특허청구의범위청구항 1 a) 반응기내로 1개이상의기판을제공하는단계 ; b) 1종이상의유기금속화합물을상기반응기내로도입하는단계, 여기서 1종이상의유기금속화합물은비스 (2,6,6-트리메틸시클로헥사디에닐 ) 루테늄이고 ; c) 100 이상의온도로설정된상기반응기내에서상기 1종이
|
|
|
- 효림 비
- 6 years ago
- Views:
Transcription
1 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C07F 15/00 ( ) C23C 16/08 ( ) (21) 출원번호 (22) 출원일자 ( 국제 ) 2007 년 12 월 20 일 심사청구일자 2012 년 10 월 04 일 (85) 번역문제출일자 2009 년 06 월 19 일 (65) 공개번호 (43) 공개일자 2009 년 08 월 31 일 (86) 국제출원번호 PCT/IB2007/ (87) 국제공개번호 WO 2008/ 국제공개일자 (30) 우선권주장 2008 년 07 월 03 일 년 12 월 22 일유럽특허청 (EPO)(EP) (56) 선행기술조사문헌 KR A* * 는심사관에의하여인용된문헌 (45) 공고일자 2014년12월03일 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2014년11월26일 (73) 특허권자 레르리키드쏘시에떼아노님뿌르레뜌드에렉스뿔라따시옹데프로세데조르즈클로드 프랑스파리 ( 우편번호 75007) 께도르세 75 번지 (72) 발명자 가티노, 줄리앙 일본 이바라끼껭츠꾸바시하나바따께메루모 # 두사랫, 크리스티앙 미국 델라웨어주윌밍톤헌터코트 108 (74) 대리인 양영준, 김영 전체청구항수 : 총 5 항심사관 : 이연주 (54) 발명의명칭루테늄함유필름의증착방법 (57) 요약 본발명은하기화학식 I 의유기금속화합물을개시한다 : < 화학식 I> L - Ru - X 상기식에서, L 은, 치환또는비치환된, 시클릭탄소수가 6 이상인비 ( 非 ) 방향족시클릭불포화탄화수소리간드 (L) 이고 ; X 는, 치환또는비치환된, 상기 L 과동일하거나상이한, 시클릭탄소수가 6 이상인비방향족시클릭불포화탄화수소리간드, 또는치환또는비치환된탄소수 5 내지 10 의시클릭또는비시클릭공액알카디에닐탄화수소리간드이다. 본발명은또한, 루테늄기재필름코팅된금속전극을제조하기위한루테늄전구체로서의용도에관한것이다
2 특허청구의범위청구항 1 a) 반응기내로 1개이상의기판을제공하는단계 ; b) 1종이상의유기금속화합물을상기반응기내로도입하는단계, 여기서 1종이상의유기금속화합물은비스 (2,6,6-트리메틸시클로헥사디에닐 ) 루테늄이고 ; c) 100 이상의온도로설정된상기반응기내에서상기 1종이상의유기금속화합물을기판 ( 들 ) 상에분해또는흡착시키는단계 ; 및 d) 루테늄함유필름을상기 1개이상의기판상에증착시키는단계를포함하는, 루테늄함유필름을기판상에증착시키는방법. 청구항 2 제1항에있어서, 1종이상의환원성유체를상기 1종이상의유기금속화합물과함께또는별도로반응기내로제공하는단계 e) 를더포함하는방법. 청구항 3 제2항에있어서, 상기환원성유체가 H 2, NH 3, SiH 4, Si 2 H 6, Si 3 H 8, 수소함유유체또는이들의혼합물인방법. 청구항 4 제1항에있어서, 1종이상의산소함유유체를상기 1종이상의유기금속화합물과함께또는별도로반응기내로제공하는단계 f) 를더포함하는방법. 청구항 5 제4항에있어서, 상기산소함유유체가 O 2, O 3, H 2 O, H 2 O 2, 산소함유라디칼, 또는이들의혼합물인방법. 청구항 6 삭제청구항 7 삭제청구항 8 삭제청구항 9 삭제청구항 10 삭제청구항 11 삭제청구항 12 삭제청구항
3 삭제 청구항 14 삭제 명세서 [0001] 기술분야 본발명은루테늄을기재로하는유기금속화합물, 기판상에의그의증착방법및반도체산업등에서의그의 용도에관한것이다. [0002] 배경기술루테늄 (Ru) 은앞으로수년내에많은적용을위해산업용반도체제조공정에사용될것으로예상된다. 칩제조를위한새로운물질을사용하려는이러한움직임은, 산업에부과된연속스케일링경향에의해초래되는문제점을해결하는데필요하다. 차세대노드로서, Ru는 FeRAM 및 DRAM 적용을위한전극축전기를위한최상의후보물로서간주된다. Ru는, 요구되는성질, 예컨대높은융점, 낮은저항율 (resistivity), 높은내산화성및적절한일함수를가져, CMOS 트랜지스터를위한잠재적인게이트전극물질이될수있다. 사실상, Ru의저항율은이리듐 (Ir) 및백금 (Pt) 의저항율보다낮고, Ru는건식에칭하는데보다용이하게사용될수있다. 또한, 강유전성필름, 예컨대납-지르코네이트-티타네이트 (PZT), 스트론튬비스무트탄탈레이트 (SBT) 또는비스무트란탄티타네이트 (BLT) 로부터유래될수있는산소확산에의해형성될수있고전도성이높은산화루테늄 (RuO 2 ) 및스트론튬산화루테늄 (SRO, SrRuO 3 ) 은, 더욱절연성인것으로알려진다른금속산화물보다전기적특 성에미치는영향이적을것이다. [0003] [0004] 또한, Ru는구리용라이너 (liner) 물질로서유망한생산라인후단 (Back End Of Line, BEOL) 공정후보물이다. 단일 Ru 필름은 Ta, Ta(Si)N 및구리시드층을대체할것이다. Ru 공정은 2 단계의 Ta/Ta(Si)N 공정을단일단계로대체할것이다. 매우다양한 Ru CVD ( 화학기상증착 ) 전구체가이용가능하며, 많은것들이연구되어왔다. 그러나, 현용가능한전구체는증기압이낮다. 즉, Ru(EtCp) 2 의경우 73 에서 0.1 Torr이다. 이러한공지된전구체들로얻어 진 Ru 필름은상당한양의탄소및산소불순물을함유한다. 탄소불순물은전구체물질로부터유래하는것으로유추된다. 산소불순물은공반응물기체 (O 2 ) 로부터유래한다. 문헌 [T. Shibutami et al. (Tosoh R&D Review, 47, 2003)] 에는, Ru 필름은부착력이불충분하고균일하지않으며또한특질상인큐베이션시간 ( 인큐베이션시간은증착이효과적으로시작되는데요구되는시간으로서, 즉, 기체가반응로 (furnace) 로흐르는순간과필름이성장하는순간사이의시간차이로정의됨 ) 이긴것으로공지되어있다. [0005] [0006] 미국특허제6,897,160호에는, Ru 전구체, 예컨대트리카르보닐 (1,3-시클로헥사디엔) Ru 전구체를사용하고조악한산화루테늄층을증착시키는것이공지되어있으며, 여기서상기특정전구체 ( 상기특허의실시예 4 참조 ) 는실온 ( 약 25 ) 의기포발생저장기에보유되고그를통해헬륨이버블링된다. 그러나, 또한, 미국특허제6,517,616호및제5,962,716호에는, Ru(CO) 3 (1,3-시클로헥사디엔) 생성물은실온에 서액체가아니며, 이를, 헬륨과같은불활성기체가그를통해버블링되는용매및전구체의액체용액을얻기 위해용해시켜야한다고공지되어있다. [0007] 또한, Ru(CO) 3 (1,3- 시클로헥사디엔 ) 은문헌 [Y.W. Song et al. (ECS transactions, 2(4), 1-11, 2006)] 에개시 되어있으며, 주위온도에서고체인그의본성 ( 융점이 35 임 ) 이개시되어있다. [0008] [0009] 모든공지된 CO 함유 Ru 전구체는본질적으로동일한단점 ( 높은융점 ) 을갖는다. 따라서, 전구체의증기가통상적인액체운반방법, 예컨대버블링또는증발방법에의해반응로로보다용이하게흐르도록액체생성물을얻기위해선용매가필요하다. 그러나, 용매의사용은통상적으로, 반응기내로의용매분자의침입및증착된필름중의원하지않는불순물의혼입으로인해증착공정에악영향을미칠것으로보인다. 게다가, 사용되는용매는통상적으로독성이고 / 이거나가연성이어서, 이들의사용에는많은제약 ( 안정성측면, 환경적문제점 ) 이따른다. 이외에, 융점이 - 3 -
4 20 보다높은전구체 ( 및심지어는융점이 0 를초과는것들 ) 를사용하는것에는수송중에그리고증착공 정중에추가의제약 ( 원하지않는위치에서의전구체의응축을피하기위한운반라인의가열 ) 이수반된다. [0010] 공지된 CO 함유전구체의반응성은오늘날, 원자층증착 (ALD) 행태를따르지못하고있다. 루테늄필름은단 지 CVD 에의해증착되고, 일부문헌에는심지어 Ru(CO) 3 (1,3- 시클로헥사디엔 ) 전구체로는 ALD 방식이가능하지 않다고기재되어있다. ALD는, 다른공반응물로포화된표면상에의또다른반응물의화학흡착및그반대의화학흡착으로인해균일하고콘포말 (conformal) 한박막을증착시킬수있어오늘날널리사용되는증착기술이다. 이는, 반응로내로의반응물들의순차적도입을내포하며, 여기서각각의반응물도입단계는불활성기체혼합물에의한반응로의퍼징에의해분리된다. ALD 방식에서루테늄증착은일례의퍼징기간과일치할수있으며, 루테늄전구체증기의도입이뒤따른다. 전구체증기는기판상에균일하게흡착될것이고, 대략하나의원자의층이형성된다. 이러한층이형성되는즉시, 루테늄원자는기판의새로운표면과반응할수없다. 이를 ALD의자가제한적성질이라한다. 이어서, 미반응전구체분자및생성된모든부산물을제거하기위해불활성기체를반응로로흐르게한다. 이전에증착된층과반응시키기위해공반응물이도입되고, 생성된물질은루테늄필름이다. 이러한 4 단계공정을주기라하고, 이러한주기는목적하는루테늄두께가얻어질때까지필요한만큼반복될수있으며, 이상적인 ALD 행태에서 1 주기로루테늄한원자의층을증착시킬수있다고공지되어있다. [0011] [0012] [0013] [0014] 발명의상세한설명따라서, 본발명의목적은, 열안정성이개선되고보다용이하게취급및사용될수있으며 CVD, ALD 또는임의의기타증착기술에의해필름을증착시킬수있고짧은인큐베이션으로필름을증착시킬수있으며부층 (sublayer) 과의계면에서원하지않는성질을초래하는산화물층의형성을제한하는신규한유기루테늄화합물을개발하는것이다. 루테늄필름의낮은증착온도본발명의다른목적은, 실온에서액체이고, 용매의첨가없이순수액체로서제공할수있으며, 전구체와함께사용되는공반응물에따라순수루테늄필름또는루테늄함유필름을증착시킬수있고, 생성필름을탐지가능한인큐베이션시간없이증착시키고, 순수루테늄증착뿐만아니라기타루테늄함유필름 ( 예를들어, SrRuO 3, RuO 2 ) 의증착에대해서도 ALD 방식이가능한유기루테늄화합물을제공하는것이다. 이에, 제1 실시양태에따라, 본발명은하기화학식 I의유기금속화합물에관한것이다 : [0015] [0016] [0017] [0018] [0019] 화학식 I L - Ru - X 상기식에서, L은, 플루오로, 히드록시또는아미노중에서선택된 1개이상의라디칼로치환또는비치환된탄소수 1 내지 6 의선형또는분지형알킬기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬아미드기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알콕시기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬아미디네이트중에서선택되는 1개이상의치환기로치환또는비치환된, 시클릭탄소수가 6 이상인비 ( 非 ) 방향족시클릭불포화탄화수소리간드 (L) 이고, X는, 플루오로, 히드록시또는아미노중에서선택된 1개이상의라디칼로치환또는비치환된탄소수 1 내지 6 의선형또는분지형알킬기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬아미드기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알콕시기, 및탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬아미디네이트중에서선택되는 1개이상의치환기로치환또는비치환된, L과동일하거나상이한, 시클릭탄소수가 6 이상인비방향족시클릭불포화탄화수소리간드 ; 또는플루오로, 히드록시또는아미노중에서선택된 1개이상의라디칼로치환또는비치환된탄수소 1 내지 6의선형또는분지형알킬기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬아미드기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알콕시기, 및탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬아미디네이트중에서선택되는 1개이상의라디칼로치환또는비치환된탄소수 5 내지 10의시클릭또는비시클릭공액알카디에닐탄화수소리간드이다. 상기정의된바와같은유기금속화합물에서, 1개이상의유기리간드는, 시클릭탄소수가 6 이상인탄소고리로이루어진반면, 상응하는 전자 ( 이하에서, " 전자구름 " 이라함 ) 는부분적으로개방된고리를형성한다
