTFE 2.500 10.375 VMM8 60.00 (1680.00) 150 100 No Maxi-Gaskleen with Parker Ultraseal connections 28 4HD4886-1974 PTFE 2.500 7.750 BW8 35.00 (980.00) 250 250 No Maxi-Gaskleen 29 4HD4886-1997 PTFE 2.500 7.750 VMM8 35.00 (980.00) 250 250 Yes Maxi-Gaskleen. 30 4HD4886-2070 PTFE 2.500 2.000 SM8 15.00 (420.00) 250 176 Yes GLFPF6202 31 4HD4886-2142 PTFE 2.125 5.811 JSKMM6 15.00 (420.00) 750 250 Yes GLFPF6202 with JSK male Fittings 32 4HD4886-2304 PTFE 0.750 3.310 O-RING 4.00 (112.00) 3000 250 GLFPF3101VMM4 with Chemraz O-ring 33 4HD4886-2307 PTFE 3.500 10.125 VMM8 (0.00) 150 200 No 1 around, 1 high 34 4HD4886-2362 PTFE 8.625 37.000 BW32 (0.00) 225 250 No 4 around, 2 high 35 4HD4886-2384 PTFE 6.625 27.188 BW16 (0.00) 250 150 No 2 around, 1 high 36 4HD4886-2385 PTFE 8.625 27.190 BW32 (0.00) 210 150 No 4 around, 1 high 37 4HD4886-2417 PTFE 6.625 37.000 BW32 (0.00) 275 176 No 2 around, 2 high 38 4HD4886-2418 PTFE 4.000 19.000 BW12 (0.00) 250 176 No 1 around, 1 high 39 4HD4886-2428 PTFE 0.750 3.310 VMM4 4.00 (112.00) 3000 250 No GLFPF3101VMM4 40 4HD4886-2432 PTFE 6.625 35.281 BW24 (0.00) 250 250 No 2 around, 2 high, Super- Cheminert Element 41 4HD4886-2442 PTFE 0.750 3.310 O-RING 4.00 (112.00) 3000 250 No GLFPF3000VMM4 with Kalrez O-ring 42 4HD4886-2444 PTFE 0.750 2.880 SF4 (0.00) 3000 250 No GLFPF3000 20-25 uin Ra 43 4HD4886-2458 PTFE 4.000 31.000 BW24 (0.00) 275 176 No 1 around, 2 high 44 4HD4886-2486 PTFE 2.500 7.750 VMM8 35.00 (980.00) 250 200 No GLFPF8202VMM8 with Certs 45 4HD4886-2494 PTFE 0.750 3.385 MFC9 1.00 (28.00) 3000 250 No GLFPF3000MFC9 with 1/4m Boss Outlet 46 4HD4886-2502 PTFE 6.625 27.188 BW16 (0.00) 250 150 No 2 around, 1 high 47 4HD4886-2517-1 PTFE 12.750 44.125 Flange (0.00) 200 100 No 4 around, 2 high 48 4HD4886-2518-1 PTFE 4.000 20.625 Flange (0.00) 150 250 No 1 around, 1 high 49 4HD4886-2521 PTFE 8.625 37.000 BW32 (0.00) 150 100 No 4 around, 2 high, Code 15 Elements 50 4HD4886-2527 PTFE 0.750 3.940 VMF4 4.00 (112.00) 3000 250 No GLFPF3000VMF4 51 4HD4886-2535 PTFE 2.500 11.610 BW8 60.00 (1680.00) 250 250 Yes GLFPF9202BW8, 52 4HD4886-2537 PTFE 2.500 8.860 VMM8 60.00 (1680.00) 250 250 No GLFPF8101VMM8, except 8.86" long 53 4HD4886-2547 PTFE 1.250 5.563 O-RING 4.00 (112.00) 750 350 Yes GLFPF6401 54 4HD4886-2551 PTFE 0.750 3.310 VMM6 4.00 (112.00) 3000 250 No GLFPF3000 55 4HD4886-2553 PTFE 4.000 31.000 BW24 (0.00) 275 176 No 1 around, 2 high 56 4HD4886-2565 PTFE 4.000 22.590 VMM16 (0.00) 250 176 No 1 around, 