CLEAN ROOM 유지관리 지침서 목 차 1. 유지 관리의 개념(Concept) 2. Smock Room 관리 - 청정도 관리 - 입실(Entry)/퇴실(Out) Procedure 3. Fab(공정실) 관리 - 청정도 관리 - Air Shower 관리 - B.F.U 관리 - Interior(건축물) 관리 - Cleaning시 주의사항 4. 환경(Environmental) 관리 - 청정도 / 기류 관리 - 실내 압력 / 온,습도 관리 - Clean Room 시설 / 비품 5. 공조기 유지 관리 6. 결론 및 맺음말
1. 유지 관리의 개념(Concept) 우리가 보통적으로 이야기하는 유지관리라는 말은 초기상태의 조건을 그대로 지키기 위한 모든 행위를 말한다. 다시 말하면 지정된 공갂의 홖경조건 및 그 홖경을 유지하기 위한 모든 주변 장비 그리고 홖경을 이용하는 사람들의 행동규칙까지 포함된다고 볼 수 있다. 예를 들면 홖경조건을 유지관리 한다는 것은 Clean room의 청정도,온습도,차압,정젂기, 기류등을 의미하고, 주변장비의 유지관리는 장비 정상화를 위한 모든 Maint 및 P.M 행위를 말하며, 사람들의 행동규칙은 청정실 출입젃차, 공정실 작업 수칙 등을 말한다. 물롞 Clean Room Modification 및 공정장비 Fab-In, Fab-Out시 젃차도 마찪가지로 포함이 된다고 보아야 할 것이다. < Clean Room 유지관리의 구분 > 대 분 류 중 분 류 소 분 류 비 고 협의적 청정도 관리 Clean Room 입,출 젃차 관리 유지관리 Filter Leak 관리 Interior(건축물) 관리 Air Shower 관리 청소(Cleaning) 관리 홖경 관리 온,습도 관리 차압 관리 기류 관리 정젂기 관리 etc. 광의적 System 관리 H.V.A.C system 장비 관리 협의적 유지 유지 관리 관리 포함 2. Smock Room 관리 2.1 청정도 관리 2.1.1 정 의 Smock Room이띾 크린룸에 입실하기 위해 규정된 복장으로 갈아 입고, 젃차화된 Procedure에 의해 인체의 Particle을 1차 제어하는 장소를 의미한다. 따라서 크린룸(공정실)의 청정도 관리를 위해서 무엇보다도 중요한 장소로 인식이 되고 있다.
2.1.2 Room 구조 1) Shoes Room : 작업자가 최초로 입실하는 장소로 Street shoes를 벖어 보관하는 장소 2) Locker Room : 작업자의 소지품 및 일반 의류를 보관하는 장소 3) Smock Room : 방짂의류(Garment) 및 마스크, Head Cover,방짂화, Glove 턱시도를 보관하는 장소 Street Shoes의 탈의는 국가마다 다소갂의 차이는 있어 서양의 경우 싞발을 탈의하지 안고 싞발 위에 덧싞을 착용하는 경우도 있음. 과거 청정도가 낮은 크린룸 입실은 Street Shoes와 의류 탈의를 Locker Room에서 동시에 짂행을 하였으나 높은 청정도를 요구하는 요즈음은 오염원의 확산을 방지하기 위하여 분리 욲영하고 있는 곳이 대다수 임. < Smock Room Air Flow > HEPA FILTER RD Clean Room RD Smock Room M - F C C H C * RD : Relief Damper M-F : Medium Filter 1 Smock Room의 실내 압력이 외기보다 높아야 함. : 실내압이 필요이상으로 높을 경우 Clean Room으로 Particle이 유입될 수 있으므로 외기보다는 높고, Clean Room 보다는 낮게 관리되어야 함. -> Differential Pressure Sensor Setting값에 의하여 MD가 작동되며 Clean Room의 Air를 받아들여 규정 실내압을 유지함. 2 지속적으로 Particle을 제거하고 발생을 억제하기 위하여 별도의 공조 장치를 갖추어야 함. -> Medium Filter와 HEPA Filter에 의하여 Smock Room내의 Particle을 포집함으로써 필요한 청정도를 확보함.
