Industry Brief Analyst 이세철 (6309-4523) seicheol.lee@meritz.co.kr 2013. 06. 11 반도체 Overweight 공정변화 4: CMP(Chemical Mechanical Polishing) Top Picks 삼성전자 (005930) Buy, TP 1,970,000 원 SK 하이닉스 (000660) Buy, TP 36,000 원 솔브레인 (036830) Buy, TP 60,000 원 관련주 : 케이씨텍 결론 - CMP (Chemical Mechanical Polishing) 는배선단차를낮추고평탄화하는공정 - 3D NAND 등 3 차원반도체구조변화로 CMP 중요성확대 - CMP 공정에서는 Slurry 가중요. Ceria Slurry (CeO2) 가각광. Ceria Slurry 는히타치케미칼이대표적이나국내는케이씨텍과솔브레인이이를대체 - 반도체업종 Overweight 유지. 솔브레인, 케이씨텍긍정적 Investment Point : 3D NAND + CMP + Slurry 1. CMP (Chemical Mechanical Polishing) 는배선단차를낮추고평탄화하는공정 CMP 공정은 Platen 위에굴곡이있는 Pad 가있고그위에 CVD 공정을거친 Wafer 를 Head 라는장치에부착시켜 Wafer 에압력을가하면서회전시키는방식. 여기에 Slurry 용액이투하되면서 CVD 막질을화학적 (Chemical), 기계적으로 (Mechanical) 연마하는 (Polishing) 공정임 2. 3D NAND 등 3차원반도체구조변화로 CMP 중요성확대 QPT, 3D NAND, FinFET등반도체 3차원구조로의변화로 CMP공정중요성이확대되고있음. CMP는 CVD공정다음스텝으로 CVD공정이늘게되면자연스럽게 CMP공정도늘어나게됨. CVD로막질을형성하게되면 CMP로평탄화하거나단차를낮춰야하기때문. 3차원구조는 CVD공정스텝이증가하기때문에 CMP 스텝도증가함. 또한수십 Layer를형성해야하기때문에 CMP로단차를낮추는수요증가예상 3. CMP 공정에서는 Slurry 가중요. Ceria Slurry (CeO2) 가각광 CMP 공정에서는 Slurry 가매우중요. Surry 는연마제가포함된현탁액으로 CMP 공정중에사용되는화학물질. Oxide CMP Slurry 를예를들면수십, 수백나노의 Silica 를 KOH 용액에분산시킨용액으로절연막인 SiO2 와화학반응을통해반도체막질을박리. 하지만최근에는 STI 전용 CMP Slurry 인 Ceria Slurry 가 Oxide CMP Slurry 를대체하고있음. Ceria Slurry 는 CeO2 를계면활성제인첨가제와섞어사용. Ceria Slurry 는 Nitride 와 Oxide 간선택비가매우높아원하는단차에서 CMP 공정을멈출수있는장점을갖고있음 (End Point Detect). Ceria Slurry 는히타치케미칼이대표적이나국내에서는케이씨텍과솔브레인이이를대체하고있음
[ 그림 1] CMP 공정개념도 자료 : 메리츠종금증권리서치센터 [ 그림 2] CMP 공정 - 평탄화 + 단차조절 자료 : 메리츠종금증권리서치센터 [ 그림 3] Oxide- ILD/IMD CMP 자료 : Asahi Glass, 메리츠종금증권리서치센터 메리츠종금증권리서치센터 2
[ 그림 4] CMP Slurry 화학작용 자료 : 메리츠종금증권리서치센터 [ 그림 5] Ceria CMP Slurry Process Development of nano ceria slurry for under 90nm memory device 1 st & 2 nd step (Fumed Silica Slurry) - Polishing Amount : 300[nm] 3 rd step (Ceria Slurry) - Polishing Amount : 250[nm] High Selectivity - No Dishing, No Erosion 자료 : 한양대학교국가지정연구실, 메리츠종금증권리서치센터 메리츠종금증권리서치센터 3
Compliance Notice 동자료는작성일현재사전고지와관련한사항이없습니다. 당사는동자료에언급된종목과계열회사의관계가없으며 2013년 6월 11일현재동자료에언급된종목의유가증권 (DR, CB, IPO, 시장조성등 ) 발행관련하여지난 6개월간주간사로참여하지않았습니다. 당사는 2013년 6월 11일현재동자료에언급된종목의지분을 1% 이상보유하고있지않습니다. 당사의조사분석담당자는 2013년 6월 11일현재동자료에언급된종목의지분을보유하고있지않습니다. 본자료에게재된내용들은본인의의견을정확하게반영하고있으며, 외부의부당한압력이나간섭없이작성되었음을확인합니다. ( 작성자 : 이세철 ) 동자료는투자자들의투자판단에참고가되는정보제공을목적으로배포되는자료입니다. 동자료에수록된내용은당사리서치센터의추정치로서오차가발생할수있으며정확성이나완벽성은보장하지않습니다. 동자료를이용하시는분은동자료와관련한투자의최종결정은자신의판단으로하시기바랍니다. 투자등급관련사항 1. 종목추천관련투자등급 ( 추천기준일종가대비 4등급 ) 아래종목투자의견은향후 6개월간추천기준일종가대비추천종목의예상목표수익률을의미함. ㆍStrong Buy : 추천기준일종가대비 +50% 이상. ㆍBuy : 추천기준일종가대비 +15% 이상 ~ +50% 미만. ㆍHold : 추천기준일종가대비 +5% 이상 ~ +15% 미만. ㆍReduce : 추천기준일종가대비 +5% 미만. 2. 산업추천관련투자등급 ( 추천기준일시장지수대비 3등급 ) 아래산업투자의견은시가총액기준산업별시장비중대비보유비중의변화를추천하는것. ㆍ비중확대 (Overweight). ㆍ중립 (Neutral). ㆍ비중축소 (Underweight) 메리츠종금증권리서치센터 4
삼성전자 (005930) 의투자등급변경내용 추천확정일자 자료의형식 투자의견 목표주가 담당자 주가및목표주가변동추이 2011.07.04 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태 2011.08.01 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태 2011.09.01 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태 2011.09.19 산업분석 Buy 1,250,000 이선태 2011.09.27 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태 2011.10.04 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태 2011.10.10 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태 2011.10.17 산업분석 Buy 1,250,000 이선태 2011.10.31 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태 2011.11.07 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태 2012.03.05 산업분석 Buy 1,500,000 이세철 2012.03.23 산업브리프 Buy 1,500,000 이세철 2012.03.26 산업브리프 Buy 1,500,000 이세철 2012.04.03 기업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.04.09 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.04.16 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.04.17 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.04.19 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.04.23 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.04.26 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.04.30 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.05.02 기업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.05.03 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.05.07 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.05.08 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.05.14 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철 2012.05.15 기업분석 Buy 2,000,000 이세철 2012.05.16 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.05.21 기업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.05.23 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.05.29 산업분석 Buy 2,000,000 이세철 2012.05.31 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.06.04 