1 high 57 4HD4886-2581 PTFE 2.500 7.750 BW8 40.00 (1120.00) 250 250 No GLFPF8101BW8, PPRO/PTFE Element 58 4HD4886-2585 PTFE 4.000 22.590 BW16 (0.00) 275 250 Yes SILPF1112BW16 59 4HD4886-2602 PTFE 2.500 8.860 VMM8 35.00 (980.00) 250 250 No GLFPF8202VMM8 60 4HD4886-2631 PTFE 4.000 32.650 VMM16 (0.00) 250 176 Yes 1 around, 2 high 61 4HD4886-2664 PTFE 0.750 3.000 VCO4 4.00 (112.00) 3000 250 No GLFPF3101 62 4HD4886-2669 PTFE 4.500 32.650 BW16 (0.00) 1000 250 No 1 around, 2 high 63 4HD4886-2685 PTFE 1.125 5.810 VFM4 4.00 (112.00) 750 350 No GLFPF6401VFM4 64 4HD4886-2686 PTFE 1.125 5.562 VMM4 4.00 (112.00) 750 350 No GLFPF6401VMM4 65 4HD4886-2695 PTFE 3.625 16.000 BW16 (0.00) 275 176 Yes 66 4HD4886-2735 PTFE 2.500 8.750 VMM12 40.00 (1120.00) 250 176 No GLF8101 67 4HD4886-2736 PTFE 2.500 8.750 VMM12 35.00 (980.00) 250 250 No GLFPF8202 68 4HD4886-2743 PTFE 1.125 4.440 BVM6/8 4.00 (112.00) 750 350 Yes GLFPF6401 69 4HD4886-2744 PTFE 1.125 4.440 BVM8 4.00 (112.00) 750 350 Yes GLFPF6401 70 4HD4886-2791 PTFE 2.500 7.750 SM8 35.00 (980.00) 250 250 No MAXI 71 4HD4886-2820 PTFE 8.625 37.000 BW32 (0.00) 225 250 No 4 around, 2 high 72 4HD4886-2822 PTFE 2.500 11.610 BW12 60.00 (1680.00) 250 250 Yes MAXI 73 4HD4886-2846 PTFE 2.500 8.860 VMM8 60.00 (1680.00) 250 250 Yes GLFPF9202VMM8 74 4HD4886-2849 PTFE 8.625 27.188 BW24 (0.00) 250 150 No 4 around, 4 high 75 4HD4886-2879 PTFE 0.750 3.500 VMF4 1.00 (28.00) 3000 250 No GLFPF3101 76 4HD4886-2909 PTFE 0.750 3.310 VMM4 1.00 (28.00) 3000 250 No GLFPF3000VMM4 with chemraz O-ring 77 4HD4886-2917 PTFE 2.200 5.531 VMM8 15.00 (420.00) 750 176 No SGLF6101VM6/8M 78 4HD4886-2924 PTFE 2.200 3.940 6mm Comp. 15.00 (420.00) 750 250 No GLF6101 79 4HD4886-2925 PTFE 2.200 3.940 8mm Comp. 15.00 (420.00) 750 250 No GLF6101 80 4HD4886-2926 PTFE 2.200 3.940 10mm Comp. 15.00 (420.00) 750 250 No GLF6101 81 4HD4886-2954 PTFE 6.625 35.281 BW32 (0.00) 250 250 No 2 around, 2 high, Super- Cheminert Element 82 4HD4886-2983 PTFE 1.125 3.870 BW6 4.00 (112.00) 750 350 Yes GLFPF6402BW6 except finish 83 4HD4886-2999 PTFE 0.750 3.310 VMM4 1.00 (28.00) 3000 250 No Millennium Mini 84 4HD4886-3004 PTFE 2.500 11.610 BW12 60.00 (1680.00) 250 176 No Maxi 85 4HD4886-3037 PTFE 0.750 5.000 VMM4 (0.00) 3000 250 No 86 4HD4886-3159 PTFE 0.750 3.540 6mm BW 1.00 (28.00) 3000 250 No GLFPF3000 80 81