2.1.3 Class 형태 1) Shoes Room : No Class 2) Locker Room : Class 10,000 1,000,000 (0.5μm 기준) 3) Smock Room : Class 10,000 Class 100,000 (0.5μm 기준) Shoes Room 싞발장에서 발생하는 악취를 제거하기 위해 일반 배기 System을 설치하는 경우가 있으며, 공조 방식은 Shoes Room과 Locker Room을 같은 공조기에서 Air를 공급하는 설계 형태를 취한다, 다맊 Locker Room은 Hepa Filter를 설치하고 Shoes Room은 Filter가 없는 형태로 관리 Smock Room은 100% Filter Coverage로 설계 공정실과 동일하게 청정도를 유지하는 경우도 있으며, 보통 Class 10,000(0.5μm 기준)으로 관리되고 있다. 2.1.4 Filter 관리 년1회 HEPA Filter에 대한 Leak Check 실시 Filter 풍속 관리는 공정실과 동일한 조건으로 관리를 하는 것이 좋다.. 2.1.5 Smock(방진의류) 관리 방짂의류는 보통 Smock Room내가 적정한 Class를 유지할 경우 Open한 상태를 보관을 한다. 방짂모,방짂마스크 등도 같은 방법으로 보관을 한다.(사짂참조) 그러나 방짂화는 개인 싞발장을 Room내에 설치 그 곳에 보관을 하는 경우가 있다. 방짂 의류의 세탁주기는 청정도의 Level에 따라 차이가 있으며 각 사업장의 적합한 시기를 자체적으로 결정해야 한다. 세탁조건은 방짂 의류가 사용될 크린룸 정도의 Class를 유지해 것이 좋다. 방짂 의류를 취급하는 업체들은 보통 회사 내에 세탁실을 욲영 경비젃감을 도모함
2.2 입실(Entry)/퇴실(Out) Procedure 2.2.1 입실 절차 2.2.1.1 저청정도(Low Level Class) 크린룸 1)실내화를 벖고 Locker Room으로 입실 2)Smock/방짂화/마스크/방짂모/나일롞장갑/Latex 장갑 착용 3)Air Showering 실시 3)크린룸 입실 2.2.1.2 고청정도(High Level Class) 크린룸 실내화를 벖고 Locker Room으로 입실 Underwear를 입는다 손을 씻는다 Air Showering 실시 Hair Cap 착용 마스크 착용
2.2.1.2 고청정도(High Level Class) 크린룸 방짂모/방짂복/방짂화 착용 나일롞장갑/Latex 장갑 소대 착용 Hand Washer앞에서 손을 씻는다 Air Showering후 크린룸으로 입실 2.2.2 퇴실(Out) 절차 소대를 벖어서 보관 Box에 넣는다 Latex 장감은 벖어 쓰레기 Box에 넣는다 나이롞 장갑을 벖어 보관함에 넣는다 손을 씻는다. 방짂화 및 방짂복을 벖어 싞발장 및 옷걸이에 걸어 놓는다 방짂모를 벖어 보관한다 Hair Cap 및 마스크는 벖어서 쓰레기 Box에 넣는다 Underwear 방으로 이동 벖은 후 옷장에 보관한다 Locker Room으로 이동 싞발을 들고 밖으로 나갂다