5 이러한리간드의일례를하기화학식으로나타낸다 : [0020] [0021] 제1의특정실시양태에따라, 본발명은, L이, 플루오로, 히드록시또는아미노중에서선택된 1개이상의라디칼로치환또는비치환된탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬아미드기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알콕시기, 및탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬아미디네이트중에서선택되는 1개이상의치환기로치환또는비치환된시클로헥사디에닐 ( 이하, chxd, C 6 H 7 ) 및시클로헵타디에닐 ( 이하, chpd, C 7 H 9 ) 리간드 ; 또는플루오로, 히드록시또는아미노중에서선택된 1개이상의라디칼로치환또는비치환된탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬아미드기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알콕시기, 및탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬아미디네이트중에서선택되는 1개이상의치환기로치환또는비치환된탄소수 5 내지 10의시클릭또는비시클릭공액알카디에닐탄화수소리간드중에서선택되는, 상기정의된화학식 I의유기금속화합물에관한것이다, [0022] 제2의특정실시양태에따라, 본발명은, X가, 플루오로, 히드록시또는아미노중에서선택된 1개이상의라디칼로치환또는비치환된탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬아미드기, 탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알콕시기, 및탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬아미디네이트중에서선택되는 1개이상의치환기로치환또는비치환된시클로헥사디에닐 ( 이하, chxd, C 6 H 7 ), 시클로헵타디에닐 ( 이하, chpd, C 7 H 9 ), 시클로펜타디에닐, 펜타디에닐, 헥사디에닐및헵타디에닐리간드중에서 선택되는, 상기정의된바와같은화학식 I 의유기금속화합물에관한것이다. X 가비시클릭리간드인경우는, 예를들어 (1-3η:6-8η)-2,7- 디메틸옥타디에닐리간드가있다. [0023] [0024] [0025] 제3의특정실시양태에따라, 본발명은, 리간드 L 및 X의치환기가산소가없는, 상기정의된바와같은화학식 I의유기금속화합물, 보다특히 X 및 L이, 플루오로또는아미노중에서선택된 1개이상의라디칼로치환또는비치환된탄소수 1 내지 6의선형또는분지형알킬기중에서선택되는 1개이상의치환기로치환또는비치환된, 상기정의된바와같은화학식 I의유기금속화합물에관한것이다. 제4의특정실시양태에따라, 본발명은, X 및 L이메틸, 에틸, 프로필및부틸중에서선택된 1개이상의치환기로치환또는비치환된상기정의된바와같은화학식 I의유기금속화합물, 예컨대 L이 1-메틸-시클로헥사디에닐, 2-메틸-시클로헥사디에닐, 3-메틸-시클로헥사디에닐, 6-메틸-시클로헥사디에닐, 1-에틸-시클로헥사디에닐, 2-에틸-시클로헥사디에닐, 3-에틸-시클로헥사디에닐, 6-에틸-시클로헥사디에닐, 1,6- 디메틸-시클로헥사디에닐, 2,6-디메틸-시클로헥사디에닐, 3,6-디메틸-시클로헥사디에닐, 1,6-디에틸-시클로헥사디에닐, 2,6-디에틸-시클로헥사디에닐, 3,6-디에틸-시클로헥사디에닐, 1,6,6-트리메틸-시클로헥사디에닐, 2,6,6-트리메틸-시클로헥사디에닐, 3,6,6-트리메틸-시클로헥사디에닐, 1,6,6-트리에틸-시클로헥사디에닐, 2,6,6-트리에틸-시클로헥사디에닐, 3,6,6-트리에틸-시클로헥사디에닐, 1-메틸-시클로헵타디에닐, 2-메틸-시클로헵타디에닐, 3-메틸-시클로헵타디에닐, 7-메틸-시클로헵타디에닐, 1-에틸-시클로헵타디에닐, 2-에틸-시클로헵타디에닐, 3-에틸-시클로헵타디에닐, 7-에틸-시클로헵타디에닐, 1,6-디메틸-시클로헵타디에닐, 2,6-디메틸-시클로헵타디에닐, 3,6-디메틸-시클로헵타디에닐, 4,6-디메틸-시클로헵타디에닐, 5,6-디메틸-시클로헵타디에닐, 6,6- 디메틸-시클로헵타디에닐, 1,7-디메틸-시클로헵타디에닐, 2,7-디메틸-시클로헵타디에닐, 3,7-디메틸-시클로헵타디에닐, 1,5-디메틸-시클로헵타디에닐, 7,7-디메틸-시클로헵타디에닐, 1,6-디에틸-시클로헵타디에닐, 2,6-디에틸-시클로헵타디에닐, 3,6-디에틸-시클로헵타디에닐, 4,6-디에틸-시클로헵타디에닐, 5,6-디에틸-시클로헵타디에닐, 6,6-디에틸-시클로헵타디에닐, 1,7-디에틸-시클로헵타디에닐, 2,7-디에틸-시클로헵타디에닐, 3,7-디에틸-시클로헵타디에닐, 1,5-디에틸-시클로헵타디에닐및 7,7-디에틸-시클로헵타디에닐중에서선택되는, 상기정의된바와같은화학식 I의유기금속화합물에관한것이다. 제5의특정실시양태에따라, 본발명은, X 및 L이동일한, 상기정의된바와같은화학식 I의유기금속화합물, 보다더특히아래의유기금속화합물에관한것이다 : - 5 -
6 [0026] 하기화학식의비스 (2,6,6- 트리메틸시클로헥사디에닐 ) 루테늄 (Ru(2,6,6-Me 3 -chxd) 2 : 및 [0027] [0028] 하기화학식의비스 ( 메틸 - 시클로헵타디에닐 ) 루테늄 Ru(Me-chpd) 2 : [0029] [0030] [0031] 상기정의된바와같은화학식 I 의유기금속의다른예는다음과같다 : Ru(1- 메틸 - 시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(2- 메틸 - 시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(3- 메틸 - 시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(6- 메틸 - 시클 로헥사디에닐 ) 2, Ru(1-에틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(2-에틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(3-에틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(6-에틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(1,6-디메틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(2,6-디메틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(3,6- 디메틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(1,6-디에틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(2,6-디에틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(3,6-디에틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(1,6,6-트리메틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(2,6,6-트리메틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(3,6,6-트리메틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(1,6,6-트리에틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(2,6,6-트리에틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(3,6,6-트리에틸-시클로헥사디에닐 ) 2, Ru(1-메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(2-메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(3-메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(7-메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(1-에틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(2-에틸 -시클로헵타디에닐) 2, Ru(3-에틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(7-에틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(1,6-디메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(2,6-디메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(3,6-디메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(4,6-디메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(5,6-디메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(6,6-디메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(1,7-디메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(2,7-디메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(3,7-디메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(1,5-디메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(7,7-디메틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(1,6-디에틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(2,6-디에틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(3,6-디에틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(4,6-디에틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(5,6-디에틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(6,6-디에틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(1,7-디에틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(2,7-디에틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(3,7-디에틸-시클로헵타디에닐 ) 2, Ru(1,5-디에틸-시클로헵타디에닐 ) 2 및 Ru(7,7-디에틸-시클로헵타디에닐 ) 2. [0032] 이들화합물, 보다일반적으로, 상기정의된바와같은화학식 I 의유기금속화합물에서, 시클릭탄소분자및 이들의각각의개방된전자구름의구성과함께리간드의분포는입체장애및전자의상호작용감소를최적화 시켜이들의융점을낮추는것을조력하는것으로여겨진다고강조될수있다. 제 2 실시양태에따라, 본발명 - 6 -
