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Contents 1. 대표이력소개 (Introduction) 2. 단군소개 (Introduction) 3. 사업영역 (Business Activities) 4. 조직도 5. 단군에서한일 6. Chemical Blending System 7. AP Plasma Glass표면처리기 8. 300mm Spin Etcher 9. 단군이전의실적 10. CMS & 해외실적정리 단군이전포함

1. 대표이력소개 (Introduction) 1. Varian Korea Ltd. 미국의본사를두고있는 Iron Implanter 반도체회사 High Energy(MeV), Medium Current, High Current(VIISta) : IT/SE Team -- System Engineer 업무내용및성과 - High-energy System Engineering 를 main job Samsung 6&7 과 100 억정도의 G1510 Control System Upgrade project 개발, 연구완료. - System Engineer 로서 VCS(Varian Control System) 장비의개발과 Support - FA(Factory Automation ) - 사내 Server 관리및 Network 망관리및전산관련업무일체총괄. - Unix (Admin 과정수료 ) - Dos(TSX 라는개념의특허로 Dos 에서실시간통신 ) 2. ART ATTO 를모기업으로하여한국에서처음으로 300m WET Single Water 개발 : 책임연구원 업무내용및성과 - 한국에서처음 300m Wafer 에대하여 Batch Type 에서 Single Type 으로개발을진행함 - 현재사용하는 Single Type 장비의기본 Concept 이되는 Wet 장비연구개발.

1. 대표이력소개 (Introduction) 3. C&G Hi-tech Chemical Mixing 장비를개발생산하는업체로 10 년을근무하였으며생산한모든장비의 PC 관련된업무를일체를혼자처리하였음 : 제어팀장모든서버를개발하고관리, 사내 PC 전체관리, 사내소프트전체관리 : 전산실장 (Web Server, Mail Server, Backup server, ERP Server, DRM Server) 업무내용및성과 - SC-1, DDS21, DSP, HBS, SRS... 등모든장비의모니터링 System 단독독자개발함. - SC-1, DDS21, DDS11, DSP, HBS, SRS... 등 90% 이상의장비의 Set-up 에참여. - Samsung 에납품한장비는대략 300 여대이며 Hynix 에는약 50 여대정도납품함. - Central Monitor System (CMS) 개발과 Set-up 을단독진행함. - 회사전산망운영및관리 (PC 와 Soft 포함 ) 하고각종서버들의개발을진행하고완료함 - 회사홈페이지개발완료, 회사메일개발완료, ERP 서버구축, DRM( 회사보안프로그램 ) - 서버구축, 그룹웨어및전자결재프로그램개발완료. - 회사의중요한자산인개인의자료를회사의공통서버로자동이관하여보관하는 Back-up 개발완료. - 표면처리기의 Host 통신 (HSMS) 과메인시스템개발완료.( 삼성탕정, LG)

1. 대표이력소개 (Introduction) 각종해외 Project 의참여현황 (1). SAS(Semi. Austin Samsung) 미국 TX, Austin 프로젝트전시스템 Set-up 을총괄함. SC-1, HBS, DBS, Auto Decap, DSP 등 20 여대. (2). BOE B2 ~ B3 중국 BOE 공장들의 NESCO 장비들의 Main CMS(DDS-11,DMS, RMS) 를개발완료함 (3). TIANMA Fab2 ~ Fab3 중국 BOE 공장들의 NESCO 장비들의 Main CMS(DDS-11,DMS,RMS) 를개발완료함 (4). 그외다수해외 Set-up 에참여함 CMO, AUO, INNOLUX, CSOT, Shuman, Truly 등.. 다중 CMS(Central Monitoring System) 개발 사무실과생산현장에서동시에확인할수있는 CMS 개발완료. 탕정 T7 ~ T8, BOE B2 ~ B3, TIANMA Fab2~Fab3, CSOT 등...

2. 단군소개 (Introduction) 4. 단군엔지니어링 & 시스템 단군엔지니어링 PC 제어부분 - HMI 개발 & CMS ( with Intouch) PLC 제어부분 Melsec & Omron 을이용한자동제어및전장작업일체 단군시스템사내전산관련작업일체 - 사내 PC 유지보수관리, Software 구매및정품 Soft 관리, - 사내서버유지보수관리 ( Mail, ERP, DRM, Group Ware, 전자결재 ) - 개인 PC 의 Data 를회사공용서버에자동이관하여회사무형의지식자산보호프로그램. - 사내망구축및유지보수. 업무내용및성과 - 핸드폰랜즈두께측정기 PLC 제어와전장일체시제품납품.( 원텍 ) - LCD Glass 세정기 PLC 프로그램및전장작업일체. 사전세정기, 사후세정기 (GD) - M10C Slurry CMS - HMI(with Intouch) 상, 하 PC 2 대분 ( 오션 ) - 현대모비스환경차 CPU 제작 Line 의 1 그룹, 2 그룹프로그램개발및전장일체작업완료. - ETCH 장비개조작업완료.( 한빛 ) - Hynix 청주 GAS Cabinet HMI & PLC 프로그램수정 400 대분 (KC Tech)