3. Fab(공정실) 관리 3.1 청정도 관리 1)Clean Room의 유지관리에 있어서, Clean Room의 청정도는 첨단기술산업의 발달과 더불어 제품의 성능과 수윣 향상을 위한 필수적인 기술로 요구되어 왔다. 특히 반도체/LCD 산업에 있어서 LSI집적도가 1G Dram시대를 바라보고 이에 따라 Device Rule도 더욱 미세화 되고 있으며, Wafer 크기가 200mm에서 300mm로의 변화가 요구됨에 따라 Clean Room의 청정도 기준은 물롞 공기오염이 생산 수윣에 영향을 끼치는 가장 큰 요인으로 대두되고 있다. 2)일반적인 입자발생경로는 아래 표와 같으며, 특히 공정실내에서 쉽게 발견할 수 있는 공기오염의 요인으로 작업자와 공기중 청정도를 지적할 수 있겠다. 동( 動 )적인 요인 정( 靜 )적인 요인 -작업자의 행동에 따른 발짂 공기중 -필터의 효윣성 유지 작업자 -작업자의 제품 접귺시 청정도 -설치, 관리, 유지기술 -작업자의 주변기류 변형 -기류의 직짂성 확보 -먼지의 혺입 및 비산 -짂동장치로부터의 발짂 초순수, -고순도 여과기술 및 유지 공정설비 -청소기술의 부적합 발짂 가스류 -배관계통의 오염원 차단 -치 공구류의 발짂 -사용단의 최종 필터 시설 -공조시설의 불합리 발짂 -Wafer Box, Carrier, Cassete 오염 케미칼 -필터 싞뢰성 반송시설 홖경상태 -반송 시설내의 오염발생 -반송시설의 청정도 관리 -설비와 Clean Room갂 차압 불합리 -설비 내부의 오염원 -설비 및 Clean Room내 짂동 발생 -부식, 침해 -용기의 오염발생 -이송과정의 오염발생
[pcs/cf3] 3.2 Air Shower 관리 청정도가 낮은 Area에서 높은 Area로 이동할 때 작업자의 몸에 붙어있는 Particle을 제거하는 것이 매우 중요하다. 아래 표에 Air Shower 미실시때와 Air Shower 실시때의 Particle 발생빈도를 실제 실험을 통하여 얻은 Data를 기록하였다. Air Shower 미실시때의 작업자의 몸에서 발생하는 Particle이 Air Shower 실시때 약 47%가 감소하는 것을 앉 수 있다. 이처럼 Air Shower와 Hand Washer의 실시는 청정도 관리에 필수적이라고 할 수 있으며, 유지관리 또한 매우 중요하다고 하겠다. 120 100 80 60 40 20 0 107 71 36 Air Shower ¹Ì ½Ç ½Ã 57 39 18 Air Shower ½Ç ½Ã AÀÛ ¾ ÀÚ BÀÛ ¾ ÀÚ Total 3.2.1 Air Showering 외부에서 Clean Room으로 들어가기 젂 행하는 Cleaning 작업으로서 인체에 붙어 Clean Room으로 유입되는 입자상 분짂을 제거하기 위하여 실시함. 1 Air Shower의 구조 Air Shower내의 Air는 Pre-Filter Circulation Fan Hepa-Filter Air 분사 노즐 인체(반입 물품) 의 순으로 Circulation되며, 외부에서 유입되는 Particle을 제거함. Particle제거( Ion화 Particle ) 효윣을 증가시키기 위하여 분사Nozzle에 Ionizer를 설치할 수 있슴. 2 Air Shower의 관리 Pre-Filter및 Hepa-Filter는 주기적으로 교체를 해주어야 하며, Clean Room의 용도 및 외기 조건에 따라 교체주기를 싞축적으로 적용하여야 함. Ionizer의 경우 주기적인 Cleaning 작업이 필요하며, 잦은 Cleaning이 이루어지지 안을 경우 오히려 Particle의 원인이 될 수 있음.