7 은, 아연존재하에서 Ru +++ 염과적절한유기리간드를반응시키는것을포함하는, 상기정의된바와같은화합 물의제조방법에관한것이다. [0033] 제 3 실시양태에따라, 본발명은, 적절한리간드및아세토니트릴을함유하는에탄올의용액과 LiCO 3 중의디 - μ- 클로로디클로로비스 [(1-3η:6-8η)-2,7- 디메틸 - 옥타디에닐 ] 디루테늄을반응시키는것을포함하는, 상기정 의된바와같은화합물의제조방법에관한것이다. [0034] [0035] [0036] [0037] [0038] [0039] [0040] [0041] [0042] [0043] 제4 실시양태에따라, 본발명은, a) 반응기내로 1개이상의기판을제공하는단계 ; b) 상기정의된바와같은화학식 I의유기금속화합물 1종이상을상기반응기내로도입하는단계 ; c) 100 또는그보다높은온도로설정된상기반응기내에서상기 1종이상의유기금속화합물을기판 ( 들 ) 상에분해또는흡착시키는단계 ; 및 d) 루테늄함유필름을상기 1개이상의기판상에증착시키는단계를포함하는, 루테늄함유필름을기판상에증착시키는방법에관한것이다. 상기정의된바와같은방법에서, 다양한반응물들은반응기내로예컨대 CVD에서와같이동시에또는예컨대 ALD에서와같이순차적으로또는이들의상이한조합으로도입할수있다. 따라서, 여기서상기단계 b) 에서정의된루테늄함유전구체는통상적으로액체일것이다. 즉, 융점이 20 미만, 보다바람직하게는융점이 0 미만일것이다. 상기정의된바와같은방법에서, 기판은일반적으로금속전극, 예컨대 MIM, DRAM, 게이트유전체또는축전기를제조하는데사용되는통상적인산화물, 예컨대산화규소및산화게르마늄등중에서선택된다. 상기정의된바와같은방법에서, 온도조건은 100 내지 500, 보다바람직하게는 150 내지 350 에서 선택되고, 반응기내의압력은바람직하게는 1 Pa 내지 10 5 Pa, 보다바람직하게는 25 Pa 내지 10 3 Pa 로유지될 것이다. [0044] [0045] [0046] [0047] 제1의특정실시양태에따라상기정의된바와같은방법은, e) 1종이상의환원성유체를반응기내로제공하는단계를더포함한다. 상기정의된바와같은방법의단계 e) 에서사용되는환원성유체의예로는보다특히 H 2, NH 3, SiH 4, Si 2 H 6, Si 3 H 8, 수소함유유체또는이들의혼합물이있다. [0048] [0049] [0050] [0051] 제2의특정실시양태에따라상기정의된바와같은방법은, f) 1종이상의산소함유유체를반응기내로제공하는단계를더포함한다. 상기정의된바와같은방법의단계 f) 에서사용되는산소함유유체의예로는보다특히 O 2, O 3, H 2 O, H 2 O 2, 산 소함유라디칼, 예컨대또는또는이들의혼합물이있다. [0052] [0053] [0054] 단계 e) 및 / 또는단계 f) 를더포함하는, 상기정의된바와같은방법에서, 수소-함유및 / 또는산소-함유유체는반응기로연속적으로도입될수있고, 유기금속화합물또는유기금속화합물들의혼합물은예컨대펄스화학기상증착 (PCVD) 기술에따라펄스에의해기판상에적용될수있다. 반응물및실험조건에따라, 상기정의된바와같은방법으로루테늄금속필름, 또는산화루테늄또는루테늄 -함유필름을형성할수있다. 몇몇다양한실시예의예시로서, 도 1은 Ru가사용되는상보형금속산화물반도체 CMOS 구조의개략도이고, 도 2는구리와이어들사이의배리어층과단리층 ( 저-k라하고, 통상적으로다공성규소옥시탄화물로제조됨 ) 과의적층구조의개략도이다
8 [0055] 마지막실시양태에따라, 본발명은, 루테늄기재필름코팅된금속전극을제조하기위한루테늄전구체로서의 상기정의된바와같은유기금속화합물또는이들의혼합물의용도에관한것이다. 이러한장치는전자산업 에서주로사용된다. [0056] [0057] [0058] 실시예화학식 I에따른화합물의제조실시예실시예 1: 비스 (2,6,6-트리메틸-시클로헥사디에닐 ) 루테늄에탄올중의무수트리클로라이드루테늄 (RuCl 3 nh 2 O) 을아연 (Zn) 더스트및 2,6,6-트리메틸-시클로헥사디엔 과혼합하였다. [0059] [0060] [0061] 상기혼합물을환류가열한다음여과하였다. 생성된용액을진공하에증발건조시키고, n-펜탄으로추출하고, 알루미나를통해여과시켰다. 이어서, 생성된용액을 -78 로냉각시켜최종생성물을얻었다. 실시예 2: 비스 (1-메틸-시클로헵타디에닐) 루테늄에탄올중의무수트리클로라이드루테늄 (RuCl 3 nh 2 O) 을아연 (Zn) 더스트및 2-메틸-1,3-시클로펜타디엔과혼 합하였다. [0062] [0063] [0064] 상기혼합물을환류가열한다음여과하였다. 생성된용액을진공하에증발건조시키고, n-펜탄으로추출하고, 알루미나를통해여과시켰다. 이어서, 생성된용액을 -78 로냉각시켜최종생성물을얻었다. 실시예 3: (2,6,6-트리메틸-시클로헥사디에닐 )(1-3η:6-8η)-2,7-디메틸옥타디에닐) 루테늄탄산리튬 (LiCO 3 ) 중의디-μ-클로로디클로로비스 [(1-3η:6-8η)-2,7-디메틸옥타디에닐] 디루테늄의슬러리를, 2,6,6- 트리메틸 - 시클로헥사디엔및아세토니트릴 (CH 3 CN) 을함유하는에탄올의용액과혼합하였다. 상기혼합 물을환류시키고, 용매를진공하에증발시키고, 잔류물을교반하였다. 생성된용액을알루미나상에서크로마 토그래피하였다. 헥산을사용한마지막용리단계로생성물을상당히양호한수율로얻었다. [0065] [0066] 실시예 4: (1- 메틸 - 시클로헵타디에닐 )(1-3η:6-8η)-2,7- 디메틸옥타디에닐 ) 루테늄 탄산리튬 (LiCO 3 ) 중의디 -μ- 클로로디클로로비스 [(1-3η:6-8η)-2,7- 디메틸옥타디에닐 ] 디루테늄의슬러리를, 2- 메틸 -1,3- 시클로펜타디엔및아세토니트릴 (CH 3 CN) 을함유하는에탄올의용액과혼합하였다. 상기혼합물을 환류시키고, 용매를진공하에증발시키고, 잔류물을교반하였다. 생성된용액을알루미나상에서크로마토그 래피하였다. 헥산을사용한마지막용리단계로생성물을상당히양호한수율로얻었다. [0067] [0068] [0069] [0070] [0071] [0072] [0073] 여러가지작업조건하에서비스 (2,6,6-트리메틸-시클로헥사디에닐 ) 루테늄을사용하여루테늄필름을증착시키는실시예 Ru(2,6,6-트리메틸-시클로헥사디에닐 ) 2 는 20 에서액체인밝은황색전구체이다. 순수루테늄필름의증착 : 비스 (2,6,6-트리메틸-시클로헥사디에닐 ) 루테늄을사용하여 250 초과의온도에서순수루테늄필름을증착시켰다. 액체전구체는, 80 까지가열된기포발생기에보관하고, 그의증기를버블링방법에의해고온벽 (hot-wall) 반응기로운반하였다. 이경우, 불활성기체인헬륨을캐리어기체로서그리고희석목적을위해사용하였다. 공반응물로서수소를사용하거나사용하지않고시험을행하였다. 본설정조건으로 250 및 0.5 Torr에서필름을증착시켰고, 증착속도는 350 에서평평한영역 (plateau) 에도달하였다. 증착은산화규소상에서수행하였다. 루테늄필름내의다양한원소의농도는아우거 (Auger) 분광계로분석하였다. 순수한루테늄필름을열이산화규소층상에증착시켰다. 루테늄필름내의산소의농도는 AES 검출한계미만이었다. 원자층증착 : 상기전구체비스 (2,6,6-트리메틸-시클로헥사디에닐 ) 루테늄은, 적절한공반응물을사용하는저온 ( ) 에서의루테늄필름의원자층증착 (ALD) 에적합하다. ALD 기술에서금속루테늄증착은, 공반응물이분자및 - 8 -
9 원자수소일때뿐만아니라암모니아및관련라디칼 NH 2, NH, 및산화제를사용해도가능함을발견하였다. [0074] [0075] 산화루테늄필름의증착 : 비스 (2,6,6-트리메틸시클로헥사디에닐 ) 루테늄과산소함유유체를증착로에서반응시킴으로써산화루테늄필름을증착시켰다. 이러한경우구체적으로, 산소함유유체는산소였다. ALD 기술에서산화루테늄증착은공반응물이분자및원자산소일때뿐만아니라수분증기또는임의의기타산소함유혼합물일때에도가능함을발견하였다. [0076] 도면 도면 1 도면 2-9 -
- 1 -
- 1 - - 2 - - 3 - - 4 - 장비구성 : - 5 - - 6 - 치 - 7 - μ - 8 - - 9 - 고체흡착관의안정화방법및기기 (Tube conditioner) - 10 - - 11 - - 12 - - 13 - - 14 - - 15 - - 16 - - 17 - 전기냉각저온농축장치 (TD) GC/FPD - 18 - GC/FID Headspace
(72) 발명자 정종수 서울특별시 서대문구 모래내로 319, 101동 405호 (홍은동, 진흥아파트) 김정환 서울특별시 구로구 구로동로21길 7 (구로동) - 2 -
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) B01J 23/34 (2006.01) B01J 37/02 (2006.01) B01J 37/08 (2006.01) B01D 53/86 (2006.01) (21) 출원번호 10-2010-0098306 (22) 출원일자 2010년10월08일 심사청구일자 2010년10월08일
1 (x + z) 4; 0 y 7, 바람직하게는 y = 2, 0 t 5, 바람직하게는 t = 1; (R 1 yop) 는비치환되거나, 치환된펜타디에닐리간드를나타내고 ; (R 2 tcp) 는비치환되거나, 치환된시클로펜타디에닐 (Cp) 리간드를나타낸다. 또한, 본발명은 x
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C23C 16/18 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/34 (2006.01) C07F 7/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2013-7004324( 분할 ) (22) 출원일자 ( 국제 ) 2007 년 03 월
특허청구의 범위 청구항 1 화학식 I의 화합물, 또는 그의 거울상이성질체, 부분입체이성질체, 용매화물, 염 또는 전구약물. <화학식 I> W-L-Z 식 중, W는 아릴, 시클로알킬, 헤테로아릴 또는 헤테로시클릴이며, 이들 모두는 R 1, R 1a, R 1b, R 1c
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) (11) 공개번호 10-2008-0018942 (43) 공개일자 2008년02월28일 (51) Int. Cl. C07D 471/04 (2006.01) A61K 31/437 (2006.01) A61P 3/10 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-7000470 (22) 출원일자 2008년01월08일
(72) 발명자 이영애 경기도수원시영통구원천동 35 원천주공아파트 102 동 1304 호 쳉퀼링 헹디안인더스트리얼존, 동양시티, 제지앙프로빈스,322118, 중국 우유리앙 헹디안인더스트리얼존, 동양시티, 제지앙프로빈스,322118, 중국 리징 헹디안인더스트리얼존, 동양
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) C07C 229/64 (2006.01) C07C 229/38 (2006.01) (21) 출원번호 10-2007-0114660 (22) 출원일자 2007 년 11 월 12 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 과학기술부, 2002 ( 뒷면에계속 ) 2008 년 02 월
특허청구의 범위 청구항 1 복수개의 프리캐스트 콘크리트 부재(1)를 서로 결합하여 연속화시키는 구조로서, 삽입공이 형성되어 있고 상기 삽입공 내면에는 나사부가 형성되어 있는 너트형 고정부재(10)가, 상기 프리캐스 트 콘크리트 부재(1) 내에 내장되도록 배치되는 내부
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) E01D 19/12 (2006.01) E01D 2/00 (2006.01) E01D 21/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0036938 (22) 출원일자 2011년04월20일 심사청구일자 2011년04월20일 (65) 공개번호 10-2012-0119156