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.06.07 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.06.11 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.06.13 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.06.19 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.06.25 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.07.02 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.07.09 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.07.10 기업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.07.16 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철 2012.07.30 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.08.06 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.08.14 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.08.21 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.08.27 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.09.04 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.09.11 산업분석 Buy 1,800,000 이세철 2012.09.18 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.09.25 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.09.27 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.10.02 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.10.04 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.10.16 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.10.17 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.10.29 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.10.30 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.10.31 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.11.14 산업분석 Buy 1,800,000 이세철 2012.11.15 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.11.16 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.11.20 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.11.21 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.11.26 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.11.29 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.12.03 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.12.04 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.12.06 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.12.10 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2012.12.17 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2013.01.02 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철 2013.01.03 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.01.08 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.01.14 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.01.16 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.01.28 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.01.30 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.02.06 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.02.12 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.02.26 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.02.27 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.03.04 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.03.05 산업분석 Buy 1,970,000 이세철 2013.03.11 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.03.18 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.03.25 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.03.27 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.04.01 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.04.08 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.04.15 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.04.29 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.05.14 산업분석 Buy 1,970,000 이세철 2013.05.20 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.05.21 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.05.22 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.05.27 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.06.03 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.06.04 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.06.07 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.06.10 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.06.11 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2,500,000 2,000,000 1,500,000 1,000,000 500,000 0 ( 원 ) 주가 목표주가 2011.04 2011.08 2011.12 2012.04 2012.08 2012.12 2013.04 메리츠종금증권리서치센터 5