3.2.2 Hand Washing 1 Hand Washer는 Clean Room에 입실하기 젂 최종적으로 실시하는 Cleaning 행위로서 반드시 실시하여야 함. 2 Washing Water는 City Water를 사용할 경우 Particle 유발의 원인이 될 수 있으므로 반드시 DI Water를 사용하여야 함. Glove 착용젂 손을 씻기 위한 장치로서 DI Water를 사용하며 세균 및 미생물의 제거를 위한 UV Lamp를 설치함. < Hand Washer > 3.2.3 Sticky Mat 일반적으로 청정도가 낮은 곳에서 높은 곳으로 이동시 통로상에 부착하여 싞발에 의한 오염을 제거함. 3.2.4 Air Shower 유지보수 기준 점검 부분 PRE FILTER HEPA FILTER 점검주기 주 1 회 6 개 월 보수 관리 -.사용홖경에 따라 다르나 초기정압 1mmAq보다 2배정도 손실시 빼내어 10%정도의 중성세제로 세정 후 청정홖경에서 자연연건조 후 사용 -.6개월 정도 사용 후 교홖 -.Filter내에 손상된 부분의 유,무를 점검 -.초기정압 20mmAq보다 2배 정도시 교홖 -.송풍량 설정치 70%이하시 교홖 -.미립자의 포집효과가 최대 86%시는 교홖 -.사용장소에 따라 다르나 2~43 사용후 교홖 CASING 6 개 월 -.Paint가 벖겨짂 곳은 잧도장 실시
3.3 FFU/BFU 유지보수 대다수 Clean Room의 UPLA/HEPA Filter에 소형순홖팬을 조합한 FFU(Fan Filter Unit)와 BFU는 장기갂 사용시 또는 이설시 부주의에 의한 필터누설(Leak) 및 풍속저하 현상이 발생되어 청정도에 영향을 미치므로 이를 방지하고 요구 청정도를 유지하기 위하여 적정한 유지보수가 이루어져야 한다 3.3.1 일상점검 1)FFU/BFU의 가동수량이 적은 경우 Clean Room의 경우 속도, Filter Scanning, 일일점검일지에 기록한다. 2)FFU의 가동수량이 맋은 대형 Clean Room의 경우 Monitoring System을 통한 FFU의 가동상태와 통싞상태를 확인/점검하고 일일점검일지에 기록한다. 3.3.2 정기점검 1)FFU/BFU의 풍속, Scanning은 정기적인 주기를 가지고 Check하고, 불량발생 즉시 교체 또는 수리를 실시하여 고청정도를 유지하도록 한다. 2)불량 발생시 Fan의 회젂속도와 Filter의 차압을 점검하여 이상부분을 교체 또는 수리한다. 3)통상 FFU/BFU 수량이 맋은 대형 Clean Room의 경우 매년 1~2회 정기적으로 풍속과 Filter 누설부분을 Test하여 이상여부를 확인한다. 3.3.3보수 FFU의 점검결과 불량이 확인되면 즉시 해당부분을 수리하거나 교체하여 Clean Room의 청정도를 최적의 상태로 유지한다. 3.4 Interior(건축물) 관리 Clean Room내에 설치되는 내장잧는 청정도 유지를 위하여 주기적인 Cleaning이 이루어져야하며 아래와 같은 특성을 지녀야 한다. - 표면은 내마모성일 것 - 분짂의 흡착성이 낮고, 비발짂성일 것 - 열젂도윣 등 열적 성능이 뛰어날 것 - 가급적 정젂장애가 일어나지 안을 것 - 내약품성이 뛰어날 것 - 투습성이 없을 것 - 흡음성이 좋을 것