μ β β β 표 1. 노출지표, 노출기준값및분석방법에관한문헌 자료검토 번호 1 2 3 4 5 6 7 대상물질 디메틸포름아미드 C A S 6 8-1 2-2 디메틸아세트아미드 C A S 1 2 7-1 9-5 퍼클로로에틸렌 C A S 1 2 7-1 8-4 1,1,1 - 트리클로로에탄 C A S 7 1-5 5-6 트리클로로에틸렌 C A S 7 9-0 1-6
(52) CPC 특허분류 B01D 53/62 ( ) Y02C 10/10 ( ) (72) 발명자 이정현 대전광역시서구대덕대로 246 넥서스밸리 B 동 1417 호 박영철 대전광역시유성구반석동로 33 반석마을 5 단지아파트 505 동 201 호 이발명
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B01D 53/22 (2006.01) B01D 53/62 (2006.01) (52) CPC 특허분류 B01D 53/225 (2013.01) B01D 53/228 (2013.01) (21) 출원번호 10-2015-0076621 (22) 출원일자 2015 년
많이 이용하는 라면,햄버그,과자,탄산음료등은 무서운 병을 유발하고 비만의 원인 식품 이다. 8,등겨에 흘려 보낸 영양을 되 찾을 수 있다. 도정과정에서 등겨에 흘려 보낸 영양 많은 쌀눈과 쌀껍질의 영양을 등겨를 물에 우러나게하여 장시간 물에 담가 두어 영양을 되 찾는다
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개실용신안공보(U) A23L 1/307 (2006.01) C02F 1/68 (2006.01) (21) 출원번호 20-2011-0002850 (22) 출원일자 2011년04월05일 심사청구일자 2011년04월05일 (11) 공개번호 20-2011-0004312 (43) 공개일자 2011년05월03일
130 화재안전점검매뉴얼 유별성질품명지정수량 1. 산화성고체 : 고체로서산화력의잠재적인위험성또는충격에대해민감성이있는것 * 고체 : 액체 (1 기압및 20 에서액상또는 20 초과 40 이하에서액상 ) 또는기체 (1 기압및 20 에서기상 ) 외의것 2. 가연성고체 : 고체
유별성질품명지정수량 130 화재안전점검매뉴얼 유별성질품명지정수량 1. 산화성고체 : 고체로서산화력의잠재적인위험성또는충격에대해민감성이있는것 * 고체 : 액체 (1 기압및 20 에서액상또는 20 초과 40 이하에서액상 ) 또는기체 (1 기압및 20 에서기상 ) 외의것 2. 가연성고체 : 고체로서화염에의한발화의위험성또는인화의위험성이있는것 3. 유황 : 순도가 60wt.%
특허청구의범위청구항 1 물을여과하는필터부 ; 상기필터부에물을유동시키는정수관 ; 상기정수관에설치되고, 상기정수관의수류를이용하여전기를발생시키는발전모듈 ; 및상기정수관에배치되고, 상기발전모듈에서발생된전기가공급되고, 상기정수관을따라유동되는정수를전기분해하여살균하는살균모듈 ; 을
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) B01D 35/00 (2006.01) C02F 1/461 (2006.01) C02F 1/467 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0019000 (22) 출원일자 2009 년 03 월 05 일 심사청구일자 없음 전체청구항수 : 총 4 항 (54) 정수기 (11)
본 발명은 중공코어 프리캐스트 슬래브 및 그 시공방법에 관한 것으로, 자세하게는 중공코어로 형성된 프리캐스트 슬래브 에 온돌을 일체로 구성한 슬래브 구조 및 그 시공방법에 관한 것이다. 이를 위한 온돌 일체형 중공코어 프리캐스트 슬래브는, 공장에서 제작되는 중공코어 프
(51) Int. Cl. E04B 5/32 (2006.01) (19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2007년03월12일 10-0693122 2007년03월05일 (21) 출원번호 10-2006-0048965 (65) 공개번호 (22) 출원일자 2006년05월30일 (43) 공개일자 심사청구일자
<4D F736F F F696E74202D2035BBF3C6F2C7FC5FBCF8BCF6B9B0C1FA2E BC8A3C8AF20B8F0B5E55D>
5. 상평형 : 순수물질 이광남 5. 상평형 : 순수물질 상전이 phase transition 서론 ~ 조성의변화없는상변화 5. 상평형 : 순수물질 전이열역학 5. 안정성조건 G ng ng n G G 자발적변화 G < 0 G > G or 물질은가장낮은몰Gibbs 에너지를갖는상 가장안정한상 으로변화하려는경향 5. 상평형 : 순수물질 3 5. 압력에따른Gibbs
특허청구의범위청구항 1 복수의영상검출부로부터출력되는영상의히스토그램 (histogram) 을계산하는단계 ; 상기복수의영상검출부로부터출력되는영상을히스토그램평활화 (histogram equalization) 하는단계 ; 상기복수의영상검출부중하나의영상검출부를선택하는단계 ; 및
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2014년12월18일 (11) 등록번호 10-1473415 (24) 등록일자 2014년12월10일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) G06T 5/40 (2006.01) H04N 5/217 (2011.01) (21) 출원번호 10-2012-0156871 (22) 출원일자 2012
(72) 발명자 김재환 인천광역시남동구남동동로 84 한국산업단지 303 호 이도원 인천시남동구남동동로 84 한국산업단지 303 호 ( 주 ) 스피덴트기술연구소 김민성 인천광역시남동구남동동로 84 한국산업단지 303 호 - 2 -
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) A61K 6/04 (2006.01) A61K 6/02 (2006.01) A61K 6/08 (2006.01) (21) 출원번호 10-2014-0167565 (22) 출원일자 2014 년 11 월 27 일 심사청구일자 2014 년 11 월 27 일 (65) 공개번호
Journal of Life Science 2011, Vol. 21. No μ μ
Journal of Life Science 2011 Vol. 21. No. 8. 1120~1126 ISSN : 1225-9918 DOI : http://dx.doi.org/10.5352/jls.2011.21.8.1120 μ μ μ α β Journal of Life Science 2011, Vol. 21. No. 8 1121 μ μ 1122 생명과학회지 2011,
- 2 -
작품번호 37 Solar material 로쓰일수있는검정색물질의재발견! 출품분야학생부출품부문화학 2009. 5. 13 시 군 학교 ( 소속 ) 학년 ( 직위 ) 성 명 성남시풍생중학교 2 김호기, 이희원 지도교사풍생중학교교사김경원 - 1 - - 2 - - 3 - - 4 - - 5 - - 6 - - 7 - 석탄은주로탄소로구성되어있고, 수소와산소가들어있다. 이밖에질소
(72) 발명자 이민희 경기도군포시대야미동센트럴아이파크 102 동 1404 호 신창학 서울특별시서초구서초 2 동 로얄주택 B20 1 호 박구일 경기도용인시수지구신봉동삼성쉐르빌
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B32B 27/12 (2006.01) B32B 17/10 (2006.01) C08L 67/04 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0036605 (22) 출원일자 2012 년 04 월 09 일 심사청구일자 전체청구항수 : 총 11 항 2013
슬라이드 1
1. 서론 수리학의정의 수리학 (hydraulics) 또는수리공학 (hydraulic engineering) 은유체 (liquid) 특히물의역학을다루는분야로물의기본성질및물과물체간에작용하는힘뿐만아니라물과관련된구조물이나시스템의계획및설계를연구하는응용과학의한분야이다. 1 장강의내용 - 유체의정의 - 물의상태변화 - 차원및단위 - 점성 - 밀도, 단위중량및비중 - 표면장력및모세관현상
등록특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2014년02월04일 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2014년01월24일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C08L 79/08
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2014년02월04일 (11) 등록번호 10-1357648 (24) 등록일자 2014년01월24일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C08L 79/08 (2006.01) C08K 3/34 (2006.01) C08L 101/12 (2006.01) C08L 33/12 (2006.01)
공개특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 (43) 공개일자 2013년09월25일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65D 25/14 ( ) C23
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 10-2013-0104189 (43) 공개일자 2013년09월25일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65D 25/14 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01) C08J 7/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0025472 (22) 출원일자
물 1 리터당 5 내지 200g/l 의농도를갖는크롬화물및물 1 리터당 30 내지 200 ml /l 의농도를갖는불화물을포함하는, 금속소재에도금된주석또는주석합금의박리조성물. 청구항 2. 제 1 항에있어서, 상기금속소재는구리또는구리합금소재인것을특징으로하는주석또는주석합금의박리
(51) Int. Cl. C23F 1/26 (2006.01) C23F 1/16 (2006.01) (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2007 년 04 월 24 일 10-0710481 2007 년 04 월 16 일 (21) 출원번호 10-2004-0068850 (65) 공개번호 10-2006-0020100
(72) 발명자 정규현 인천광역시남구경인남길인하대학교 5 북 512 호 신문용 서울특별시관악구관악로 1 서울대학교 302 동 70 8 호 김승희 대전광역시유성구반석동로 30 반석마을 7 단지 709 동 203 호 하태환 서울특별시관악구관악로 1 서울대학교 302 동 7
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C07D 487/18 (2006.01) C06B 25/04 (2006.01) C06B 43/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0085155 (22) 출원일자 2012 년 08 월 03 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 논문 2010.