SK 하이닉스 (000660) 의투자등급변경내용 추천확정일자자료의형식투자의견목표주가담당자주가및목표주가변동추이 2011.06.01 산업브리프 Buy 40,000 이선태 2011.06.08 산업브리프 Buy 40,000 이선태 2011.07.04 산업브리프 Buy 40,000 이선태 2011.07.22 기업브리프 Buy 34,000 이선태 2011.07.23 산업브리프 Buy 34,000 이선태 2011.08.01 산업브리프 Buy 34,000 이선태 2011.09.01 산업브리프 Buy 34,000 이선태 2011.10.04 산업브리프 Buy 34,000 이선태 2011.11.01 산업브리프 Buy 34,000 이선태 담당애널리스트변경 2012.03.05 산업분석 Buy 37,000 이세철 2012.03.15 기업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.03.23 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.03.26 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.02 기업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.04 기업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.09 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.16 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.17 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.23 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.26 기업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.27 기업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.03 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.07 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.08 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.14 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.23 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.25 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.31 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.06.04 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.06.07 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.06.11 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.06.13 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.06.19 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.06.25 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.07.09 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.07.26 기업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.09.11 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.09.18 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.09.25 산업분석 Buy 33,000 이세철 2012.10.04 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.10 기업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.16 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.17 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.25 기업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.29 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.30 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.31 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.11.14 산업분석 Buy 33,000 이세철 2012.11.15 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.11.16 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.11.20 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.11.21 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.11.29 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.12.03 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.12.04 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.12.06 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.12.17 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.01.02 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.01.07 기업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.01.14 기업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.01.16 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.01.30 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.01.31 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.02.06 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.02.12 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.02.26 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.02.27 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.03.05 산업분석 Buy 33,000 이세철 2013.03.13 기업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.03.18 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.04.01 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.04.15 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.04.25 기업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.05.14 산업분석 Buy 36,000 이세철 2013.05.20 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.05.21 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.05.22 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.05.27 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.06.03 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.06.07 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.06.11 산업브리프 Buy 36,000 이세철 50,000 40,000 30,000 20,000 10,000 0 ( 원 ) 주가 목표주가 2011.05 2011.09 2012.01 2012.05 2012.09 2013.01 메리츠종금증권리서치센터 6
솔브레인 (036830) 의투자등급변경내용추천확정일자자료의형식투자의견목표주가담당자주가및목표주가변동추이 2013.05.14 산업분석 Buy 60,000 이세철 2013.05.20 산업브리프 Buy 60,000 이세철 70,000 ( 원 ) 주가 목표주가 2013.05.21 산업브리프 Buy 60,000 이세철 2013.05.22 산업브리프 Buy 60,000 이세철 60,000 50,000 40,000 2013.05.27 산업브리프 Buy 60,000 이세철 30,000 2013.06.03 산업브리프 Buy 60,000 이세철 2013.06.04 산업브리프 Buy 60,000 이세철 2013.06.07 산업브리프 Buy 60,000 이세철 20,000 10,000 0 2011.05 2011.09 2012.01 2012.05 2012.09 2013.01 2013.05 2013.06.11 산업브리프 Buy 60,000 이세철 메리츠종금증권리서치센터 7