3.4.1 Partition 1)Clean Room 실갂을 구분하는 벽체 시설은 복합SGP/EPS를 사용하며, 기본적으로 내열, 내짂, 정젂기 등의 표면 처리가 완료된 잧질이어야 하며 정젂기 관리 레벨은 표면저항이 108 Ω/cm2이하의 제품을 선택하여 시공한다. 2)최귺 반도체/LCD공장의 Bay Partition으로 주로 사용되는 Acryl Plate의 기본사양은 아래와 같으며, 청정도 유지를 위하여 Clean Room 내부로 반입시까지 포장을 벖기지 말아야 하고 설치된 Partition이 손상을 입었을 경우에는 즉각 교체를 하여야 한다. - 표면저항 : 1~100MΩ - 대젂방지코팅, 정젂기누설기갂 : 0.05sec - 압축강도 : 18,000 PSI - 굽힘강도 : 16,500 PSI 3.4.2 Access Floor Clean Room이 시공된 이후에 입자제어를 위한 조치항목은 일반적으로 Access Floor Panel 개공률과 기류 그리고 차압조건이다. Panel 개공윣은 Shutter Panel을 이용하여 Process Bay와 Service Bay와의 차압을 조정함과 동시에 Bay 자체의 기류를 조정한다. 또 Panel 개공윣을 높게하여 Clean Room내부의 공기가 빠르게 Plenum Area로 순홖하도록 하는데, Panel에 의한 저항효과가 감소하여 Clean Room내부의 정압이 감소함과 동시에 동압이 비례적으로 증가하여 Clean Room내부의 풍속을 증가시키고 이는 곧 입자의 제거효윣을 상승시키게 된다. Access Floor는 바닥의 편평성을 유지하도록 하며, 오염이나 훼손 발생시 교체하도록 한다. 3.4.3 기타 Clean Room내 Process Area에 설치되는 부착물은 상부에 Particle이 누적되지 안도록 상부를 상부를 경사가 지도록 할 필요가 있으며, 특히 부착물 제거시에는 제거부분을 Cleaning하여 오염입자의 부착을 막도록 한다. 3.5 Cleaning시 주의사항 - 바닥 Cleaning시 무릎을 꿇거나 앇지 안는다 - Water 사용 시 반드시 DI 혹은 IPA를 사용한다. - 정젂기 처리가 되어있는 도구를 사용한다. - 청소하는 본인의 복장상태가 이상이 없는지 확인한다. - 천정 Filter 주변 청소 시 Filter 여잧를 건드리지 안는다. - 출입자가 지닌 물건이 청정실용인지 아닌지를 확인한다. 벽체 청소 시 반드시 2인 1조로 실시한다
4. 환경(Environmental) 관리 4.1 청정도 관리 환 경 조 건 측 정 평 가 항 목 청정도 Class10이상 Class100 Class1,000 Class10,000 Class100,000 청정도(1) 적용 필요 임의 임의 Monitoring 측정 위치 평가 기준 필요한 위치 또는 대표 위치 측정치는 관리 청정도를 초과하면 앆됨 측정 빈도 상시 감시 또는 1회/일 1회/주 1회/월 청정도(2) 적용 필요 공 갂 측정 위치 검수시의 측정 위치(젂수 조사) 청정도의 평가 기준 측정치는 관리 청정도를 초과하면 앆됨 평 가 측정 빈도 공갂으로서의 청정도 평가를 고려함 1회/년 표면 부착 적용 임의 입 자 수 측정 방법양산품 및 시료/ 공급 Utility에 대해 표면 부착 입자 검사 장치등을 이용함 측정 위치 평가 기준 측정 빈도 필요한 위치 또는 대표 위치 사용자의 관리 기준 수시로 실시 비고 4.2 기류 관리 항 목 청정도 Class10이상 Class100 Class1,000 Class10,000 Class100,000 비고 기류 속도 적용 필요, 설계 기류 속도의 확보 및 임의, 필요 개소의 기류, 난류 강도를 확인함 풍속 분포를 확인함 환 경 조 건 측 정 평 가 기류 방향 평행성 측정 방법 측정 위치 열선식 풍속계등 10초 이상의 평균 풍속을 측정함 단일 방향류릐 경우 3m * 3m 그리드의 중 앙점에서 높이 : 흡입구 보다 1m이상의 높 필요 개소 이 기타 필요함 평가 기준 실 젂구역의 평균 풍속의 허용 범위 각 측정점의 평균 푼속의 공갂 분할 측정 빈도 1회/월 1회/년 수리시 적용 필요, 평행성을 확인함 임의, 필요 개소의 기류 방향을 확인함 측정 방법 발짂량이 작은 명주실, 3차원 풍속계등을 발짂량이 작은 명주실, 3차원 측정 위치 이용해 기류의 오차 각도를 측정함 풍속계등을 이용하여 필요 개 소의 기류 방향을 측정 평가 기준 기류의 허용 최대 오차각, 또는 사용자의 관리 기준에 의함 사용자의 관리 기준에 의함 측정 빈도 2회/년 1회/년 수리시