(52) CPC 특허분류 C07C 235/32 ( ) - 2 -
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C07C 231/12 (2006.01) A61K 49/04 (2006.01) C07C 235/32 (2006.01) (52) CPC 특허분류 C07C 231/12 (2013.01) A61K 49/04 (2013.01) (21) 출원번호 10-2015-7011933
(72) 발명자서상호전북군산시나운동주공5차아파트 506동 106호송준혜대전유성구관평동한화꿈에그린 우완종대전유성구신성동 208-8번지들빛촌 203호이성우대전유성구신성동대림두레아파트 110동 905호 - 2 -
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C07C 209/60 (2006.01) C07C 209/86 (2006.01) C07C 211/21 (2006.01) (21) 출원번호 10-2013-0056009 (22) 출원일자 2013 년 05 월 16 일 심사청구일자 (30) 우선권주장 2013 년
위해충전효율및온도변화를측정하는신호측정센서층을포함하여구성되는것을그구성상의특징으로한다. 본발명은인체삽입형의료기기의성능평가용인체유사팬텀의제조방법에관한것으로서, 보다구체적으로는인체유사팬텀의제조방법으로서, (1) 정제수, 액체상태의아가로오스 (agarose) 및소듐클로라이드 (
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) A61B 6/00 (2006.01) (52) CPC 특허분류 A61B 6/583 (2013.01) (21) 출원번호 10-2015-0025541 (22) 출원일자 2015 년 02 월 24 일 심사청구일자 2015 년 02 월 24 일 (65) 공개번호 10-2016-0103273
공개특허 (72) 발명자 최영미 경기도용인시기흥구신구로 22 번길 9, 30 호 ( 구갈동 ) 이민섭 인천광역시연수구컨벤시아대로 30 번길 80, 03 동 903 호 ( 송도동, 송도푸르지오하버뷰 ) 최준헌 경기도용인시기흥구강남동로 28, 90
공개특허 0-204-0038324 (9) 대한민국특허청 (KR) (2) 공개특허공보 (A) () 공개번호 0-204-0038324 (43) 공개일자 204년03월28일 (5) 국제특허분류 (Int. Cl.) C07D 207/2 (2006.0) A6K 3/405 (2006.0) A6P 35/00 (2006.0) (2) 출원번호 0-203-037 (22) 출원일자
(72) 발명자 강경태 서울서초구반포본동반포주공아파트 110 동 105 호 이상호 서울관악구봉천 9 동 윤규영 인천남구용현동 신권용 서울구로구천왕동천왕이펜하우스 6 단지 601 동 1203 호 이발명을지원한국가연구개발사업 과제고유번호 ES-1
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2013년11월20일 (11) 등록번호 10-1331589 (24) 등록일자 2013년11월14일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) H01L 21/28 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0052189 (22) 출원일자 2012 년 05 월 16 일 심사청구일자
(30) 우선권주장 JP-P 년 03 월 29 일일본 (JP) JP-P 년 10 월 19 일일본 (JP) - 2 -
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) H01L 31/04 (2014.01) H01M 14/00 (2006.01) C07D 213/79 (2006.01) C07D 401/04 (2006.01) C07D 409/14 (2006.01) C09B 57/10 (2006.01) C09B 67/44 (2006.01)
특허청구의범위청구항 1 투입된음식물을분쇄하는분쇄기 ; 상기분쇄된음식물을가열할수있는마그네트론 ; 및탈취작용을하는저온촉매필터를포함하는음식물처리기에있어서, 상기마그네트론이상기저온촉매필터를일정온도로가열할수있는것을특징으로하는, 청구항 2 제 1 항에있어서, 상기음식물처리기는상기
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) F26B 3/347 (2006.01) F23G 5/00 (2006.01) B09B 3/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0104077 (22) 출원일자 2009 년 10 월 30 일 심사청구일자 (30) 우선권주장 없음 2020090010354 2009
(72) 발명자 메츠, 매튜 미국 오레곤주힐스보로노스이스트 13 번애비뉴 3136 브라스크, 저스틴 미국 오레곤주포트랜드노스웨스트바이언래인 데이타, 수만 미국 오레곤주비버톤노스웨스트토킹스틱웨이 차우, 로버트 미국 9
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) H01L 21/336 (2006.01) H01L 21/8238 (2006.01) (21) 출원번호 10-2007-7001572 (22) 출원일자 2007 년 01 월 22 일 심사청구일자 2007 년 01 월 22 일 번역문제출일자 2007 년 01 월 22 일 (65)
(72) 발명자 장종산 대전 중구 수침로 138, 103동 204호 (태평동, 유등 마을쌍용아파트) 박용기 대전 유성구 어은로 57, 119동 302호 (어은동, 한 빛아파트) 황동원 경기 안양시 만안구 양화로147번길 7, 102동 403호 (박달동, 박달동동원베네스
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) (11) 공개번호 10-2015-0069268 (43) 공개일자 2015년06월23일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.) B01J 20/10 (2006.01) B01D 53/62 (2006.01) B01J 20/282 (2006.01) (21) 출원번호 10-2013-0155502 (22) 출원일자
PowerPoint 프레젠테이션
국제특허심사공유시스템 OPD 사용자매뉴얼 1 목차 A B C OPD 개요 메인화면구성 구성화면설명 1. 조회 2. 전체패밀리정보 3. 전체인용 & 분류정보 4. 전체심사정보 5. ( 국가별 ) 패밀리정보 6. ( 국가별 ) 인용 & 분류정보 7. ( 국가별 ) 심사목록정보 8. ( 국가별 ) 심사문서정보 9. 심사문서 Viewer 설치 10. 게시판 2 B.
Characteristic of Stainless Steel 304 vs. 316 STS 비교 스테인리스강화학성분비교 (ASTM A 479 Standard) Type UNS No. C Si 304 S S max 0.08
304 vs. 316 STS 비교 304 316 스테인리스강화학성분비교 (ASTM A 479 Standard) Type UNS No. C Si 304 S30400 316 S31600 0.08 0.08 1.00 1.00 Mn P S Cr 2.00 2.00 0.045 0.045 0.050 0.050 18.00 20.00 16.00 18.00 Ni 8.00 10.5
본 발명은 난연재료 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 케이블이나 전선의 시스체로 쓰이는 저발연, 저독성을 가진 열가소성 난연재료 조성물에 관한 것이다. 종래의 선박용 케이블은 그 사용 용도와 장소에 따라 다양한 제품들로 구별된다. 근래 들어 해양 구조물 및 선박에
(51) Int. Cl. 7 C08L 31/04 (19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2005년03월08일 10-0473564 2005년02월17일 (21) 출원번호 10-2001-0074372 (65) 공개번호 10-2003-0043291 (22) 출원일자 2001년11월27일 (43)
(72) 발명자 시노하라, 도모이찌 일본 7710192 도꾸시마 도꾸시마시 가와우찌쪼 가 가스노 463-10오츠카 세이야쿠 가부시키가이샤 내 오시마, 구니오 일본 7710192 도꾸시마 도꾸시마시 가와우찌쪼 가 가스노 463-10오츠카 세이야쿠 가부시키가이샤 내 기따지
등록특허 10-0823414 (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) Int. Cl. C07D 417/04 (2006.01) C07D 417/14 (2006.01) A61K 31/4709 (2006.01) A61K 31/4725 (2006.01) (21) 출원번호 10-2007-7009483
<B4D9BDC3BEB4C0AFB1E2C8ADC7D02D34C6C72D35BCE2C3D6C1BE28B1B3BBE7292E687770>
C H A P T E R 01 유기화합물의물성과구조 1.1 용해와극성 1.2 크로마토그래피와이성질체 1.3 증류와편극성 1.4 추출과산해리상수 1.5 재결정과녹는점 1.6 추출 / 재결정 / 증류가통합된혼합물의분리실험 1.7 컴퓨터소프트웨어를이용하여화학구조그리기 1.1 용해와극성 13 실험 1 다음화합물들의용해도를관찰하시오. 10mL 시험관, 시험관대, 1.00mL
(72) 발명자 김화용 서울특별시관악구봉천 2 동동아아파트 109 동 803 호 강병희 서울특별시관악구봉천 11 동 번지미림연립 305 호 - 2 -
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2010년04월09일 (11) 등록번호 10-0951955 (24) 등록일자 2010년04월01일 (73) 특허권자 (51) Int. Cl. 재단법인서울대학교산학협력재단 C02F 1/72 (2006.01) C02F 11/06 (2006.01) 서울특별시관악구봉천7동산4의 2번지
Microsoft PowerPoint - energy_materials( ) [호환 모드]
![Microsoft PowerPoint - energy_materials( ) [호환 모드]](/thumbs/88/117123890.jpg "Microsoft PowerPoint - energy_materials( ) [호환 모드]")
Types of Fuel Cell Types of Fuel Cell 인산염연료전지 (PAFC) -제1세대연료전지 -전해질로액체인산염사용하고탄화규소 (SiC) 매트릭스에함침시켜사용 -저온 (170~220 o C) 에서작동 -전해질내에수소이온이이동 -음극, 양극반응은앞의기본연료전지구조와동일 인산염연료전지 알칼리연료전지 (AFC) -전해질로알칼리 (KOH) 용액
(72) 발명자 김성균 대전광역시유성구엑스포로 448 엑스포아파트 10 7 동 1006 호 이상익 대전광역시유성구배울 2 로 24 중앙하이츠빌 306 동 701 호 김선영 대전광역시유성구엑스포로 325 ( 주 )SK 대덕기술원 polymer lab 한정석 대전광역시유성
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C08F 4/6592 (2006.01) C08F 10/02 (2006.01) C08F 210/16 (2006.01) C07F 17/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0059443 (22) 출원일자 2012 년 06 월 01 일 심사청구일자
명세서청구범위청구항 1 I. (a) ( 메트 ) 아크릴레이트성분및 (b) 혐기성경화유도조성물을포함하는혐기성경화성조성물을제공하는단계 ; II. 혐기성경화성조성물에구조단위 MO-X(Y)-OM' 를갖는 (c) 성분을첨가하는단계 ( 여기서 M 및 M' 는수소, 나트륨, 칼륨및
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C09J 4/06 (2006.01) C08F 20/10 (2006.01) C08F 4/40 (2006.01) (21) 출원번호 10-2010-7003244 (22) 출원일자 ( 국제 ) 2008 년 07 월 14 일 심사청구일자 2013 년 07 월 12
최종보고서 허용기준설정대상유해인자선정을위한유해성 위험성평가및산업체노출실태평가연구 김기연 변상훈 노영만 김치년 본문차례 1 표차례 1 표차례 3 그림차례 1 Ⅰ. 서론 1 2 허용기준설정대상유해인자선정을위한유해성 위험성평가및산업체노출실태평가연구 Ⅰ. 서론 3 < 표 I-1> 산업안전보건법상화학물질관리조항 4 허용기준설정대상유해인자선정을위한유해성 위험성평가및산업체노출실태평가연구
공개특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 (43) 공개일자 2014년06월11일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65D 81/24 ( ) B65
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 10-2014-0071307 (43) 공개일자 2014년06월11일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B65D 81/24 (2006.01) B65D 25/14 (2006.01) B65D 1/40 (2006.01) B32B 27/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2014-0058932(
Korean Patent No. KR
From the SelectedWorks of Adam Stephenson December 22, 2008 Korean Patent No. KR1020067027478 Adam R Stephenson Available at: https://works.bepress.com/adam_stephenson/8/ (51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR)
명세서청구범위청구항 1 과불소알킬아크릴레이트단량체및불포화이중결합을갖는아크릴레이트단량체를계면활성제가포함된분산용액에첨가한후 65 내지 80 에서 4 내지 5시간동안교반하여불소가포함된발수제를제조하는단계 ; 왁스를계면활성제가포함된분산용액에첨가하고 60 내지 70 에서 4 내지
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2015년04월23일 (11) 등록번호 10-1514370 (24) 등록일자 2015년04월16일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C09K 3/18 (2006.01) C08F 220/24 (2006.01) (21) 출원번호 10-2014-0097432 (22) 출원일자
(72) 발명자 김도규 서울특별시성북구장위 3 동 박준일 서울특별시강서구등촌동 서광아파트 103 동 803 호 유형규 경기도광명시광명 4 동한진아파트 101 동 1801 호 - 2 -