3. 사업영역 (Business Activities) 1. 단군엔지니어링 (1). PC 제어부분 - Monitoring System - HMI (with Intouch or Fix etc..) Chemical Supply System - SC-1 Central Supply System (with SEC or Hynix) - DSP+ Central Supply System ( with SEC) - Slurry Renewal System (with SEC) - Developer Dilution Central Supply System (NESCO OEM) - HF Dilution Central Supply System - Developer Dilution System (NESCO OEM) - POU Supply System - CCSS and so on. - INTOUCH Soft.( 라이선스 ) 판매대리점 - Wet Cleaning System - Wet Clean Station - Tube Cleaner - Parts Cleaning System

3. 사업영역 (Business Activities) LCD Cleaning System - Glass Cleaning System - AP Plasma Glass Surface Reforming System (NESCO OEM) (2). PLC 제어부분 PLC Control - 모든 PLC 관련프로그램 (Melsec, Omron & LG 와 Touch(HMI) - LCD Glass Cleaning System 전기전장관련작업일체 - 회로구성및도면을포함한전장작업일체

3. 사업영역 (Business Activities) 2. 단군시스템 (1). 사내 Server 개발및유지보수관리 - Mail Server : Exchange를이용한메일서버개발및 Unix 관련 Mail Server 개발 - Web Server : 홈페이지제작및유지보수관리 - ERP Server : ERP 관련된업무일체 ( 유지보수개발관리생산프로세스정리등.) - Backup Server : 회사의개인의자료를중앙으로이관하여중요자료를서버자동보관. 지적자산을중요자료를보호, 보관하고, 인력이직시또는개인노트북고장시발생하는문제를미연에방지함. - 파일보안 Server : 회사의사용하는문서에대하여보안을적용하여외부로중요 Data가외부로유출되는것을방지하고중요인력이직시회사의모든자료가타업체에넘어가는것을보호하고관리함. (2). 사내 Software 관리및판매 & 회사 PC 의유지보수관리및판매 - 각종 Software 판매및불법 Soft 단속을대비한 Software 최상의관리 - 사내 PC의유지보수관리및각종 PC 판매 - Auto Cad 및 Pro-E 등대형프로그램판매설치대행

3. 사업영역 (Business Activities) 2. 단군시스템 (3). 사내망구축및유지보수관리및망전화구축 - 유선 / 무선을회사하여사내회사망을구축 - 중앙관리를통하여개인이작업하는내용일체를확인하여업무의효율성을높임. - 조직변경과자리변동에관련하여발생하는망관련작업일체

4. 조직도 대표이사 지원본부 PC 팀 ( 제어 / 전산 ) PLC 팀 경영 / 구매 PC 제어 전산 제어 HMI(with Intouch) 서버유지관리 전장 CMS PC/ 망유지관리 도면 HSMS(Host) Soft. PC 관리판매

5. 단군에서진행한일 1. LCD Glass 세정기 - Melsec Q & HMI 프로그램일체 - 전장관련일체 - Set-Up & A/S - Place : GD ( 오창 3공장 )

5. 단군에서진행한일 2. Hynix M10C Slurry CMS(Central Monitoring System) Addition SSR7 ( 상, 하 2ea) - CMS ( with INTOUCH) 프로그램일체 - Set-Up & A/S - Communication Set-up 및 setting (422) - Place : Hynix M10C

5. 단군에서진행한일 3. Gas Cabinet Program Modify (300ea - 1 차 ) - OMRON & HMI 프로그램 Modify - Place : Hynix 청주 M8 4. 현대모비스환경차 CPU 제작라인 - 그룹 1, 그룹 2, 그룹 5 프로그램및전장작업 - Place : 현대모비스진천

5. 단군에서진행한일 5. 핸드폰두께측정기 (Spacer) - 프로그램일체 (PLC 및 HMI) - 전장일체 - Set-up 포함

6. Chemical Blending System 장치의개요 - 국내최초고온연속혼합방식가능 - In-Line 방식에의한연속혼합으로대용량안정공급가능 - 당사고유의초정밀유량제어기술채택으로고정도농도제어 - 당사고유의고성능 Static Mixer 채용 - Real Time 농도 Monitoring 및 Feedback 제어로정확한농도관리및이상발생시즉시대응으로공정사고예방가능 - 설비이상대비공급장치 2 대를연동하여 Redundant 구성가능적용 - SC-1 중앙공급 - Developer 희석장치 (NAGASE OEM) - HF Dilution System - DSP+ Blending System - POU Chemical Blending System - CSU Chemical Supply Unit 인증 - S-Mark - SEMI-S2