직경 길이 유량 압력 온도 No P/N (인치) (인치) Fitting scfm (slpm) (PSIG) (F) 전처리 유사제품 직경 길이 유량 압력 온도 No P/N (인치) (인치) Fitting scfm (slpm) (PSIG) (F) 전처리 유사제품 87 4HD4886-3162 PTFE 2.500 8.750 VMM8 35.00 (980.00) 250 250 No MAXI 88 4HD4886-317 PTFE 1.250 5.563 SM4 8.00 (224.00) 750 350 No GLFPF6401SM4S WITH DIFFERENT CARTRIDGE 89 4HD4886-3231 PTFE 2.500 11.111 VMM12 60.00 (1680.00) 250 250 No Like GLFPF9101 90 4HD4886-3293 PTFE 1.250 3.880 BW4 4.00 (112.00) 750 350 Yes 6402 integral version 91 4HD4886-3294 PTFE 1.250 3.880 BW8 4.00 (112.00) 750 350 Yes 6402 integral version 92 4HD4886-1955 316L 1.310 3.310 VFF4 2.65 (74.20) 3000 100 No GLFF4000 93 4HD4886-2011 316L 1.250 3.310 FLTGSKT 1.77 (49.56) 3000 100 No GLFF4400 94 4HD4886-2153 316L 1.310 3.310 VMM4 1.77 (49.56) 3000 100 No 28 mm Pack 95 4HD4886-2171 316L 0.840 2.940 BVM4 0.53 (14.84) 3000 100 No GLFF1100, SST Pack 96 4HD4886-2184-1 316L 12.750 44.250 BW48 (0.00) 200 100 No 4 sided, 4 around, 2 high 97 4HD4886-2184-2 316L 12.750 44.250 BW64 (0.00) 200 100 No 4 Sided, 4 around, 2 high 98 4HD4886-2185-2 316L 4.500 22.125 BW16 (0.00) 150 200 No 4 Sided, 1 around, 1 high 99 4HD4886-2227 316L 1.310 1.650 BW8 2.65 (74.20) 3000 100 No GLFF4000BW8, short 100 4HD4886-2281-1 316L 4.500 22.125 BW12 (0.00) 150 200 No 4 Sided, 1 around, 1 high 101 4HD4886-2281-2 316L 4.500 22.125 BW16 (0.00) 150 200 No 4 Sided, 1 around, 1 high 102 4HD4886-2281-3 316L 4.500 22.125 BW24 (0.00) 250 200 No 4 Sided, 1 around, 1 high 103 4HD4886-2281-7 316L 4.500 33.250 BW24 (0.00) 150 200 No 4 Sided, 1 around, 2 high 104 4HD4886-2281-8 316L 4.500 33.250 BW32 (0.00) 150 200 No 4 Sided, 1 around, 2 high 105 4HD4886-2282-1 316L 3.500 10.125 BW8 (0.00) 150 200 No 2 Sided, 1 around, 1 high 106 4HD4886-2282-2 316L 3.500 10.125 BW12 (0.00) 150 200 No 2 Sided, 1 around, 1 high 107 4HD4886-2348 316L 10.750 37.992 Flange (0.00) 150 104 No 4 Sided, 3 around, 2 high 108 4HD4886-2368-1 316L 4.500 24.750 Flange (0.00) 150 200 No 4 Sided, 1 around, 1 high 109 4HD4886-2392-1 316L 4.500 24.750 Flange (0.00) 150 200 No 4 Sided, 1 around, 1 high 110 4HD4886-2400 316L 10.750 41.000 BW48 (0.00) 250 200 No 4 sided, 2 around, 2 high 111 4HD4886-2430 316L 2.250 3.310 SM6 5.30 (148.40) 750 212 No GLFF5500SM6 112 4HD4886-2454 316L 2.250 3.310 VMM8 5.30 (148.40) 750 250 GLFF5500VMM8 113 4HD4886-2488-1 316L 4.500 22.125 BW12 (0.00) 250 200 No 4 Sided, 1 around, 1 high 114 4HD4886-2488-2 316L 4.500 22.125 BW16 (0.00) 250 200 No 4 Sided, 1 around, 1 high 115 4HD4886-2488-3 316L 4.500 22.125 BW24 (0.00) 250 200 No 4 Sided, 1 around, 1 high 116 4HD4886-2489-1 316L 3.500 10.125 