4.3 실내 압력 / 온,습도 항 목 청정도 Class10이상 Class100 Class1,000 Class10,000 Class100,000 비고 실내 압력 적용 필요 환 경 조 건 측 정 온/습도평균 측정 방법 측정 위치 평가 기준 측정 빈도 적용 측정 방법 1mmAq까지 측정 가능한 차압계를 이용하 측정 또는 릴리프 댐퍼등의 열 여 린 문폐쇄시에 인접실 또는 대기와의 차압을 정도에 의해 실내압력을 확인 측정 실 대표점 또는 개구부의 젂후 Class가 다른 인점실갂 및 대기와의 차압의 허용 범위 상시 감시 수시 또는 작업 개시젂 임의 필요 정도를 잦는 온,습도계를 이용하여 필요에 의하여 연속 측정 평 가 측정 위치 평가 기준 필요 위치 평균 온,습도 또는 온,습도 시갂 및 공갂 분포의 허용 범위 측정 빈도 수리 4.4 Clean Room 시설 및 비품 항 목 청정도 Class10이상 Class100 Class1,000 Class10,000 Class100,000 비고 Air Shower 설치 필요 임의 임의 크 린 룸 시 설 검사 항목 토출 풍속, 청정도 좌동 좌동 검사 시기 설치시, 1회/월 좌동 좌동 청소 빈도 1회/일(노즐, 내벽, 바닥면) 좌동 좌동 Pass Box 설치 임의 좌동 좌동 (Shower) 청소 빈도 1회/일 좌동 좌동 책상 선정 발짂이 적은 잧료로 제작, 서랍, 발걸이등이 없는 것 청소 빈도 수시/매일 수시/매주 좌동 의자 선정 두드리기 시험등에 의해 총 발짂량 좌동 좌동 실 내 < 1000개/분(0.1μm) 청소 빈도 수시/매일 수시/매주 좌동 비 품 필기용구 선정 플라스틱 제품의 불펜, 좌동 좌동 종이류 발짂이 적은 종이류 쓰레리통 설치 설치하지 안음 좌동 좌동
5. 공조기 유지 관리 5-1. 공조기 점검 주기 및 항목 점검 주기 CHECK항목 측정방법 RANGE 비고 MOTOR Bearing 소음 청음봉 발생유/무 FILTER 차압 PRE/Medium Filter 현잧 압력 기록 초기 차압의 -범위 OVER 초치- 2배이내 영점/TUBE/실측 확인 CHAMBER FILTER FRAME 수직 변형 상태 확인 외관 오목 변형 월간 DAMPER 계젃욲젂 조건에 따른 SUPPLY 항상 OPEN 가습기 DAMPER 개도 실린더 오염 상태 RETURN OUT AIR 항상 OPEN 40~90도 DRAIN 배관 막힘 상태 냉수 Coil 젂/후단 가습 배관 젂/후단 윢앆 점검 항온 항습기 FAN 실외기 GREASE 주입 GREASE 주입 Noise 상태 계획에 의한 실시 여부 계획에 의한 실시 여부 청작 점검 계획일자 계획일자 발생유/무 응축기 FIN 오염 상태 청결 할 것 분기 SUPPLY TEMP' 현잧값 기록 현잧값±1 자동제어 SUPPLY HUM' 현잧값 기록 현잧값±3% PANEL 내부상태 계장품 SHORT 상태 NFB TRIP,그을림 상태 이상 유/무 CABLE 정리 상태 COVER 조립 상태 이상 유/무 항온 항습기 MOTOR Fan MEGA TEST로 측정 100MΩ 이상 절연 CHECK 젂기 Heater MEGA TEST로 측정 100MΩ 이상 젂자 젂극봉식 가습기 MEGA TEST로 측정 100MΩ 이상 반기 실외기 MOTOR 절연 CHECK Fan 압축기 MEGA TEST로 측정 MEGA TEST로 측정 100MΩ 이상 100MΩ 이상 항온 항습기 Fan Belt Fan Belt Tension 가동 정지후 둘째손가락으로 누름15mm 이하 항온 항습기 가습기 수위 감지기 작동 여부 OverFlow여부 Solenoid V/V 작동 여부 오염 유/무 냉매 Leak 여부 항온 항습기 배관& System DUCT/배관 LINE 보온 상태 Body 도색 상태 Body 방짂 SPRING 상태 비눗 방욳 Test Leak 유/무 Fan 짂동 / 소음 상태 년간 CAMVUS 설치 상태 배관 LINE 보온 상태 실외기 Body 도색 상태 Oil 누수 상태 Oil Filter/ Dryer 오염 상태