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) F25B 30/06 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0088941 (22) 출원일자 2008 년 09 월 09 일 심사청구일자 전체청구항수 : 총 7 항 2008 년 09 월 09 일 (54) 지중열교환기의공급파이프 (11) 공개번호 10-2010-0030143
Corporation Limited MODEL 제 품 제 원 스텐레스장축 NS_100 10A -사용압력 : 5.0 MPa -사용온도: -196 ~+60 -사용유체 : LN₂, LO₂, LAr, -사용용도 : 초저온배관, 초저온 저장탱크, 기타 50A Cryogenic
( 주 ) 엔에스티이 GAS MARKET Corporation Limited MFR Cryogenic Valve Multi-Functional Regulator for Cryogenic Storage -MFR-ELP( 감압 / 승압기능 ) -MFR-EL( 기액절제방식감압 ) MC 500 Regulator (sus belows type) - 대유량 (300~700N
특허청구의 범위 청구항 1 앵커(20)를 이용한 옹벽 시공에 사용되는 옹벽패널에 있어서, 단위패널형태의 판 형태로 구성되며, 내부 중앙부가 후방 하부를 향해 기울어지도록 돌출 형성되어, 전면이 오 목하게 들어가고 후면이 돌출된 결속부(11)를 형성하되, 이 결속부(11
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) E02D 29/02 (2006.01) E02D 17/20 (2006.01) E02B 3/14 (2006.01) (21) 출원번호 10-2010-0089517 (22) 출원일자 2010년09월13일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 JP2006037700 A* KR100920461
등록특허 (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2013년12월27일 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2013년12월20일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C07D 493/04
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2013년12월27일 (11) 등록번호 101345650 (24) 등록일자 2013년12월20일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C07D 493/04 (2006.01) C07D 307/20 (2006.01) C07D 233/56 (2006.01) (21) 출원번호 1020110047894
이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 A1100-0801-2739 부처명 지식경제부 연구관리전문기관 연구사업명 IT핵심기술개발 연구과제명 융합형 포털서비스를 위한 이용자 참여형 방송기술개발 기여율 주관기관 전자부품연구원 연구기간 2008년 03월 01일 ~ 2
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) G06Q 30/00 (2006.01) G06Q 50/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0133476 (22) 출원일자 2008년12월24일 심사청구일자 2008년12월24일 (65) 공개번호 10-2010-0074918 (43) 공개일자 2010년07월02일
이발명을지원한국가연구개발사업 과제고유번호 LINC 부처명 교육과학기술부 연구관리전문기관 한국연구재단 연구사업명 산학협력선도대학육성사업기술개발과제 연구과제명 차세대자동차엔진마운팅브래킷용고강도알루미늄합금개발 기여율 1/1 주관기관 조선대학교산학협력단 연구기간
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C22F 1/04 (2006.01) C22C 21/02 (2006.01) (21) 출원번호 10-2014-0023399 (22) 출원일자 2014 년 02 월 27 일 심사청구일자 2014 년 02 월 27 일 (65) 공개번호 10-2015-0101744
(72) 발명자 팔리, 제임스, 엠. 미국 텍사스주리그시티맥캐런코트 123 마켈, 에릭, 제이. 미국 텍사스주킹우드내추럴브릿지드라이브 4534 사바트스키, 브루스, 제이. 미국 텍사스주킹우드파인블로섬코트 2303 데이비, 크리스토퍼, 알
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C08F 210/16 (2006.01) C08F 4/64 (2006.01) C08J 5/18 (2006.01) C08L 23/08 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-7001691 (22) 출원일자 ( 국제 ) 2007 년 06 월 05 일
(72) 발명자 박세웅 서울특별시관악구신림동산 56-1 서울대학교뉴미디어통신공동연구소 최진구 서울특별시영등포구당산동 2 가대우메종아파트 101 동 909 호 - 2 -
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) H04B 7/26 (2006.01) H04B 7/155 (2006.01) H04Q 7/30 (2006.01) H04Q 7/20 (2006.01) (21) 출원번호 10-2006-0085572 (22) 출원일자 2006 년 09 월 06 일 심사청구일자 2006 년 09 월
(72) 발명자 강문진 경기 고양시 일산구 일산3동 후곡마을 영풍한진 201-203 김정한 서울 서초구 방배4동 847-34 - 2 -
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) B23K 9/133 (2006.01) B23K 9/28 (2006.01) B23K 9/26 (2006.01) (21) 출원번호 10-2006-0133016 (22) 출원일자 2006년12월22일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 2006년12월22일 (45) 공고일자 2007년10월26일
Eastman 의열전달유체 선택가이드 정확한온도제어를위한고성능유체
Eastman 의열전달유체 선택가이드 정확한온도제어를위한고성능유체 Eastman Therminol 열전달유체 Eastman은공정열의간접전달을위해특별히개발된 Therminol 열안정성유체제품군을제공하고있습니다. Therminol 열전달유체는사실상모든단일또는다중스테이션열사용시스템의작동에대한요구를충족시킬수있습니다. 적절하게설계된시스템에서유체는예상되는온도범위내에서성능을발휘할수있으며뛰어난열안정성을제공합니다.
실용신안 등록청구의 범위 청구항 1 톤백마대가 설치될 수 있도록 일정간격을 두고 설치되는 한 쌍의 지지프레임과, 상기 지지프레임과 지지프레임의 상부를 서로 연결하는 한 쌍의 연결프레임과, 상기 연결프레임의 상부에 일정간격을 두고 다수 설치되어 상기 톤백마대와 그 투입구
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개실용신안공보(U) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) B65B 67/12 (2006.01) B65D 88/16 (2006.01) (21) 출원번호 20-2012-0003587 (22) 출원일자 2012년05월01일 심사청구일자 2012년05월01일 (11) 공개번호 20-2013-0006479 (43) 공개일자
항은 발명의 상세한 설명에는 그 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자 (이하 통상의 기술자 라고 한다)가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 그 발명의 목적 구성 및 효과를 기재하여야 한다고 규정하고 있다. 이는 특허출원된 발명의 내용을 제 3자가 명세서만으로
대 법 원 제 2 부 판 결 사 건 2013후518 권리범위확인(특) 원고, 상고인 코오롱인더스트리 주식회사 소송대리인 변리사 경진영 외 2인 피고, 피상고인 토요보 가부시키가이샤(변경 전: 토요 보세키 가부시키가이샤) 소송대리인 변호사 박성수 외 4인 원 심 판 결 특허법원 2013. 1. 25. 선고 2012허6700 판결 판 결 선 고 2015. 9.
도 1 특허청구의범위 청구항 1. 자성금속박막을형성하는단계 ; 상기자성금속박막위에알루미늄을증착하는단계 ; 증착된상기알루미늄위에자성금속을증착하여알루미나이드박막을형성하는단계 ; 그리고 상기알루미나이드박막위에자성금속박막을증착하는단계로이루어지고, 상기자성금속은 Co, Fe 및
(51) Int. Cl. G11B 5/31 (2006.01) (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2007 년 05 월 09 일 10-0716104 2007 년 05 월 02 일 (21) 출원번호 10-2003-0075402 (65) 공개번호 10-2005-0040248 (22)
(72) 발명자 이영일 경기안양시동안구비산동은하수청구아파트 107 동 405 호 전병호 서울금천구독산 3 동
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) B82B 3/00 (2006.01) C01G 3/00 (2006.01) B22F 9/24 (2006.01) (21) 출원번호 10-2006-0098315 (22) 출원일자 2006 년 10 월 10 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 KR1020050101101 A
등록특허 (51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) C22B 9/10 ( ) (21) 출원번호 (22) 출원일자 2007 년 09 월 21 일 심사청구일자 2007
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) C22B 9/10 (2006.01) (21) 출원번호 10-2007-0096777 (22) 출원일자 2007 년 09 월 21 일 심사청구일자 2007 년 09 월 21 일 (65) 공개번호 10-2009-0031006 (43) 공개일자 2009 년 03 월 25 일 (56)
(72) 발명자 김미숙 경상남도양산시중부동 조은혜 경기도부천시원미구역곡 2 동동부센트레빌 105 동 1106 호 이발명을지원한국가연구개발사업 과제고유번호 R0A 부처명 한국과학재단 연구관리전문기관 연구사업명 국가지정연구실사업 (
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) H01L 31/0256 (2006.01) H01L 27/28 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0017749 (22) 출원일자 2009 년 03 월 02 일 심사청구일자 전체청구항수 : 총 13 항 2009 년 03 월 02 일 (54) 광전자소자및그제조방법
목 차 - 3 - (( () ( ) - 4 - - 5 - - 6 - - 7 - - 8 - - 9 - - 10 - - 11 - - 12 - - 13 - - 14 - 2) 3) 마이크로나이즈드구리화합물, N-N 디알킬 N-N 디메칠벤질알킬암모니움카보에니트등으로구성됨. 1) - 15 - - 16 - - 17 - - 18 - - 19 - - 20 - - 21 - -
붙임2-1. 건강영향 항목의 평가 매뉴얼(협의기관용, '13.12).hwp
환경영향평가서내위생 공중보건항목작성을위한건강영향항목의평가매뉴얼 - 협의기관용 - 2013. 12 환경부환경보건정책관실 - i - - ii - - iii - - iv - - v - - vi - 제 1 장건강영향평가의개요 건강영향평가의정의건강영향평가제도의필요성건강영향평가의목적및기능건강영향평가의원칙건강결정요인 - 1 - - 2 - - 3 - 제 2 장건강영향평가제도의시행방안
Regulation on Approval of Consumer Chemical Products subject to Safety Check without promulgated Safety Standard.hwp
- 1 - - 2 - - 3 - - 4 - - 5 - - 6 - - 7 - - 8 - - 9 - - 10 - - 11 - - 12 - - 13 - - 14 - - 15 - - 16 - - 17 - - 18 - - 19 - 안전기준미고시안전확인대상생활화학제품의승인에관한규정 [ 별지제 1 호서식 ] 색상이어두운란은신고인이적지않습니다. 접수번호접수일시처리기간 상호
(72) 발명자 강봉철 대전유성구대학로 291, 1204 호 ( 구성동, 한국과학기술원 ) 한승용 대전유성구대학로 291, 기계공학동응용나노기술과학연구실 ( 구성동, 한국과학기술원 ) - 2 -
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B82B 3/00 (2006.01) B22F 9/18 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01) C22B 9/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0112150 (22) 출원일자 2011 년 10 월 31 일 심사청구일자 2011
(72) 발명자판첸코, 알렉산더독일 루드빅스하펜에센바흐슈트라쎄 45 말코브스키이타마르미첼독일 슈페이어린덴베크 18 피셔, 안드레아스 독일 헤펜하임테오도르 - 헤우스 - 슈트라쎄 1-2 -
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) H01M 4/60 (2006.01) C07F 1/02 (2006.01) H01M 10/0525 (2010.01) (21) 출원번호 10-2012-7029801 (22) 출원일자 ( 국제 ) 2011 년 04 월 19 일 심사청구일자 없음 (85) 번역문제출일자
untitled
모니터링분석 1 엔진배출가스에서 NOx 환원을위한이원금속촉매 한국과학기술정보연구원전문연구위원김형원 (hwonkim@reseat.re.kr) 1. 개요 탄화수소환원제를사용하여높은연비의엔진 (lean-burn engine) 배기가스에서 NOx 환원에사용되는촉매, 더구체적으로는이러한응용에서새로운이원금속촉매의사용방법이이발명의내용이다. 디젤엔진과다른높은연비의엔진또는발전플랜트는연료의경제성을개선하기위하여화학량론적질량비율보다높은공기-대-연료비율로작동을한다.