7. AP Plasma Glass 표면처리기 (Nagase OEM) 장치의개용및특징 - 대기압 Plasma 를이용한강력한표면처리 - BM Glass 에친수성, 소수성동시처리 - CF4 Recycle 을통한 Running Cost Down 및 환경개선 적용 - HSMS(Host) 적용 - HMI(with Intouch + Xcom(Host)

8. 300mm Spin Etcher (Refurbish, Relocation) 장치의개요및특징 - Robot & Module 사양변경및추가기능 - 부분적인 Chamber 개조대응 - 프로그램변경대응 - 자동화대응 - 국내외이설 적용 - Pre Diffusion clean station - Pre Photo clean station - Pre CVD Clean station - PR Strip station - Oxide Wet etch station

KOREA / New - CCSS 9. 단군이전의실적 End User System Quantity DDS-21 26 DSP+ 2 HBS 1 Samsung SC-1 17 SRS 3 Supply unit 3 Hynix CHINA( 台湾 ) / New Mixing Supply unit 6 DDS-21 8 SC-1 4 Supply unit 4 74 End User System Quantity Hynix DDS-21 4 ( 无锡 ) SC-1 4 CMO DDS-21 1 ( 台南 ) DMS 2 Truly DDS-21 1 ( 深圳 ) Supply unit 6 Tianma DMS 1 ( 上海 ) Supply unit 1 20

USA / New - CCSS End User System Quantity Samsung (Austin) CCSS TOTAL System DDS-21 1 DSP+ 1 HBS 1 SC-1 2 Total 5 Amount DDS-21 41 DDS21 = Developer Dilution Supply System DSP+ 3 DSP+ = DSP Mixing Supply System DMS 3 DMS = Developer Management System HBS 2 HBS = HF Blending Supply System SC-1 27 SC-1 = SC-1 Mixing Supply System SRS 3 SRS = Slurry Renewal System Supply unit 14 Mixing Supply unit 6 Total 99

KOREA/New - FPD End User System Quantity Samsung Hynix CHINA( 台湾 ) / New DDS-21 26 DSP+ 2 HBS 1 SC-1 17 SRS 3 Supply unit 3 Mixing Supply unit 6 DDS-21 8 SC-1 4 Supply unit 4 Total 74 End User System Quantity Hynix DDS-21 4 ( 无锡 ) SC-1 4 CMO DDS-21 1 ( 台南 ) DMS 2 Truly DDS-21 1 ( 深圳 ) Supply unit 6 Tianma DMS 1 ( 上海 ) Supply unit 1 Total 20

KOREA SAMSUNG / WET - 이설포함 Line Division Quantity Maker 유휴처리 1 1, 4, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, MPS, R2, NRD, 온양 JAPAN / 이설 이설 14 Modify 17 Modify + 이설 8 Heater Safety Interlock 230 SEMES, DNS, SES, KAIJO, SHIBAURA, MATTSON, AKRION 300mm Spin Etcher Modify 1 Total 271 Line Division Quantity Maker Fujitsu 이설 2 DNS, FSI Victor 이설 5 Ebara, Daitron, Semitool Origin 이설 1 FSI Elpida 이설 29 DNS, KAIJO, TYK Total 37 WET TOTAL System Amount Modify / 이설 308 New 24 Total 332

10. CMS & 해외실적정리 이전실적포함 1. BOE B2 ~ B3 - 다중 CMS Office and 현장중국 BOE 망사용 - TCP/IP 사용, 동축 - 현지 Set-up, A/S 2. CSOT - 다중 CMS Office and 현장사내망사용 - TCP/IP 사용, 동축 - 현지 Set-up, A/S

10. CMS & 해외실적정리 - 이전실적포함 3. INNOLUX - 다중 CMS Office and 현장사내망사용 - TCP/IP 사용, 동축 - 현지 Set-up, A/S 4. T8 P1 ~ P2 2F ~ 6F - 다중 CMS Office 1ea and 현장 2ea - TCP/IP 사용, 동축 - Set-up, A/S

10. CMS & 해외실적정리 - 이전실적포함 5. TIANMA Fab2 ~ Fab4 - 다중 CMS Office and 현장사내망사용 - TCP/IP 사용 - 현지 Set-up, A/S 6. LG C3 ~ C6 - 다중 CMS Office and 현장 - 시리얼통신

10. CMS & 해외실적정리 - 이전실적포함 7. TIANMA Fab2 ~ Fab4 - 다중 CMS Office and 현장사내망사용 - TCP/IP 사용 - 현지 Set-up, A/S 8. P3, SDI SMD, Hynix M4,M6, M9 etc - CMS Office and 현장 - TCP/IP

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