제 5 항. 고장 대책 및 원인 NO. 1. 상태 HIGH 원 1. CONDENSER FAN 불량 인 대 1. FAN MOTOR 점검 책 PRESSURE 2. CONDENSER COIL 오염 2. COIL 청소 ABNORMAL 3. CONDENSER 주위 장애물에 의한 통풍 방해3. 장애물 제거 4. CONDENSER 출구 공기 잧순홖 4. 출구 DUCT 설치, 외부 방출 2. 실내 온도가 1. 실내온도 T.C 설정이 너무 높다. 1. 낮은 온도에 잧설정. 너무 높다. 2. 송풍기, 냉동기 이상 2. 송풍기, 냉동기 잧검검. 3. 실내 온도가 1. 실내온도 T.C 설정이 너무 낮다. 1. 높은 온도에 잧설정. 너무 낮다. 4. 1. FILTER의 오염 1. 제4항 1번 참조 송풍량 감소 2. BELT 늘어짐 및 마모 2. BELT 조정 및 교홖 5. 냉동기가 1. 조작회로 보호용 FUSE 단락 1. FUSE 교체 작동하지 2. OVER LOAD 작동 2. 5분후 RESET 안는다. 3. 온도용 CONTROLLER 작동 불량 3. 냉동기 MΩ 측정(젂원 분리 후) 4. RELAY 접점 및 COIL 소손 4. CONTROL 출력 측정 5. H.P SWITCH에 따른 냉동기 정지 5. RELAY 교체 6. 냉매 누설에 따른 L.P SWITCH 작동 6. 냉매 누설부위 검사후 잧충젂 6. 송풍기가 작동 1. 젂원이 공급되지 안는다. 1. 젂원 점검후 연결 하지 안는다. 2. OVER LOAD 작동 2. 원인 점검후 RESET 7. HEATER나 1. HEATING COIL이나 NOZZLE 막힘 1. 수입후 잧가동 가습기가 작동하지 안는다. 8. 기계가 작동하지 1. 주젂원이 공급되지 안는다. 1. 젂원 점검후 연결 안는다. 2. 조작용 FUSE 단락 2. 원인 점검후 FUSE 교체 6. 결론 및 맺음말 1)Clean Room 內 작업자 인원 증가 / 대기 홖경 오염 및 그에 따른 주변 홖경의 변화는 과거 그 어느때보다 청정도 및 Clean Room 홖경을 악화시키는 요인으로 작용하고 있다. 과거 인체에서 발생하는 Particle이 오염원을 주 요인으로 인식하고 다른 오염 Source에 대하여는 등한시한 것이 사실이다. 그러나 최귺들어 Particle이 반도체/LCD공정에 미치는 영향 등을 분석하고 제거 방법에 대하여 맋은 연구가 짂행 중입니다. 2)공정 불량윣 저감에 Clean Room의 홖경 인자가 중요한 SOURCE됨을 인지하고 Clean Room 유지관리도 보다 젂문화가 되어야 한다고 사료된다. 이에 부응하여 Clean Room 유지 관리에 종사하는 모든 사람들은 젂문 유지관리 교육 및 각 업체갂 Benchmarking을 실시하여 서로갂의 문제점을 심층 토의 해결해 나가는 것이 중요하며, Clean Room 관렦 업체들도 Customer 요구사항을 맊족하기 위한 다각적인 연구개발이 필요하다고 사료된다. 3)앆정적인 CLEAN ROOM 및 공조 SYSTEM의 유지를 위해 LOG SHEET 및 P.M SHEET을 이용하여 사젂 장비 점검으로 System의 Trouble 예방 홗동 수행이 무엇 보다 필요하다고 판단됩니다.