한것으로스마트단말기에의하여드론조종앱을설치하는제 1 단계 ; 스마트단말기에의하여드론의불루투스통 신부에부여된고유식별번호를입력저장하고드론의불루투스를인식하며드론의블루투스통신부로부터회신되 는신호의수신레벨을분석하여최대통신거리를확인하여저장하는제 2 단계 ; 스마트단말기에의하여최대통
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B64C 13/20 (2006.01) B64C 39/02 (2006.01) G05D 1/00 (2006.01) H04M 1/725 (2006.01) (52) CPC 특허분류 B64C 13/20 (2013.01) B64C 39/024 (2013.01) (21)
최민지 / 세계무역기구과 / :16:24-2 -
- 2 - - 3 - - 4 - - 5 - - 6 - - 7 - - 8 - - 9 - - 10 - - 11 - - 12 - - 13 - - 14 - - 15 - - 16 - - 17 - - 18 - 안식향산안식향산나트륨안식향산칼륨안식향산칼슘 파라옥시안식향산메틸파라옥시안식향산에틸 0.6 이하 ( 안식향산으로서, 파라옥시안식향산에틸또는파라옥시안식향산메틸과병용할때에는안식향산으로서사용량과파라옥시안식향산으로서사용량의합계가
< B9B0C3B7BCBCB0E82E687770>
최첨단반도체에서의 ALD 증착기술 DOI: 10.3938/PhiT.21.006 황철주 ALD (Atomic Layer Deposition) Process Technology in the Semiconductor Industry Chul Joo HWANG New and improved semiconductor technology will open a new generation
특허청구의 범위 청구항 1 고유한 USB-ID를 가지며, 강제 포맷이나 프로그램 삭제가 불가능한 CD영역과 데이터의 읽기, 쓰기가 가능한 일 반영역으로 분할되어 있고 상기 CD영역에 임산부 도우미 프로그램이 임산부 PC(200)에 연결되면 자동 설치 및 실행되게 탑재된
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) (11) 공개번호 10-2010-0042502 (43) 공개일자 2010년04월26일 (51) Int. Cl. G06Q 50/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0101675 (22) 출원일자 2008년10월16일 심사청구일자 전체 청구항 수 : 총 13 항 2008년10월16일 (71)
최종보고서 취급제한물질적정관리를위한공정시험기준 마련및적용성평가연구
최종보고서 취급제한물질적정관리를위한공정시험기준 마련및적용성평가연구 2012. 11 목 차 1. 연구배경및필요성 1 2. 연구목적및범위 5 3. 연구결과 6 3.1 취급제한물질 4종에대한공정시험기준마련 6 3.2 기존시험방법의제품적용성평가 36 3.3 설문조사및워크숍개체 91 3.3.1 설문조사 91 3.3.2 워크숍개체 105 3.4 이해당사자들의의견반영
(73) 특허권자철강융합신기술연구조합경상북도포항시남구청암로 67( 효자동 ) ( 주 ) 포스코엠텍경상북도포항시남구형산강북로 131 ( 효자동 ) - 2 -
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2016년01월29일 (11) 등록번호 10-1589738 (24) 등록일자 2016년01월22일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) H01M 4/525 (2010.01) H01M 10/052 (2010.01) H01M 4/505 (2010.01) (21) 출원번호 10-2013-0162948
(72) 발명자 김진근 울산광역시울주군삼남면가천리 818 삼성 SDI( 주 ) 김기민 울산광역시울주군삼남면가천리 818 삼성 SDI( 주 ) - 2 -
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) G06F 3/041 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0067375 (22) 출원일자 2008 년 07 월 11 일 심사청구일자 전체청구항수 : 총 12 항 2008 년 07 월 11 일 (54) 터치스크린패널및그제조방법 (11) 공개번호 10-2010-0006987
이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 08921-01304 부처명 방송통신위원회 연구사업명 방송통신기술개발사업 연구과제명 안전한 전자파환경 조성 주관기관 한국전자통신연구원 연구기간 2008.01.01 ~ 2012.12.31-2 -
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) H05K 9/00 (2006.01) H04B 1/38 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0134285 (22) 출원일자 2011년12월14일 심사청구일자 없음 기술이전 희망 : 기술양도, 실시권허여, 기술지도 전체 청구항 수 : 총 1 항 (54)
(72) 발명자 이도훈 서울특별시서초구서초중앙로 200, 16 동 1503 호 ( 서초동, 삼풍아파트 ) 김보라 대전광역시서구관저동로 42, 1206 동 1403 호 ( 관저동, 느리울마을 ) 정재원 서울특별시성북구한천로 81 길 20 ( 석관동 ) 이발명을지원한국가연
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2012 년 09 월 27 일 (11) 등록번호 10-1186502 (24) 등록일자 2012년09월21일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B01J 31/02 (2006.01) C07D 307/50 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0013826 (22)
특허청구의 범위 청구항 1 (A) 중합성 화합물 및 (B) 광중합 개시제를 포함하는 임프린트용 경화성 조성물로서: 상기 (A) 중합성 화합물은 (A1) 불소원자와 실리콘원자 중 적어도 하나를 갖는 중합성 화합물 및 (A2) 방향족기 를 갖는 중합성 화합물을 포함하는 것
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 공개특허공보(A) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) H01L 21/027 (2006.01) C08F 220/30 (2006.01) C08F 220/12 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-7014745 (22) 출원일자(국제) 2010년11월10일 심사청구일자 없음 (85) 번역문제출일자 2012년06월07일
- 1 -
- 1 - - 2 - - 3 - - 4 - - 5 - - 6 - - 7 - - 8 - - 9 - - 10 - - 11 - - 12 - - 13 - - 14 - - 15 - - 16 - - 17 - 단 계 시간 ( 초 ) 거 리 비고 저온시동시험초기단계저온시동시험안정단계 505 865 9-11분 5.78km (3.59 mile) 6.29km (3.91 mile)
01 증착의종류 증착은금속증기를만드는원리에따라화학적기상증착 (Chemical Vapor Deposition, ) 과물리적기상증착 (Physical Vapor Deposition, PVD) 으로나뉜다. 화학적기상증착은공정압력과주입원의상태, 에너지원등에따라나뉘고물리적기상증
ABS 소재개발팀이수경 lsklg@lgchem.com 증착기술소개 우리일상에서 증착 이이용된제품을찾는것은어렵 지않다. 금속이아니면서은빛을내는알루미늄포장지와램프하우징 (lamp housing) 을비롯하여반도체, OLED 는모두금속을증착한제품이다. 증착 (deposition) 이란기체상태의금속입자를금속, 플라스틱과같은물체표면에수마이크로미터의얇은고체막을입히는방법이다.
기기분석 _ 기체크로마토그래피 (GC) 기체크로마토그래피 Gas Chromatography (GC) 1
기체크로마토그래피 Gas Chromatography (GC) 1 GC 의장점 빠른시간내에분석가능 높은분리능으로다성분분석가능 높은감도 MSD, AED와쉽게연결가능 높은정량재현성 적은시료주입량 ( 여러번주입가능 ) 2 기체크로마토그래프구성 운반기체 주입구 컬럼 검출기 데이터시스템 3 RESET 장치의구성도 Filters/Traps Data system H Regulators
(52) CPC 특허분류 B01J 6/00 ( ) C01B 33/02 ( ) C01P 2004/64 ( ) 공지예외적용 : 있음 - 2 -
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2016년07월22일 (11) 등록번호 10-1641839 (24) 등록일자 2016년07월15일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C01B 31/36 (2006.01) B01J 19/08 (2015.01) B01J 6/00 (2006.01) C01B 33/02 (2006.01)
(72) 발명자 오인환 서울 노원구 중계로 195, 101동 803호 (중계동, 신 안동진아파트) 서혜리 서울 종로구 평창14길 23, (평창동) 한훈식 서울 강남구 언주로71길 25-5, 301호 (역삼동, 영 훈하이츠) 이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2014년04월14일 (11) 등록번호 10-1384704 (24) 등록일자 2014년04월07일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.) F16L 9/18 (2006.01) F17D 1/00 (2006.01) F16L 3/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0113933
특허청구의 범위 청구항 1 제1 내지 제6 암이 각각의 관절부를 가지며 형성되며, 상기 제1 내지 제6 암 각각은 제1 내지 제6 링크에 의해 링크되고, 상기 제1 내지 제6 암 내부에는 각각의 암을 구동하는 구동모듈이 각각 내장되며, 상기 구동모듈 각각의 선단에는 1
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) B25J 9/06 (2006.01) B25J 19/02 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0079361 (22) 출원일자 2011년08월10일 심사청구일자 2011년08월10일 (65) 공개번호 10-2013-0017122 (43) 공개일자 2013년02월20일
<C3CA3520B0FAC7D0B1B3BBE7BFEB202E687770>
1. 만화경 만들기 59 2. 물 속에서의 마술 71 3. 비누 탐험 84 4. 꽃보다 아름다운 결정 97 5. 거꾸로 올라가는 물 110 6. 내가 만든 기압계 123 7. 저녁 노을은 맑은 날씨? 136 8. 못생겨도 나는 꽃! 150 9. 단풍잎 색깔 추리 162 10. 고마워요! 지렁이 174 1. 날아라 열기구 188 2. 나 누구게? 198 3.