BW8 (0.00) 250 200 No 2 Sided, 1 around, 1 high 117 4HD4886-2489-2 316L 3.500 10.125 BW12 (0.00) 250 200 No 2 Sided, 1 around, 1 high 118 4HD4886-2491 316L 1.310 3.310 SM 2.65 (74.20) 3000 100 No GLFF4000 119 4HD4886-2505 316L 1.131 2.780 VMM4 1.77 (49.56) 3000 100 Yes GLFF4400VMM4 with 70.5mm OAL 120 4HD4886-2509 316L 2.250 3.310 VMM8 5.30 (148.40) 750 212 No GLFF5000VMM8 121 4HD4886-2510 316L 1.130 3.310 VFM4 2.65 (74.20) 3000 100 No GLFF4000VFM4 122 4HD4886-2512 316L 2.250 3.750 VFM8 5.30 (148.40) 750 212 No GLFF5000VFM8 123 4HD4886-2517-2 316L 12.000 39.375 Flange (0.00) 200 100 No 4 sided, 4 around, 2 high 124 4HD4886-2518-2 316L 4.500 20.625 Flange (0.00) 150 200 No 4 Sided, 1 around, 1 high 125 4HD4886-2528 316L 0.840 3.940 VMF4 0.53 (148.84) 3000 100 No GLFF1000MF4 126 4HD4886-2586 316L 4.500 35.252 BW (0.00) 250 200 No 4 sided, 1 around, 2 high, 40A Schedule 5S BW Connections 127 4HD4886-2587 316L 4.500 25.122 BW (0.00) 250 200 No 4 sided, 1 around, 2 high, 25A Schedule 5S BW Connections 128 4HD4886-2595 316L 1.310 2.880 SM4 1.77 (49.56) 3000 100 No GLFF4400 129 4HD4886-2600 316L 2.250 3.310 SM6 5.30 (148.40) 750 212 No GLFF5000SM6 130 4HD4886-2606 316L 0.750 1.500 BW4 0.53 (14.84) 3000 100 No GLFF1100BW4 131 4HD4886-2610 316L 1.250 3.310 VFF4 1.77 (49.56) 3000 100 No GLFF4400VFF4 132 4HD4886-2689 316L 1.310 1.110 BW4 2.65 (74.20) 75 840 No Gas Diffuser with 28 mm pack. 133 4HD4886-2691 316L 1.310 2.532 BVM4 1.77 (49.56) 3000 100 Yes 134 4HD4886-2729 316L 3.020 3.937 BW8 11.30 (316.40) 750 212 No 76 MM Low Pressure 135 4HD4886-2754 316L 4.500 35.252 BW (0.00) 250 200 No 4 Sided, 1 around, 2 high, 25A schedule 5S Conx 136 4HD4886-2783 316L 0.840 2.870 BVM4 0.53 (14.84) 3000 100 No GLFF1100 137 4HD4886-2787 316L 1.310 3.310 VMM4 1.77 (49.56) 3000 100 No GLFF4000 138 4HD4886-2803 316L 1.310 3.310 VFF4 2.65 (74.20) 3000 100 No GLFF4000 139 4HD4886-2832 316L 1.310 2.880 SM4 1.77 (49.56) 3000 100 No GLFF4000 140 4HD4886-2835 316L 4.500 26.125 VMM12 (0.00) 150 100 No 4 Sided, 1 around, 1 high 141 4HD4886-2893 316L 3.020 7.303 VMM12 11.30 (316.40) 750 212 Yes 76 MM 142 4HD4886-2911 316L 0.750 3.470 VMF4 0.53 (14.84) 3000 100 No GLFF1100VMF4 143 4HD4886-2958 316L Flange (0.00) 325 250 Part of Skid 144 4HD4886-2959 316L Flange (0.00) 515 250 Part of Skid 145 24HD4886-2960 316L Flange (0.00) 515 250 Part of Skid 146 4HD4886-3006 316L 1.310 2.786 VMM4 2.65 (74.20) 3000 840 Yes GLFF4400 147 4HD4886-3007 316L 1.310 3.316 VMM4 2.65 (74.20) 3000 840 Yes GLFF4400 148 4HD4886-3094 316L 1.310 1.750 BW4 1.77 (49.56) 3000 100 No GLFF4000 149 4HD4886-3148 316 3.520 7.750 BW8 11.30 (316.40) 3000 200 No 76 MM 150 4HD4886-3160 316L 3.020 6.063 BW8 11.30 (316.40) 750 212 Yes 76 MM 151 4HD4886-3181 316L 0.870 3.500 VMM4 0.53 (14.84) 200 752 No 1100 with platinum 152 4HD4886-3188 316L 2.250 5.000 VM6 5.30 (148.40) 750 250 No GLFF5500 153 4HD4886-3190 316L 3.520 7.750 VMM8 11.30 (316.40) 3000 200 No 76 MM 154 4HD4886-3195 316L 12.750 44.250 100A, Sch 5 (0.00) 200 100 No 4 sided, 4 around, 2 high 155 4HD4886-3196 316L 4.000 21.380 25A, Sch 5 (0.00) 150 250 No 4 Sided, 1 Around, 1 High 156 4HD4886-3197 316L 4.000 11.500 20A, Sch 5 (0.00) 150 250 No 2 Sided, 1 around, 1 high 157 4HD4886-3198 316L 4.500 33.250 40A, Sch 5 (0.00) 150 200 No 4 Sided, 1 around, 2 high 158 4HD4886-3219 316L 4.500 22.250 32A RF Flange (0.00) 250 200 No 4 Sided, 1 around, 1 high 159 4HD4886-3255 316L 6.500 1.250 VM4 5.30 (148.40) 22 No ISO 100 Diffuser 160 4HD4886-3257 316L 0.870 2.160 C-Seal 0.07 (1.96) 500 212 No 1.125" Top Mount 161 4HD4886-3258 316L 0.870 2.160 W-Seal 0.07 (1.96) 500 212 No 1.125" Top Mount 162 4HD4886-3259 316L 1.310 0.067 SM8 2.65 (74.20) 3000 100 No GLFF4400 High Pressure 163 4HD4886-3266 316L 4.000 11.500 25A, Sch 5 (0.00) 250 200 No 2 Sided, 1 around, 1 high 164 4HD4886-3267 316L 10.750 38.500 (0.00) 150 104 No 4 Sided, 3 around, 1-1 high, 2-2 high 165 4HD4886-3277 316L 1.300 3.310 VMM4 1.77 (49.56) 3000 100 Yes GLFF4400VMM4 with +.010 OAL 166 4HD4886-3278 316L 1.380 3.000 VM4 (0.00) 15 300 No Diffuser using special 28mm (4400) pack.) 167 4HD4886-3286 316L 1.570 4.000 VM4 1.77 (49.56) 15 300 No Diffuser using 28mm (4400) pack. 168 4HD4886-3307 316L 1.180 5.900 VMM8 (0.00) 80 662 No Special Liquid Gas Filter 169 4HD4886-3339 316L 1.310 3.310 VMF4 0.20 (5.60) 3000 100 No GLFF4400 82 83
가스 정제기 추천 일람표 Purifier AresKleen Recommended for: Argon (Ar) Butane (C 4 H 10 ) Carbon dioxide (CO 2 ) Carbon Monoxide (CO) Carbon tetrafluoride (CF 4 ) Chlorine (Cl 2 ) Cyclopropane (C 3 H 6 ) Dichlorosilane (DCS) Dimethyl ether ((CH 3 ) 2 O) Disilane (Si 2 H 6 ) Ethane (C 2 H 6 ) Germane (GeH 4 ) Helium (He) Hexafluoroethane (C 2 F 6 ) Hydrogen (H 2 ) Krypton (Kr) Methane (CH 4 ) Neon (Ne) Nitrogen (N 2 ) Nitrous oxide (N 2 O) Oxygen (O 2 ) Perfluoropropane (C 3 F 8 ) Propane (C 3 H 8 ) Silane (SiH 4 ) Sulfur hexafluoride (SF 6 ) Trichlorosilane (TCS) Xenon (Xe)