특허청구의범위청구항 1 복수개의관통비아홀이형성된웨이퍼의하나이상의관통비아홀을포함하는전도영역에전도층을형성하는전도층형성단계 ; 상기전도층을포함한웨이퍼전체영역에절연층을증착하는절연층증착단계 ; 상기전도층의상부에감광제를도포하고, 상기관통비아홀이형성된위치에관통비아홀의단면적보다작은단
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) H01L 21/60 (2006.01) (21) 출원번호 10-2010-0028172 (22) 출원일자 2010 년 03 월 29 일 심사청구일자 2010 년 03 월 29 일 (65) 공개번호 10-2011-0108779 (43) 공개일자 2011 년 10 월 06 일 (56)
도 3 은 본 발명에 따른 제거수단을 보인 사시도 도 4 는 본 발명에 따른 제거수단의 해파필터와 카본필터의 구성을 보인 개략단면도 <도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> (1) : 케이싱 (1a) : 천연음이온 도료 (2) : 제거수단 (3) : UV살균장치 (4)
(51) Int. Cl. 7 A61L 9/20 (19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2005년05월25일 10-0491080 2005년05월13일 (21) 출원번호 10-2004-0022173 (65) 공개번호 10-2004-0037034 (22) 출원일자 2004년03월31일 (43)
(72) 발명자 김준기 경기 군포시 광정동 한양목련아파트 1226동 805호 유세훈 인천광역시 연수구 송도동 성지리벨루스 110동 50 1호 방정환 인천 연수구 연수동 578-1 고용호 인천광역시 연수구 해송로30번길 송도 웰카운티 4 단지 20 (송도동) 407동 4
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 국제특허분류(Int. Cl.) H05K 3/34 (2006.01) B23K 1/19 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0091105 (22) 출원일자 2012년08월21일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 JP2004172398 A JP2004255426 A KR1020080083127
(72) 발명자 송부섭 대전대덕구신탄진로 531, ( 상서동 ) 노항덕 경기화성시동탄중앙로 200, D 동 4605 호 ( 반송동, 메타폴리스 ) 이발명을지원한국가연구개발사업 과제고유번호 부처명 지식경제부 연구관리전문기관 한국산업기술평가관리원 연구사업명
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (11) 공개번호 10-2014-0131817 (43) 공개일자 2014년11월14일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C07C 209/24 (2006.01) C07C 211/49 (2006.01) C01B 7/13 (2006.01) (21) 출원번호 10-2013-0050914 (22) 출원일자
제 3강 역함수의 미분과 로피탈의 정리
제 3 강역함수의미분과로피탈의정리 역함수의미분 : 두실수 a b 와폐구갂 [ ab, ] 에서 -이고연속인함수 f 가 ( a, b) 미분가능하다고가정하자. 만일 f '( ) 0 이면역함수 f 은실수 f( ) 에서미분가능하고 ( f )'( f ( )) 이다. f '( ) 에서 증명 : 폐구갂 [ ab, ] 에서 -이고연속인함수 f 는증가함수이거나감소함수이다 (
36 Chap 20 : Conjugated Systems 20.1 Stability of Conjugated Dienes Diene : 2 개의 C=C 이중결합을가진화합물 C 1,4-Pentadiene 1,3-Pentadiene 1,2-Pentadiene (unconj
36 Chap 20 : Conjugated Systems 20.1 Stability of Conjugated Dienes Diene : 2 개의 C=C 이중결합을가진화합물 C 1,4-Pentadiene 1,3-Pentadiene 1,2-Pentadiene (unconjugated diene) (conjugated diene) (cumulated diene)
(72) 발명자 서세욱 서울강남구논현동 강남하이츠 401 호 윤용준 서울영등포구당산동 5 가 41 반도보라빌 101 호 30 3 호 최진원 서울동대문구전농 3 동 SK 아파트 101 동 1504 호 이병석 경기수원시영통구매탄 4 동 1230 번지신원천주공아
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) C02F 3/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0003918 (22) 출원일자 2008 년 01 월 14 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 KR100417761 B1 KR1020020080285 A JP05084490 A JP60150886 A
(72) 발명자 이상국 경기도용인시수지구상현 1 동 843 현대성우 5 차 APT 101 동 1701 호 이민혜 서울특별시성동구살곶이길 176, 101 동 306 호 ( 사근동, 사근동벽산아파트 ) 이경민 부산광역시영도구신선동영광그린파크 1403 호 이차은 충청북도청주
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 2012 년 07 월 23 일 (11) 등록번호 10-1167967 (24) 등록일자 2012년07월17일 (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) B82B 3/00 (2006.01) B82B 1/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2010-0033186 (22) 출원일자
특허청구의범위청구항 1 실록산계하이브리드수지 9 ~ 90중량 %, 2 이상의규소결합수소를함유하는유기수소규소화합물 10 ~ 90중량 % 및금속촉매 0.01 ~ 1중량 % 를포함하는 LED 봉지재용실록산수지조성물. 청구항 2 제 1항에있어서, 상기실록산계하이브리드수지는비닐
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) C08L 83/04 (2006.01) C08K 5/54 (2006.01) (21) 출원번호 10-2010-0004232 (22) 출원일자 2010 년 01 월 18 일 심사청구일자 전체청구항수 : 총 21 항 2010 년 01 월 18 일 (54) 엘이디봉지재용실록산수지조성물
Version 3.0 SOP 24 이산화탄소 fugacity October 12, 2007 SOP 24 순수이산화탄소가스나공기중 이산화탄소의 fugacity 계산 1. 대상및적용분야 이절차는순수이산화탄소가스나공기에서이산화탄소의 fugacity 를계산하는 방법을다룬다.
SOP 4 순수이산화탄소가스나공기중 이산화탄소의 ugacity 계산 1. 대상및적용분야 이절차는순수이산화탄소가스나공기에서이산화탄소의 ugacity 를계산하는 방법을다룬다. ƒ(co ) 는 Pascal 또는기압으로표시한다 1.. 정의 기체상태인화학종의화학포텐셜 (chemical otential, µ ) 은그들의 ugacity (ƒ ) 로 나타내진다. 이는다음식으로정의된다.
도면의간단한설명 도 1 은본발명의실시예 1 내지 3 에서합성한하이드로탈사이트의 X- 선회절패턴을나타내는그래프, 도 2 는본발명의실시예 1 내지 3 에서합성한나노하이드로탈사이트의투과전자현미경 (TEM) 사진, 도 3 은본발명의실시예 1 내지 3 에서합성한나노하이드로탈사이
(51) Int. Cl. B82B 3/00 (2006.01) (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2006 년 07 월 14 일 10-0601016 2006 년 07 월 07 일 (21) 출원번호 10-2003-0049850 (65) 공개번호 10-2005-0010610 (22)
(72) 발명자 최석문 서울관악구봉천 6 동우성아파트 장범식 경기성남시분당구정자동한솔마을청구아파트 110 동 301 호 정태성 경기화성시반월동신영통현대 4 차아파트
(51) Int. Cl. (19) 대한민국특허청 (KR) (12) 등록특허공보 (B1) H01L 23/12 (2006.01) (21) 출원번호 10-2007-0057147 (22) 출원일자 2007 년 06 월 12 일 심사청구일자 (56) 선행기술조사문헌 JP2004014722 A US6861288 B2 2007 년 06 월 12 일 (45) 공고일자 2008년10월24일
(72) 발명자 박병희 충청북도 청원군 부용면 부강행산로 232, 구 183-1 바자지 바랏 대전시 유성구 신성동 19 박병기 대전시 유성구 어은동 한빛A 106-302 이 발명을 지원한 국가연구개발사업 과제고유번호 10033744201113100600011645100
(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2013년08월12일 (11) 등록번호 10-1295372 (24) 등록일자 2013년08월05일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.) D01F 8/12 (2006.01) D01D 5/00 (2006.01) D04H 1/42 (2006.01) (73) 특허권자 한국화학연구원 대전광역시
(72) 발명자 장, 얀 캐나다앨버타티 3 쥐 4 제이 9 캘거리아버크레스트로드엔더블유 303 호앙, 피터펑민 캐나다앨버타티 3 에이 5 더블유 1 캘거리햄프턴스하이츠엔더블유 78 카터, 찰스애시턴가렛 캐나다앨버타티 3 에이 6 엘 7 캘거리히든크릭로드엔더블유 142
(19) 대한민국특허청 (KR) (12) 공개특허공보 (A) (51) 국제특허분류 (Int. Cl.) C08F 210/16 (2006.01) C08F 4/6592 (2006.01) C08F 4/659 (2006.01) (21) 출원번호 10-2015-7001674 (22) 출원일자 ( 국제 ) 2013 년 05 월 24 일 심사청구일자 없음 (85) 번역문제출일자
KAERIAR hwp
- i - - ii - - iii - - iv - - v - - vi - Photograph of miniature SiC p-n and Schottky diode detector Photograph SiC chip mounted on a standard electrical package Photograph of SiC neutron detector with
e xls
제 장촉매반응과촉매반응기 (aalysis and aalyic Reaco 촉매는반응이일어나는경우에대부분관여하는물질입니다. 근래의들어와대량생산공정에는거의모두촉매를사용합니다. 이장에서는불균일촉매만다. 촉매.. 정의 촉매는반응속도에는영향을주지만공정을변화시키지않는물질이다. 촉매는일반적으로반응에서다른분자경로를촉진시킴으로써반응속도를변화시킨다... 촉매의특성촉매는균일촉매와불균일촉매가있다.